RE-Ätzsystem

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche e-Vergabe

Gerät mit automatischem Waferhandling zum Ätzen von Oxidmasken, Justiermarken und Gräben auf SiC-Scheiben. Durch ein elektrostatisches Klemmen der Scheiben auf dem Substratchuck sollen auch SiC-Wafer mit dicken Epitaxieschichten und starker Durchbiegung homogen und vor allem reproduzierbar geätzt werden können.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-07-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-06-12.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2018-06-12 Auftragsbekanntmachung
2018-07-13 Ergänzende Angaben
2018-11-14 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Ergänzende Angaben (2018-07-13)
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Rechtsgrundlage
Beschreibung

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: RE-Ätzsystem E_079_232068 ChrPat-wit FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Gerät mit automatischem Waferhandling zum Ätzen von Oxidmasken, Justiermarken und Gräben auf SiC-Scheiben. Durch ein elektrostatisches Klemmen der Scheiben...”    Mehr anzeigen

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2018/S 112-254484

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.2)
Ort des zu ändernden Textes: Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Alter Wert
Datum: 2018-07-12 📅
Zeit: 23:59
Neuer Wert
Datum: 2018-07-17 📅
Zeit: 23:59
Quelle: OJS 2018/S 135-308270 (2018-07-13)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-11-14)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰

1️⃣
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 91058 Erlangen
Beschreibung der Beschaffung:
“Gerät mit automatischem Waferhandling zum Ätzen von Oxidmasken, Justiermarken und Gräben auf SiC-Scheiben. Durch ein elektrostatisches Klemmen der Scheiben...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Support
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Performance
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45
Preis (Gewichtung): 35

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 112-254484

Auftragsvergabe

1️⃣
Titel: RE-Ätzsystem
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-11-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: ULVAC GmbH
Postanschrift: Parkring 11
Postort: Garching b. München
Postleitzahl: 85748
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: München, Landkreis 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2018/S 220-503448 (2018-11-14)