A741 PVD Anlage Koala

Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)

Eine Vakuum-Depositionsanlage für Schichten zwecks Herstellung von Perowskit Solarzellen. Die Anlage soll als Cluster-Mehrkammer-System alle Schichten ohne Vakuumbruch auf einer Fläche von (200 x 200) mm (Silizium Wafergrößen M2-M6) abscheiden. Es sind die folgenden Depositionskammern notwendig:
1) Thermisches Aufdampfen von Perowskit Absorberschichten, wobei 5 oder mehr verschiedene organische und anorganische Precursor-Materialien separat oder gleichzeitig homogen aufgedampft werden können;
2) Thermisches Aufdampfen von organischen und anorganischen Kontaktschichten (HTL und ETL), aus vier oder mehr Quellen;
3) Thermische Atomic-Layer-Deposition (ALD) von Metalloxid Pufferschichten, Schichten von SnO2 abgeschieden bei 100C als Referenzprozess;
4) Magnetron Sputtern bei Temperaturen von bis zu 250C mit einem industrienahen Prozess, d. h. dynamisch, idealerweise von Rohrkathoden. Es soll vorgesehen werden:
a) Sputtern von TCO Materialien mit minimaler Schädigung der darunterliegenden Perowskit Solarzelle durch Ionen-, Strahlungs- oder thermischen Einfluss, mit z. B. ITO als Referenzprozess;
b) Pulsed-DC Sputtern von TCOs und anderen Metalloxiden, z. B. NiOx 4 a. und b. sollen entweder optional angeboten werden als 2 getrennte Sputterzonen oder als austauschbare Quelle in einer Sputterzone. Außerdem soll in die Sputterzone(n) optional separat geschleust werden können (also nicht über den zentralen Roboter).
5) Elektronenstrahl-Verdampfen von Metalloxiden, z. B. NiOx ist optional vorzusehen bzw. muss nachrüstbar sein.
Die Anlage soll mit einer automatischen Steuerung incl. Rezeptverwaltung und einem kontaminationsfrei Probenhandlings-System, integrierten Carrier-Cassetten zum Prozessieren von mind. 10 Proben sowie einem abgestimmten Sicherheitskonzept angeboten werden. Für die Be- und Entladung der organischen Materialien (Quellen) müssen Gloveboxen vorgesehen werden.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-01-27. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-12-20.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-12-20 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2019-12-20)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Postanschrift: Hahn-Meitner-Platz 1
Postort: Berlin
Postleitzahl: 14109
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 30 / 80621-2652 📞
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de 📧
Fax: +49 30 / 80621-2925 📠
Region: Berlin 🏙️
URL: http://www.helmholtz-berlin.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.subreport.de/E87855726 🌏
Weitere Informationen sind erhältlich bei
Name: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB)
Postort: Berlin
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: https://www.subreport.de/E87855726
E-Mail: vergabe@helmholtz-berlin.de 📧
Region: Deutschland 🏙️
URL: http://www.helmholtz-berlin.de 🌏
Kommunikation
Teilnahme-URL: https://www.subreport.de/E87855726 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Grossforschungseinrichtung

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: A741 PVD Anlage Koala
Produkte/Dienstleistungen: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦
Kurze Beschreibung:
“Eine Vakuum-Depositionsanlage für Schichten zwecks Herstellung von Perowskit Solarzellen. Die Anlage soll als Cluster-Mehrkammer-System alle Schichten ohne...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Berlin 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 12489 Berlin Kekuléstr. 5 (1. Etage, PVD Labor)
Beschreibung der Beschaffung:
“Eine Vakuum-Depositionsanlage für Schichten zwecks Herstellung von Perowskit Solarzellen. Die Anlage soll als Cluster-Mehrkammer-System alle Schichten ohne...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualität
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50 %
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20 %
Preis (Gewichtung): 30 %
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 10
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 2
Maximale Anzahl: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:
“Erfüllung der genannten Eignungskriterien zur wirtschaflichen und fachlichen Eignung.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— kurze Unternehmenspräsentation, — Unterschriebene Eigenerklärung, — Erklärung über den Gesamtumsatz des Unternehmens sowie den Umsatz bezüglich der...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme
Mindestbedingung: Jahres-Umsatz > 2 x Auftragsvolumen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Die Firma soll Referenzprojekten angeben, wo Systeme hergestellt wurden, die Erfahrungen mit allen in der Kurzbeschreibung aufgezählten Abscheidetechniken...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten):
“Drei Referenzprojekten angeben, wo Systeme hergestellt wurden, die Erfahrungen mit allen in der Kurzbeschreibung aufgezählten Abscheidetechniken darlegen: —...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Informationen zur Verhandlung
Der Auftraggeber behält sich das Recht vor, den Auftrag auf der Grundlage der ersten Angebote zu vergeben, ohne Verhandlungen zu führen
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-01-27 23:45 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2020-02-04 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-04-30 📅

Ergänzende Informationen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen

“Bitte registrieren Sie sich für Teilnahme an der elektronischen Ausschreibung kostenlos unter http://www.subreport.de/ und laden sich die Unterlagen für den...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Verstöße gegen Vergabebestimmungen sind gegenüber dem Auftraggeber innerhalb von 10 Kalendertagen zu rügen, bei Verstößen, die sich aus der Bekanntmachung...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Quelle: OJS 2019/S 248-612183 (2019-12-20)