Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich <22nm bedient werden. Insbesondere entsteht dadurch eine Plattform, die eine Schnittstelle zwischen Chemieherstellern und Endanwendern darstellt. Durch die Nutzung im BeOL und FeOL sollen eine Vielzahl von Prozessen abgedeckt werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-10-26.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-10-11.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Single Wafer Wet Clean Tool
E_048_254367 ChrPat-glame FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich <22nm...”
Kurze Beschreibung
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich <22nm bedient werden. Insbesondere entsteht dadurch eine Plattform, die eine Schnittstelle zwischen Chemieherstellern und Endanwendern darstellt. Durch die Nutzung im BeOL und FeOL sollen eine Vielzahl von Prozessen abgedeckt werden.
1️⃣
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01099 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich <22nm...”
Beschreibung der Beschaffung
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich <22nm bedient werden. Insbesondere entsteht dadurch eine Plattform, die eine Schnittstelle zwischen Chemieherstellern und Endanwendern darstellt. Durch die Nutzung im BeOL und FeOL sollen eine Vielzahl von Prozessen abgedeckt werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 9
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Flip Station, Bevel Clean Kammer, System zur pH Wert Überwachung, Servicevertrag”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (siehe Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre.” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Beschleunigtes Verfahren: Aufgrund der hochen Projektdringlichkeit muss das Verfahren verkürzt werden.
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2018-10-26
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2018/S 199-450193 (2018-10-11)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-11-30) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich < 22 nm...”
Kurze Beschreibung
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich < 22 nm bedient werden. Insbesondere entsteht dadurch eine Plattform, die eine Schnittstelle zwischen Chemieherstellern und Endanwendern darstellt. Durch die Nutzung im BeOL und FeOL sollen eine Vielzahl von Prozessen abgedeckt werden.
Mehr anzeigen Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich < 22 nm...”
Beschreibung der Beschaffung
Die folgende Spezifikation beschreibt die Anforderungen eines Single Wafer Wet Clean Equipments für 300 mm Wafer. Es soll der Technologiebereich < 22 nm bedient werden. Insbesondere entsteht dadurch eine Plattform, die eine Schnittstelle zwischen Chemieherstellern und Endanwendern darstellt. Durch die Nutzung im BeOL und FeOL sollen eine Vielzahl von Prozessen abgedeckt werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Kostenkriterium (Name): Preis
Kostenkriterium (Gewichtung): 35
Kostenkriterium (Name): Ergebnisse der Prozessspezifikation und -demonstration
Kostenkriterium (Gewichtung): 10
Kostenkriterium (Name): Technische Ausführung inkl. Erweiterungsoptionen
Kostenkriterium (Gewichtung): 45
Kostenkriterium (Name): Installation/Service/Wartung
Beschreibung
Zusätzliche Informationen: Das Verfahren wird gem. §63.1,1 VGV aufgehoben.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 199-450193
Auftragsvergabe
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Titel: Single Wafer Wet Clean Tool
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
“— Anforderung Unterlagen –erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen –erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Quelle: OJS 2018/S 233-532284 (2018-11-30)