Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4x4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens vier Proben parallel beschichtet werden können. Die Anlage soll mindestens 3 Quellen besitzen, wobei sowohl Verdampferquellen als auch Sputterquellen möglich sind. Typische Materialien umfassen Aluminium, Titan, Platin und Nickel. Innerhalb eines Prozesses sollen die Möglichkeit bestehen mehrere Metalle nacheinander auf alle Proben abzuscheiden. Typische Schichtdicken betragen 10-1000 nm. Ein Beschichtungsrun sollte inklusive Probenwechsel/Schleusung bei einer Schichtdicke von 100 nm nicht länger als eine Stunde dauern. Außerdem soll die Möglichkeit vorgesehen werden über Schattenmasken eine strukturierte Metallschicht auf den Proben zu erzeugen. Die Schattenmaske muss sich außerhalb der Anlage (ggfs. mittels Mikroskop) relativ zur Probe justieren lassen und so fixiert sein, dass sie während des Beschichtungsprozesses nicht verrutscht.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-02-08.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-01-08.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Evaporator
E_048_254909 ChrPat-golame FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4x4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens vier...”
Kurze Beschreibung
Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4x4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens vier Proben parallel beschichtet werden können. Die Anlage soll mindestens 3 Quellen besitzen, wobei sowohl Verdampferquellen als auch Sputterquellen möglich sind. Typische Materialien umfassen Aluminium, Titan, Platin und Nickel. Innerhalb eines Prozesses sollen die Möglichkeit bestehen mehrere Metalle nacheinander auf alle Proben abzuscheiden. Typische Schichtdicken betragen 10-1000 nm. Ein Beschichtungsrun sollte inklusive Probenwechsel/Schleusung bei einer Schichtdicke von 100 nm nicht länger als eine Stunde dauern. Außerdem soll die Möglichkeit vorgesehen werden über Schattenmasken eine strukturierte Metallschicht auf den Proben zu erzeugen. Die Schattenmaske muss sich außerhalb der Anlage (ggfs. mittels Mikroskop) relativ zur Probe justieren lassen und so fixiert sein, dass sie während des Beschichtungsprozesses nicht verrutscht.
1️⃣
Ort der Leistung: Dresden🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01099 Dresden
Beschreibung der Beschaffung:
“Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4x4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens vier...”
Beschreibung der Beschaffung
Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4x4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens vier Proben parallel beschichtet werden können. Die Anlage soll mindestens 3 Quellen besitzen, wobei sowohl Verdampferquellen als auch Sputterquellen möglich sind. Typische Materialien umfassen Aluminium, Titan, Platin und Nickel. Innerhalb eines Prozesses sollen die Möglichkeit bestehen mehrere Metalle nacheinander auf alle Proben abzuscheiden. Typische Schichtdicken betragen 10-1000 nm. Ein Beschichtungsrun sollte inklusive Probenwechsel/Schleusung bei einer Schichtdicke von 100 nm nicht länger als eine Stunde dauern.
Außerdem soll die Möglichkeit vorgesehen werden über Schattenmasken eine strukturierte Metallschicht auf den Proben zu erzeugen. Die Schattenmaske muss sich außerhalb der Anlage (ggfs. mittels Mikroskop) relativ zur Probe justieren lassen und so fixiert sein, dass sie während des Beschichtungsprozesses auch bei Wechsel des Beschichtungsmaterials nicht verrutscht.
Die Prozessierung soll nach der Bestückung mit Proben vollautomatisiert erfolgen (inkl. Pumpen, Beschichten und Belüften
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 10
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Siehe Punkt sechs „Optionale Anforderungen und Ausstattung“ des Leistungsverzeichnisses.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (siehe Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre.” Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-02-08
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postort: Bonn
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2019/S 008-013675 (2019-01-08)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-07-25) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4 x 4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens 4...”
Kurze Beschreibung
Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4 x 4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens 4 Proben parallel beschichtet werden können. Die Anlage soll mindestens 3 Quellen besitzen, wobei sowohl Verdampferquellen als auch Sputterquellen möglich sind. Typische Materialien umfassen Aluminium, Titan, Platin und Nickel. Innerhalb eines Prozesses sollen die Möglichkeit bestehen mehrere Metalle nacheinander auf alle Proben abzuscheiden. Typische Schichtdicken betragen 10-1 000 nm. Ein Beschichtungsrun sollte inklusive Probenwechsel/Schleusung bei einer Schichtdicke von 100 nm nicht länger als eine Stunde dauern. Außerdem soll die Möglichkeit vorgesehen werden über Schattenmasken eine strukturierte Metallschicht auf den Proben zu erzeugen. Die Schattenmaske muss sich außerhalb der Anlage (ggfs. mittels Mikroskop) relativ zur Probe justieren lassen und so fixiert sein, dass sie während des Beschichtungsprozesses nicht verrutscht.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4 x 4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens 4...”
Beschreibung der Beschaffung
Es soll eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Metallisierung von Si Proben (typische Größe 4 x 4 cm, Dicke <1 mm) angeschafft werden. Es sollen mindestens 4 Proben parallel beschichtet werden können. Die Anlage soll mindestens 3 Quellen besitzen, wobei sowohl Verdampferquellen als auch Sputterquellen möglich sind. Typische Materialien umfassen Aluminium, Titan, Platin und Nickel. Innerhalb eines Prozesses sollen die Möglichkeit bestehen mehrere Metalle nacheinander auf alle Proben abzuscheiden. Typische Schichtdicken betragen 10-1 000 nm. Ein Beschichtungsrun sollte inklusive Probenwechsel/Schleusung bei einer Schichtdicke von 100 nm nicht länger als eine Stunde dauern.
Außerdem soll die Möglichkeit vorgesehen werden über Schattenmasken eine strukturierte Metallschicht auf den Proben zu erzeugen. Die Schattenmaske muss sich außerhalb der Anlage (ggfs. mittels Mikroskop) relativ zur Probe justieren lassen und so fixiert sein, dass sie während des Beschichtungsprozesses auch bei Wechsel des Beschichtungsmaterials nicht verrutscht.
Die Prozessierung soll nach der Bestückung mit Proben vollautomatisiert erfolgen (inkl. Pumpen, Beschichten und Belüften
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung):
“Ergebnisse der Prozessdemonstrationnn Unterkriterien gem. Leistungsverzeichnis Demo: Abscheidung des definierten Schichtstapels mit strukturierten Flächen...”
Qualitätskriterium (Bezeichnung)
Ergebnisse der Prozessdemonstrationnn Unterkriterien gem. Leistungsverzeichnis Demo: Abscheidung des definierten Schichtstapels mit strukturierten Flächen auf Wafer und Bruchstücke 50 % Demo: Abscheid
Mehr anzeigen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 30
Qualitätskriterium (Bezeichnung):
“Hauptkriterium: Technische Ausführung inkl. Erweiterungsoptionen Unterkriterien gem. Leistungsverzeichnis – Anzahl der möglichen Proben die pro h...”
Qualitätskriterium (Bezeichnung)
Hauptkriterium: Technische Ausführung inkl. Erweiterungsoptionen Unterkriterien gem. Leistungsverzeichnis – Anzahl der möglichen Proben die pro h beschichtet werden können (Durchsatz) - Anzahl der mö
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Qualitätskriterium (Gewichtung): 35
Preis (Gewichtung): 35
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Siehe Punkt 6 „Optionale Anforderungen und Ausstattung" des Leistungsverzeichnisses.”
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 008-013675
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: Evaporator
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-06-07 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Kurt J. Lesker Company Ltd.
Postort: Hastings
Land: Vereinigtes Königreich 🇬🇧
Region: East Sussex CC 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§ 134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
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Quelle: OJS 2019/S 144-354569 (2019-07-25)