1 pc. Ion Beam Etch Tool

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

The planned acquisition comprises a cleanroom compatible ion beam etching system for patterning of magnetic multilayer stacks on standardised 200 mm semiconductor based wafers over resist masks or hard masks. Furthermore also Au layers or Pt/AlN stacks could be patterned by ion beam etching. In addition, it should provide the possibilities to process also 150 mm wafers. The tool requires an in situ measurement for detecting of etch progress and end point, preferred by SIMS.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-03-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-02-07.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-02-07 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2019-02-07)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: 1 pc. Ion Beam Etch Tool E_134_253632 deyda-golame FMD
Produkte/Dienstleistungen: Oberflächenbehandlung 📦
Kurze Beschreibung:
“The planned acquisition comprises a cleanroom compatible ion beam etching system for patterning of magnetic multilayer stacks on standardised 200 mm...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Chemnitz, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 09126 Chemnitz.
Beschreibung der Beschaffung:
“The planned acquisition comprises a cleanroom compatible ion beam etching system for patterning of magnetic multilayer stacks on standardised 200 mm...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 12
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Option 1: quarz wafer (2.10/6.). Option 2: list of available equipment and consumable parts. Option 3: signal light tower.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“The documents listed in the following must be presented in full with the tender. Incomplete documents could lead to exclusion from the procedure.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Designation of the company revenue for the last 3 business years; 2) Self-declaration regarding the lack of exclusion criteria pursuant to § 123 and §...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Company profile and the actual amount of employees; 2) References from comparable projects not more than 3 years old. If, for reasons of data protection,...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-03-11 23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Request of documents — available at: the award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Instruction on available legal remedies: A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 030-066474 (2019-02-07)