VPD Tool zur Kontaminierungsbestimmung auf Wafern.
Es soll eine VPD-Anlage zur Probenpräparation zur Bestimmung von metallischen Verunreinigungen auf Si-Wafern beschafft werden. Dazu wird der Wafer mit HF bedampft, wobei sich SiO2 auflöst und alle darin enthaltenen Verunreinigungen in die mobile Phase übergehen. Diese mobile Phase wird mit einem Scan-Tropfen (verdünnte HF+H2O2) aufgenommen, der z.B. spiralförmig über den Wafer geführt wird. Dieser Tropfen wird anschließend mittels ICP-MS analysiert. Die Anlage ist für den Betrieb in einem ISO 6 Reinraum vorgesehen und ist entsprechend reinraumkompatibel zu konzipieren. Die Anlage soll auf 200 mm/8“ und 300 mm/12“ Wafer ausgelegt sein,
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-03-23.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-02-21.
Auftragsbekanntmachung (2018-02-21) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_048_250210 ChrPat-wit FMD
Kurze Beschreibung:
“VPD Tool zur Kontaminierungsbestimmung auf Wafern.” Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt. Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen auch die anderen Bewerber noch rechtzeitig erreichen, müssen die Rückfragen oder Hinweise bis spätestens 26.2.2018 eingehen. Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses.
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Quelle: OJS 2018/S 038-082427 (2018-02-21)