Reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit Inductively Coupled Plasma (ICP) Quelle zum homogenen Tiefätzen von Silizium mit großen Aspektverhältnissen und glatten Seitenflanken mittels Kryo-Prozess, welcher vom Hersteller mitgeliefert wird.
Die Anlage soll zudem schnelle Gaswechsel beherrschen, um ohne aufwändigen Umbau mithilfe des Bosch-Prozesses tiefe Silizium-Ätzungen bei Raumtemperatur durchführen zu können.
Außerdem soll die Anlage zum Ätzen von Verbindungshalbleitern und Dielektrika genutzt werden können, hierfür soll die Möglichkeit zur einfachen Nachrüstung weiterer Gaslinien bestehen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-08-21.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-07-18.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: 1 St. ICP-RIE-Kryo-Plasmaätzanlage
E_005_235010 FMD deyda-KauAnj
Produkte/Dienstleistungen: Oberflächenbehandlung📦
Kurze Beschreibung:
“Reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit Inductively Coupled Plasma (ICP) Quelle zum homogenen Tiefätzen von Silizium mit großen Aspektverhältnissen und glatten...”
Kurze Beschreibung
Reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit Inductively Coupled Plasma (ICP) Quelle zum homogenen Tiefätzen von Silizium mit großen Aspektverhältnissen und glatten Seitenflanken mittels Kryo-Prozess, welcher vom Hersteller mitgeliefert wird.
Die Anlage soll zudem schnelle Gaswechsel beherrschen, um ohne aufwändigen Umbau mithilfe des Bosch-Prozesses tiefe Silizium-Ätzungen bei Raumtemperatur durchführen zu können.
Außerdem soll die Anlage zum Ätzen von Verbindungshalbleitern und Dielektrika genutzt werden können, hierfür soll die Möglichkeit zur einfachen Nachrüstung weiterer Gaslinien bestehen.
1️⃣
Ort der Leistung: Freiburg🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 79108 Freiburg
Beschreibung der Beschaffung:
“Reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit Inductively Coupled Plasma (ICP) Quelle zum homogenen Tiefätzen von Silizium mit großen Aspektverhältnissen und glatten...”
Beschreibung der Beschaffung
Reaktive Ionenätzanlage (RIE) mit Inductively Coupled Plasma (ICP) Quelle zum homogenen Tiefätzen von Silizium mit großen Aspektverhältnissen und glatten Seitenflanken mittels Kryo-Prozess, welcher vom Hersteller mitgeliefert wird.
Die Anlage soll zudem schnelle Gaswechsel beherrschen, um ohne aufwändigen Umbau mithilfe des Bosch-Prozesses tiefe Silizium-Ätzungen bei Raumtemperatur durchführen zu können.
Außerdem soll die Anlage zum Ätzen von Verbindungshalbleitern und Dielektrika genutzt werden können, hierfür soll die Möglichkeit zur einfachen Nachrüstung weiterer Gaslinien bestehen.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 10
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Option1) 3‘‘-Carrier mit Anbindung an He-Rückseitenkühlung; Option 2) Statt Einzelwafer-Schleusensystem ein Kassettensystem mit Transferstation; Option 3)...”
Beschreibung der Optionen
Option1) 3‘‘-Carrier mit Anbindung an He-Rückseitenkühlung; Option 2) Statt Einzelwafer-Schleusensystem ein Kassettensystem mit Transferstation; Option 3) Optische Emissionsspektroskopie
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(2) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(2) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB);
(3) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gem § 150 a GewO (wird durch den Auftraggeber eingeholt).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Firmenprofil;
(2) Der Anbieter soll min. 10 Jahre Erfahrung in Design und Produktion von Ätzanlagen für Kryo-Prozesse besitzen und die Auslieferung von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Firmenprofil;
(2) Der Anbieter soll min. 10 Jahre Erfahrung in Design und Produktion von Ätzanlagen für Kryo-Prozesse besitzen und die Auslieferung von min. 10 Kryo-Ätzanlagen bei mehreren Kunden aus der Halbleiterfertigung und Forschung bestätigen. Auf Anfrage soll er dies auch anhand von Referenzen nachweisen können.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-08-21
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2019-09-27 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2019-08-22
12:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): München
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2019/S 139-341870 (2019-07-18)
Ergänzende Angaben (2019-08-22) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2019/S 139-341870
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.2)
Ort des zu ändernden Textes: Schlusstermin für den Eingang der Angebote oder Teilnahmeanträge
Alter Wert
Datum: 2019-08-21 📅
Zeit: 23:59
Neuer Wert
Datum: 2019-09-23 📅
Zeit: 12:00
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.6)
Ort des zu ändernden Textes: Bindefrist des Angebots
Alter Wert
Datum: 2019-09-27 📅
Neuer Wert
Datum: 2019-10-31 📅
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.7)
Ort des zu ändernden Textes: Bedingungen für die Öffnung der Angebote
Alter Wert
Datum: 2019-08-22 📅
Zeit: 12:00
Neuer Wert
Datum: 2019-09-23 📅
Zeit: 12:01
Quelle: OJS 2019/S 163-400584 (2019-08-22)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-10-07) Objekt Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung):
“Technische Ausführung und Bedienbarkeit (Details s. ausführliche Spezifikationen im Leistungsverzeichnis)”
Qualitätskriterium (Gewichtung): 55 %
Qualitätskriterium (Bezeichnung):
“Service (Details s. ausführliche Spezifikationen in der Leistungsverzeichnis und Anlage „Serviceleistungen“)”
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10 %
Preis (Gewichtung): 35 %
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Option1) 3‘‘-Carrier mit Anbindung an He-Rückseitenkühlung;
Option 2) Statt Einzelwafer-Schleusensystem ein Kassettensystem mit Transferstation;
Option 3)...”
Beschreibung der Optionen
Option1) 3‘‘-Carrier mit Anbindung an He-Rückseitenkühlung;
Option 2) Statt Einzelwafer-Schleusensystem ein Kassettensystem mit Transferstation;
Option 3) Optische Emissionsspektroskopie.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 139-341870
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: 1 St. ICP-RIE-Kryo-Plasmaätzanlage
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§ 134 GWB).
Mehr anzeigen Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
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Quelle: OJS 2019/S 195-473669 (2019-10-07)