Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-04-18.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-03-13.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Atomlagen-Ätzsystem mit Plasmaunterstützung (ALE)
TU-043/19-201-ZMN
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke📦
Produkte/Dienstleistungen: FG11
📦
Kurze Beschreibung:
“Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu...”
Kurze Beschreibung
Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.
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Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 544 000 💰
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Oberflächenbehandlung📦
Ort der Leistung: Ilm-Kreis🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU-Ilmenau
Beschreibung der Beschaffung:
“Benötigt wird ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen,...”
Beschreibung der Beschaffung
Benötigt wird ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden und -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 24
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Maximale Anzahl: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:
“Zur Teilnahme berechtigt sind die maximal 5 Bewerber, die alle 5 Mindestanforderungen erfüllen haben und die 5 höchsten gewichteten und summierten Wertungen...”
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern
Zur Teilnahme berechtigt sind die maximal 5 Bewerber, die alle 5 Mindestanforderungen erfüllen haben und die 5 höchsten gewichteten und summierten Wertungen erhalten haben:
(W1) wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters – Absteigende Bewertung der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 10 %,
(W2) Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren - Absteigende Bewertung der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,
(W3) Mitarbeiter und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D – Absteigende Bewertung der 5 R&D-stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %,
(T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Europa, nicht älter als 3 Jahre – Absteigende Bewertung der 5 referenzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,
(T2) aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Applikationslabor - Absteigende Bewertung der 5 stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %,
(T3) nächstgelegener Servicestandort – Absteigende Bewertung der Entfernung zum Erfüllungsort (5-1 Pkt.) 10 %.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
Die Nichterfüllung mindestens eines dieser Mindestanforderungen gilt als Ausschlusskriterium.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).
“(W1) über die wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters,
(W2) den Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3...”
(W1) über die wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters,
(W2) den Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren sowie,
(W3) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D für Atomlagenätzsysteme.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
— Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre). (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zumAusfüllen und Wiederverwenden der EEE).
Mehr anzeigen Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten):
“Mindestanforderung (Ausschlusskriterium):
(M4) Der Bewerber muss mindestens eine Referenzinstallation eines Systems zum Atomlagenätzen mit...”
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)
Mindestanforderung (Ausschlusskriterium):
(M4) Der Bewerber muss mindestens eine Referenzinstallation eines Systems zum Atomlagenätzen mit Plasmaunterstützung in einer Forschungseinrichtung vorweisen können.
(M5) Vorhandensein eines eigenen Applikationslabors zum Atomlagenätzen
Bewertungskriterien:
(T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Europa, nicht älter als 3 Jahre,
(T2) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Applikationslabor sowie,
(T3) nächstgelegener Servicestandort zum Erfüllungsort.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerblicher Dialog
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-04-18
10:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2019-05-13 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
“Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link: Dazu „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“...”
Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link: Dazu „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=de. anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDFDatei exportiert/ gespeichert werden.
Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens):
Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor.
Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen.
Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens):
In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen.
Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird.
Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimar Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700📞 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3677-691744📞
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de📧
Fax: +49 3677-691931 📠
URL: http://www.tu-ilmenau.de🌏
Quelle: OJS 2019/S 054-124059 (2019-03-13)
Ergänzende Angaben (2019-04-18)
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2019/S 054-124059
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.3)
Ort des zu ändernden Textes:
“Voraussichtlicher Tag der Absendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe bzw. zur Teilnahme an ausgewählte Bewerber” Alter Wert
Datum: 2019-05-13 📅
Neuer Wert
Datum: 2019-04-23 📅
Quelle: OJS 2019/S 079-189846 (2019-04-18)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-06-24) Objekt Vergabekriterien
Preis
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 054-124059
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: TU-043/19-201-ZMN
Titel: Atomlagen-Ätzsystem mit Plasmaunterstützung (ALE)
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
Ergänzende Informationen Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: OJS 2019/S 120-293728 (2019-06-24)