Sol-Gel-Coater

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

Das Fraunhofer ISIT plant die Beschaffung eines Belackers (Spin-Coater), mit dessen Hilfe die Beschichtung von 8-Zoll Wafern mit Sol-Gel-PZT möglich ist.
Das Beladen der Geräte mit Wafern soll vollautomatisch mittels Carrier erfolgen. Dabei sollen die Wafer innerhalb der Anlage vollautomatisch bearbeitet werden. Während des Betriebs muss sichergestellt werden, dass keine giftigen Stoffe aus der Anlage austreten.
Der Spin-Coater sollte in der Lage sein, außer Sol-Gel-Lösungen auch andere lösemittelbasierte Lösungen mit erhöhter Viskosität zu verarbeiten.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-06-04. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-05-04.

Wer?

• • Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe

Wie?

• • Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• • Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt