Halbautomatisches Kathodenzerstäubungssystem

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Die erreichbaren Schichtdicken betragen bis zu 2 μm mit einer Homogenität von ±3 bzw. ±5 %. Das System gestattet zudem eine homogene und präzise Substratemperatur bis 400C. Durch den integrierten Co-Sputter-Prozess können aus 3 Targets präzise Metalllegierungen und -komposite erzeugt werden. Die Beschichtung kann auf Substraten wie Si, AlO, Glas, Saphir, GaAs und Polymerfolien, auf Einzelwafern sowie auf mit Fotolack-strukturierten Substraten erfolgen. Das Handling der Substrate erfolgt dabei automatisch und die Anlage ist für die Beschichtung von funktionalen Materialien wie Pt, Ti, W, Ta, Cr, ITO, Si sowie SiN vorgesehen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-09-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-08-23.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-08-23 Auftragsbekanntmachung
2020-11-02 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2019-08-23)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Halbautomatisches Kathodenzerstäubungssystem E_018_208280 ChrPat-bla
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Die erreichbaren Schichtdicken betragen bis zu 2 μm mit einer Homogenität von ±3 bzw. ±5 %. Das System gestattet zudem eine homogene und präzise...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Freiburg 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 79110 Freiburg
Beschreibung der Beschaffung:
“Die erreichbaren Schichtdicken betragen bis zu 2 μm mit einer Homogenität von ±3 bzw. ±5 %. Das System gestattet zudem eine homogene und präzise...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 8
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Maximale Anzahl: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Referenzen, Umsatz, Eignung
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“— Plasma Emission Monitor (PEM), — 1 zusätzlichen DC Puls Generator, — Angebot Verschleissteilkit, — 1 zusätzlichen RF Generator.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter; (2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre; (3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre; (2) Nachweis dass vergleichbare Systeme drei Mal innerhalb...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-09-26 23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 164-402117 (2019-08-23)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-11-02)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die erreichbaren Schichtdicken betragen bis zu 2 μm mit einer Homogenität von ±3 bzw. ±5 %. Das System gestattet zudem eine homogene und präzise...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Die erreichbaren Schichtdicken betragen bis zu 2 μm mit einer Homogenität von ±3 bzw. ±5 %. Das System gestattet zudem eine homogene und präzise...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65
Preis (Gewichtung): 35

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 164-402117

Auftragsvergabe

1️⃣
Titel: Halbautomatisches Kathodenzerstäubungssystem
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-04-02 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 5
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 5
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: DREEBIT GmbH
Postort: Großröhrsdorf
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Bautzen 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”    Mehr anzeigen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Quelle: OJS 2020/S 217-530560 (2020-11-02)