DUV Lithography Scanner

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

As part of the strategic invest project „Research Fab Microelectronic Germany“ (FMD), Fraunhofer IPMS will acquire a DUV lithography scanner. This will enable IPMS to extend resolution to beyond 130 nm critical dimension on 200 mm wafer size to serve customer requests in future research projects with the following requirements.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-03-06. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-02-19.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-02-19 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2019-02-19)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: DUV Lithography Scanner E_048_255981 ChrPat-bla FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“As part of the strategic invest project „Research Fab Microelectronic Germany“ (FMD), Fraunhofer IPMS will acquire a DUV lithography scanner. This will...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung: Dresden 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01109 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“As part of the strategic invest project „Research Fab Microelectronic Germany“ (FMD), Fraunhofer IPMS will acquire a DUV lithography scanner. This will...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 18
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Maximale Anzahl: 5
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Auxiliary equipment, set of consumable parts, patterning, signal light tower, offline recipe management system, externally certified, WEE, Additional Resist.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“The documents listed below must be presented in full with the offer. Incomplete documents may lead to the exclusion of the proceedings.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Company profile and the actual amount of employees; 2) Designation of the company revenue for the last 3 business years; 3) Self-declaration regarding...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Complete references (including contact persons with contact data) from comparable projects, which were realized in the last 3 years; 2) Number of...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Beschleunigtes Verfahren: It has already been published in the tender 2018/S 171-388225.
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-03-06 23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Request of documents - available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 038-085126 (2019-02-19)