Flexibel einsetzbare Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD)

TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Depositionssystem mit Plasmaunterstützung (PEALD) für die atomlagengenaue Abscheidung dünner Filme von Metallen, Metall-Oxiden und -Nitriden sowie optional –Sulfiden definierter Stöchiometrie für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abscheidemechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-04-18. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-03-13.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Beneq Oy

Wer?

• TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Wie?

• Industrielle Maschinen › Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
• Straßenbelagsmaterial › Oberflächenbehandlung

Wo?

• Thüringen › Ilm-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-03-13	Auftragsbekanntmachung
2019-04-18	Ergänzende Angaben
2020-08-07	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-03-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Referenznummer: TU-044/19-201-ZMN
Kurze Beschreibung:
“Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu...”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Oberflächenbehandlung 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Wettbewerblicher Dialog
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: TU Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245879 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=245879 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-03-13 📅
Einreichungsfrist: 2019-04-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-03-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 054-124149
ABl. S-Ausgabe: 54
Zusätzliche Informationen

“Hinweis zum Ausfüllen der EEE: Dienst zum Ausfüllen und Wiederverwenden der EEE unter dem Link: Dazu „Ich bin ein Wirtschaftsteilnehmer“...”
Quelle: OJS 2019/S 054-124149 (2019-03-13)

Ergänzende Angaben (2019-04-18)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu...”
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-04-18 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-04-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 079-189848
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 054-124149
ABl. S-Ausgabe: 79
Quelle: OJS 2019/S 079-189848 (2019-04-18)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-08-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 575 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-08-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-08-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 155-378974
ABl. S-Ausgabe: 155
Quelle: OJS 2020/S 155-378974 (2020-08-07)

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