FV 07/43-19 20020-5.6 Metall-Liftoff-Tool

Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung

Metall-Lift-Off Prozessor.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-09-30. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-08-29.

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-08-29 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2019-08-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung
Referenznummer: FBH-2019-0017
Kurze Beschreibung: Metall-Lift-Off Prozessor.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Stuttgart 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung
Postanschrift: Rudower Chaussee 17
Postleitzahl: 12489
Postort: Berlin
Kontakt
Internetadresse: http://www.fv-berlin.de 🌏
E-Mail: ameti@fv-berlin.de 📧
Fax: +49 3063923377 📠
URL der Dokumente: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-16cd75c34e9-357d99e900907af4 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-08-29 📅
Einreichungsfrist: 2019-09-30 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-09-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 168-410517
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 149-366615
ABl. S-Ausgabe: 168

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Ein Themenschwerpunkt der Prozesslinie ist die Prozessierung von InP in einem Transfersubstratprozess, das in dieser speziellen Form weltweit einmalig und ein Alleinstellungsmerkmal des FBH ist. Bei diesem Prozess werden die teilweise prozessierten InP-Wafer (bis zu 7 Ebenen) mit z. B. voll prozessierten BiCMOS Wafern im BCB-Klebeverfahren verbunden.
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Um in diesem kritischen Prozessschritt eine hohe Ausbeute zu erzielen zu können, müssen die zuvor durchgeführten Metall-Lift-off-Schritte (bis zu 4) partikelfrei und ohne Redepositionen erfolgen, müssen Ablagerungen von Metallpartikeln auf der Waferrückseite vermieden werden und zudem muss das Eindringen von Lösemittel in darunterliegende BCB Schichten vermieden werden. Die zu liftenden Strukturen sind mit kleinster Strukturgröße und hohem Höhe-Breite Verhältnis herausfordernd. Eine Schädigung der erzeugten Metallstrukturen muss im Prozess unbedingt vermieden werden.
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Dauer: 5 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Ferdinand- Braun- Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik im Forschungsverbund Berlin e. V.
Gustav-Kirchhoff-Str. 4
12489 Berlin

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Bietererklärung zur Eignung ab 500 EUR; Abfrage §6 KRG; Erklärung Frauenförderverordnung FFV ab 25 000 EUR

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Höchstzahl der Bewerber: 5
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2019-10-02 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-12-15 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 0799
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: eingetragener Verein
Kontakt
Kontaktperson: Forschungsverbund Berlin e. V. – Gemeinsame Verwaltung
Dokumente URL: https://vergabekooperation.berlin/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-16cd75c34e9-357d99e900907af4 🌏
E-Mail: vergabe@fv-berlin.de 📧
Land: Berlin 🏙️
Internetadresse: http://www.leibniz-fvb.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Berlin
Postanschrift: Martin-Luther-Straße 105
Postort: Berlin
Postleitzahl: 10825
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3090138316 📞
E-Mail: poststelle@senwtf.berlin.de 📧
Fax: +49 3090137613 📠
Internetadresse: http://www.berlin.de/ 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).
Quelle: OJS 2019/S 168-410517 (2019-08-29)
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