Atomlagen-Ätzsystem mit Plasmaunterstützung (ALE)

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-04-18. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-03-13.

Wer?

• TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Wie?

• Industrielle Maschinen › Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
• Straßenbelagsmaterial › Oberflächenbehandlung

Wo?

• Thüringen › Ilm-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-03-13	Auftragsbekanntmachung
2019-04-18	Ergänzende Angaben
2019-06-24	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-03-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Referenznummer: TU-043/19-201-ZMN
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Oberflächenbehandlung 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Wettbewerblicher Dialog
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245857 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245857 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-03-13 📅
Einreichungsfrist: 2019-04-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-03-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 054-124059
ABl. S-Ausgabe: 54
Zusätzliche Informationen

Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link: Dazu „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“ https://ec.europa.eu/tools/espd/filter?lang=de. anklicken und dann die Option „eine Antwort erstellen" anklicken. Dann kann die EEE ausgefüllt und im gleichen Format (xml) sowie als PDFDatei exportiert/ gespeichert werden. Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens): Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor. Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen. Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens): In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen. Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird. Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 544 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

Benötigt wird ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden und -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung.

Dauer: 24 Monate
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Zusätzlicher CPV-Code: FG11
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU-Ilmenau

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Nachweis über die Befähigung zur Berufsausübung durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt A. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).

Die Nichterfüllung mindestens eines dieser Mindestanforderungen gilt als Ausschlusskriterium.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Nachweis über die wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt B. (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE).

Mindeststandards:

(W1) über die wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters,

(W2) den Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren sowie,

(W3) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D für Atomlagenätzsysteme.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

— Nachweis über die technische und berufliche Leistungsfähigkeit durch Abgabe der EEE – Teil IV Abschnitt Cund D (Hinweis: bezogen auf die letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahre). (Siehe Abschnitt VI.3 dieser Bekanntmachung – zusätzliche Angaben: Link und Erläuterungen zum Dienst zumAusfüllen und Wiederverwenden der EEE).

Mindeststandards:

Mindestanforderung (Ausschlusskriterium):

(M4) Der Bewerber muss mindestens eine Referenzinstallation eines Systems zum Atomlagenätzen mit Plasmaunterstützung in einer Forschungseinrichtung vorweisen können.

(M5) Vorhandensein eines eigenen Applikationslabors zum Atomlagenätzen

Bewertungskriterien:

(T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Europa, nicht älter als 3 Jahre,

(T2) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Applikationslabor sowie,

(T3) nächstgelegener Servicestandort zum Erfüllungsort.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:

Zur Teilnahme berechtigt sind die maximal 5 Bewerber, die alle 5 Mindestanforderungen erfüllen haben und die 5 höchsten gewichteten und summierten Wertungen erhalten haben:

(W1) wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters – Absteigende Bewertung der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 10 %,

(W2) Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren - Absteigende Bewertung der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,

(W3) Mitarbeiter und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D – Absteigende Bewertung der 5 R&D-stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %,

(T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Europa, nicht älter als 3 Jahre – Absteigende Bewertung der 5 referenzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,

(T2) aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Applikationslabor - Absteigende Bewertung der 5 stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %,

(T3) nächstgelegener Servicestandort – Absteigende Bewertung der Entfernung zum Erfüllungsort (5-1 Pkt.) 10 %.

Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2019-05-13 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245857 🌏
Internetadresse: https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=BF449CCA7F8474007861F7B2846EBCEC.app202?0 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens):

Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor.

Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen.

Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens):

In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen.

Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird.

Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Weimar Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700 📞
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB.
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Telefon: +49 3677-691744 📞
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691931 📠
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 054-124059 (2019-03-13)

Ergänzende Angaben (2019-04-18)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-04-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-04-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 079-189846
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 054-124059
ABl. S-Ausgabe: 79
Quelle: OJS 2019/S 079-189846 (2019-04-18)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-06-24)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-06-24 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-06-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 120-293728
ABl. S-Ausgabe: 120

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Quelle: OJS 2019/S 120-293728 (2019-06-24)

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