Automatic Spin Coating and Developing Cluster for 3“ and 100 mm Wafers

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of optical lithography processes on 3“ and 100 mm wafers. The configuration of the cluster includes modules for spin coating and resist developing, 4 hotplates, 2 coolplates, UV-lamp, video alignment, robot handler and 3 I/O stations.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-06-14. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-05-14.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-05-14 Auftragsbekanntmachung
2019-07-09 Ergänzende Angaben
2019-08-13 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2019-05-14)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Automatic Spin Coating and Developing Cluster for 3“ and 100 mm Wafers E_005_233717 humt-golame”
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of optical...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Freiburg im Breisgau, Stadtkreis 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 79108 Freiburg.
Beschreibung der Beschaffung:
“The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of optical...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 6
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen: Additional functionality.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“The documents listed in the following must be presented in full with the tender. Incomplete documents could lead to exclusion from the procedure.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Company turnover for the previous 3 years; (2) Self-declaration regarding the absence of exclusion criteria pursuant to § 123 and § 124 of the German...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Company profile incl. number of employees; (2) References from comparable projects not more than 3 years old; (3) European-based technical service...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents....”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-06-14 23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2019-07-09 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2019-06-17 12:00 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 094-226675 (2019-05-14)
Ergänzende Angaben (2019-07-09)

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2019/S 094-226675

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.6)
Ort des zu ändernden Textes: Minimum time frame during which the tenderer must maintain the tender
Alter Wert
Datum: 2019-07-09 📅
Zeit: 23:59
Neuer Wert
Datum: 2019-07-26 📅
Zeit: 23:59
Quelle: OJS 2019/S 133-326943 (2019-07-09)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-08-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Automatic Spin Coating and Developing Cluster for 3" and 100 mm Wafers E_005_233717 humt-golame”
Kurze Beschreibung:
“The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of optical...”    Mehr anzeigen
Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 79108 Freiburg
Beschreibung der Beschaffung:
“The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of optical...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Second developer bowl/weighting
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Active cooling units for the hotplates
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical performance/weighting
Qualitätskriterium (Gewichtung): 35
Preis (Gewichtung): 55
Beschreibung
Zusätzliche Informationen: Proceeding is suspended according to §63 (1) 1st VgV.

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 094-226675

Auftragsvergabe

1️⃣
Titel: Automatic Spin Coating and Developing Cluster for 3"and 100 mm Wafers
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt

Ergänzende Informationen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2019/S 156-385064 (2019-08-13)