1 St. Hybrid-SALD-Anlage

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Die Investitionsmaßnahme umfasst eine modulare und flexible Hybrid-SALD-Beschichtungsplattform zur zukünftigen Kombination unterschiedlicher Beschichtungstechnologien (Hybrid-Aspekt) mit örtlicher Hochdurchsatz-Atomlagenabscheidung (SALD-Aspekt). Hierdurch sollen optische und elektrische Dickschichtsysteme über 500 nm auf 2D- und 3D-Substraten realisiert werden. Wesentlich ist dabei eine flexible und homogene Gasraumtrennung, mit der unterschiedliche Arbeitsdrücke realisiert werden, die den Einsatz unterschiedlicher Beschichtungsprozesse erlaubt, ohne die Substrate aus der Beschichtungskammer zu transferieren. Die Kombination, Implementierung und Integration unterschiedlicher Beschichtungsprozesse mit der Atomlagenabscheidung erfordert eine komplexe interdisziplinäre Vereinigung von unterschiedlichen Voraussetzungen, Vernetzungen und Kompatibilitäten der einzelnen Anlagenkomponenten.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-05-16. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-04-15.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-04-15 Auftragsbekanntmachung
2019-06-14 Ergänzende Angaben
2019-07-22 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2019-04-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_046_237238 deyda-wit
Kurze Beschreibung:
Die Investitionsmaßnahme umfasst eine modulare und flexible Hybrid-SALD-Beschichtungsplattform zur zukünftigen Kombination unterschiedlicher Beschichtungstechnologien (Hybrid-Aspekt) mit örtlicher Hochdurchsatz-Atomlagenabscheidung (SALD-Aspekt). Hierdurch sollen optische und elektrische Dickschichtsysteme über 500 nm auf 2D- und 3D-Substraten realisiert werden. Wesentlich ist dabei eine flexible und homogene Gasraumtrennung, mit der unterschiedliche Arbeitsdrücke realisiert werden, die den Einsatz unterschiedlicher Beschichtungsprozesse erlaubt, ohne die Substrate aus der Beschichtungskammer zu transferieren. Die Kombination, Implementierung und Integration unterschiedlicher Beschichtungsprozesse mit der Atomlagenabscheidung erfordert eine komplexe interdisziplinäre Vereinigung von unterschiedlichen Voraussetzungen, Vernetzungen und Kompatibilitäten der einzelnen Anlagenkomponenten.
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Hydraulische Pressen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Braunschweig, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-04-15 📅
Einreichungsfrist: 2019-05-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-04-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 077-182693
ABl. S-Ausgabe: 77
Zusätzliche Informationen
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses, — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Dauer: 14 Monate
Beschreibung der Optionen:
Optionen:
— Schleusenfunktion/Load-Lock-Transfer,
— Gloveboxtransfer,
— Ports für Massenspektrometrie,
— Weitere Quellumgebungen.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 38108 Braunschweig

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
(1) Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(2) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB);
(3) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gem. § 150 a GewO (wird durch den Auftraggeber eingeholt).
Technische und berufliche Fähigkeiten:
(1) Firmenprofil, inklusive der Angabe der Mitarbeiter in dem ausgeschriebenen Bereich;
(2) Referenzen von vergleichbaren Projekten nicht älter als 3 Jahre (Mindestangaben: Name des Auftraggeber, Ansprechpartner inkl. Kontaktdaten). Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber);
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(3) Eigenerklärung, dass die Reaktionszeit des telefonischen Service bis zum nächsten Werktag erfolgt. Werktag: Mo-Fr (8.30 Uhr bis 17.00 Uhr);
(4) Eigenerklärung, das ein Service vor Ort innerhalb von 5 Werktagen erfolgt. Werktag: Mo-Fr (8.30 Uhr bis 17.00 Uhr).
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
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Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-06-21 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-05-17 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
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— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
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Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 077-182693 (2019-04-15)
Ergänzende Angaben (2019-06-14)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-06-14 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-06-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 115-282331
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 077-182693
ABl. S-Ausgabe: 115
Quelle: OJS 2019/S 115-282331 (2019-06-14)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-07-22)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-07-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-07-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 142-349387
ABl. S-Ausgabe: 142
Zusätzliche Informationen
Aufhebung des offenen Verfahrens gem. § 63 Abs.1 Nr. 1. VgV da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Beschreibung der Optionen:
– Schleusenfunktion/Load-Lock-Transfer,
– Gloveboxtransfer,
– Ports für Massenspektrometrie,
– Weitere Quellumgebungen.
Zusätzliche Informationen:
Aufhebung des offenen Verfahrens gem. § 63 Abs.1 Nr. 1. VgV da kein Angebot eingegangen ist, das den Bedingungen entspricht.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65 %
Preis (Gewichtung): 35 %

Referenz
Zusätzliche Informationen
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
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Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
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Quelle: OJS 2019/S 142-349387 (2019-07-22)