Das FhG ISIT plant die Beschaffung eines neuen oder gebrauchten RTP-Systems (Rapid Thermal Processing) für schnelle thermische Prozesse. Hauptsächlich soll das System für die Aktivierung von Metall-Halbleiter-Kontakten bei der Entwicklung von GaN-Bauelementen verwendet werden. Die Anlage ist für Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm ausgelegt und mit einem automatischen Handlingsystem für 25 Wafer ausgestattet. Es sollen bei Umgebungsdruck folgende Prozessgase verwendeten werden: N2, O2, NH3, N2O, H2 und Ar. Die Abluftleitung muss mit einer Abgasreinigungsanlage (z. B. Wäscher) verbunden werden können. Das RTP-System kann im Temperaturbereich von ca. 400 C bis 1 300 C geregelt werden. Das RTP-System soll einen einfachen Wechsel der Prozesskammerteile (Quarz-Kammer usw.) unterstützen, um eine flexible Prozessierung unterschiedlicher Materialien zu ermöglichen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-05-07.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-04-05.
Auftragsbekanntmachung (2018-04-05) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_039_221350 cl-wit FMD
Kurze Beschreibung:
“Das FhG ISIT plant die Beschaffung eines neuen oder gebrauchten RTP-Systems (Rapid Thermal Processing) für schnelle thermische Prozesse. Hauptsächlich soll...”
Kurze Beschreibung
Das FhG ISIT plant die Beschaffung eines neuen oder gebrauchten RTP-Systems (Rapid Thermal Processing) für schnelle thermische Prozesse. Hauptsächlich soll das System für die Aktivierung von Metall-Halbleiter-Kontakten bei der Entwicklung von GaN-Bauelementen verwendet werden. Die Anlage ist für Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm ausgelegt und mit einem automatischen Handlingsystem für 25 Wafer ausgestattet. Es sollen bei Umgebungsdruck folgende Prozessgase verwendeten werden: N2, O2, NH3, N2O, H2 und Ar. Die Abluftleitung muss mit einer Abgasreinigungsanlage (z. B. Wäscher) verbunden werden können. Das RTP-System kann im Temperaturbereich von ca. 400
Mehr anzeigen Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS-Region: Schleswig-Holstein🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
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Quelle: OJS 2018/S 068-150520 (2018-04-05)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-06-05) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Das FhG ISIT plant die Beschaffung eines neuen oder gebrauchten RTP-Systems (Rapid Thermal Processing) für schnelle thermische Prozesse. Hauptsächlich soll...”
Kurze Beschreibung
Das FhG ISIT plant die Beschaffung eines neuen oder gebrauchten RTP-Systems (Rapid Thermal Processing) für schnelle thermische Prozesse. Hauptsächlich soll das System für die Aktivierung von Metall-Halbleiter-Kontakten bei der Entwicklung von GaN-Bauelementen verwendet werden. Die Anlage ist für Wafer mit einem Durchmesser von 200 mm ausgelegt und mit einem automatischen Handling system für 25 Wafer ausgestattet. Es sollen bei Umgebungsdruck folgende Prozessgase verwendeten werden: N2, O2, NH3, N2O, H2 und Ar. Die Abluftleitung muss mit einer Abgasreinigungsanlage (z.B.Wäscher) verbunden werden können. Das RTP-System kann im Temperaturbereich von ca. 400
Mehr anzeigen Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
“Verfahren wird gemäß § 63 (1) 1. VGV aufgehoben, da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.”
Quelle: OJS 2018/S 107-243555 (2018-06-05)