Cluster Tool for Nanomaterials

Auftragsbekanntmachung (2019-06-14)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_134_253739 ChrPat-bla
Kurze Beschreibung:
“The planned acquisition comprises a cleanroom compatible cluster tool for sputter deposition and rapid thermal annealing of composite films and multilayers...”    Mehr anzeigen
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Chemnitz 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-06-14 📅
Einreichungsfrist: 2019-07-17 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-06-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 115-281642
ABl. S-Ausgabe: 115
Zusätzliche Informationen

“— Request of documents - available at: The award documents can be retrieved Exclusively through the award portal of the German e-Vergabe...”    Mehr anzeigen

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“The planned acquisition comprises a cleanroom compatible cluster tool for sputter deposition and rapid thermal annealing of composite films and multilayers...”    Mehr anzeigen

“The tool should consist of a central handling module, a magazine load lock and two process chambers, which allows the single wafer handling between the...”    Mehr anzeigen

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“For the sputter chamber intended materials are metals, e.g. Al, metal oxides and nitrides, e.g. TiO2, Ta2O5, TiN, perovskites, e.g. BiFeO3, YMnO3,...”

Kurze Beschreibung

For the sputter chamber intended materials are metals, e.g. Al, metal oxides and nitrides, e.g. TiO2, Ta2O5, TiN, perovskites, e.g. BiFeO3, YMnO3, semiconductors, e.g. Si, Ge, IGZO, as well as piezoelectric materials for NEMS, e.g. AlN. Therefore, a confocal sputter source arrangement of at least 3 sources in combination with a rotating substrate are necessary. The substrate table should have a heating functionality up to 600

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“The RTP chamber should reach a maximum temperature of 1200”

Dauer: 12 Monate
Beschreibung der Optionen:
“1) Free space for installation of a fourth sputtering source with dummy plate;”

“2) Fourth sputter cathode for HF sputtering with overlaid programmable pulsed DC power;”

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“3) All necessary generators, at least 300 W generator power, as well as other required components for an adjustable substrate HF-bias feature (13.56 MHZ) in...”

Beschreibung der Optionen

3) All necessary generators, at least 300 W generator power, as well as other required components for an adjustable substrate HF-bias feature (13.56 MHZ) in the sputter chamber;

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“4) A stepper motor controlled high vacuum control valve for a continuously regulation of the pump cross section provided for the rapid thermal processing chamber;”

Beschreibung der Optionen

4) A stepper motor controlled high vacuum control valve for a continuously regulation of the pump cross section provided for the rapid thermal processing chamber;

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“5) Signal light tower.”

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“09126 Chemnitz”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“The documents listed in the following must be presented in full with the tender. Incomplete documents could lead to exclusion from the procedure.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“1) Company profile and the actual amount of employees;”

“2) Designation of the company revenue for the last 3 business years;”

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“3) Self-declaration regarding the lack of exclusion criteria pursuant to § 123 and § 124 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB);”

“4) Excerpt from the Central Trade Register according to § 150a GewO (is requested by the client).”

Technische und berufliche Fähigkeiten:
“1) Complete references (including contact persons with contact data) from comparable projects, which were realized in the last 3 years.”
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents....”    Mehr anzeigen

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

“— Request of documents - available at: The award documents can be retrieved”

“Exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at”

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“www.deutsche-evergabe.de. With the tender submission, contenders are also subject to the provisions regarding unsuccessful tenders (§134 GWB [German Act...”

Zusätzliche Informationen

www.deutsche-evergabe.de. With the tender submission, contenders are also subject to the provisions regarding unsuccessful tenders (§134 GWB [German Act Against Restraints of Competition]). Questions or remarks from the tenderer must be sent, in English only, exclusively via e-mail to the contact point named underNo. I.1. As far as relevant, responses to the questions or remarks of the tenderer shall also be sent to all other tenderers.

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“Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German...”

Zusätzliche Informationen

Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German eVergabe with or without registration.

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“Please note that registration is required for requests to participate, tender submissions and tenderer questions.”

“We therefore recommend early registration, also in order to receive any tenderer information; you otherwise bear the risk of possible tender exclusion.”

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 115-281642 (2019-06-14)