Es wird eine Anlage zum reaktiven Tiefenätzen von Silizium benötigt. Es sollen Silizium-Wafer mit bis zu 200 mm Durchmesser und einer Dicke von bis zu 5 mm geätzt werden (Standard ist 125 mm mit 600 μm Dicke).
Benötigt wird das funktionsfähige Gerät inklusive aller zum Betrieb notwendigen Komponenten wie z. B. Vakuumpumpen, Steuerung inklusive Benutzerinterface, elektrisches Rack, Gasbox, Chiller etc. Die Abgasbehandlung (Trockenbettabsorber) ist nicht Bestandteil der Ausschreibung. Das Gerät muss über eine Einzelwaferschleuse verfügen und wird durch die Reinraum-Wand hindurch installiert. Auf der Graubereichseite steht ein Einbauraum von ca. 2,5 m (Tiefe) x 1,5 m (Breite) zur Verfügung, im Weißbereich (ISO5) sollen sich die Schleuse und der Steuerungsrechner befinden. Der Steuerungsrechner muss nicht in die Reinraumwand integriert werden, sondern darf auf einen bauseits zur Verfügung gestellten Tisch gestellt werden. Eine Begutachtung der Einbaubedingung.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-09-23.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-08-23.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: ICP-ASE Anlage
E_173_012262 ChrPat-KauAnj
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Es wird eine Anlage zum reaktiven Tiefenätzen von Silizium benötigt. Es sollen Silizium-Wafer mit bis zu 200 mm Durchmesser und einer Dicke von bis zu 5 mm...”
Kurze Beschreibung
Es wird eine Anlage zum reaktiven Tiefenätzen von Silizium benötigt. Es sollen Silizium-Wafer mit bis zu 200 mm Durchmesser und einer Dicke von bis zu 5 mm geätzt werden (Standard ist 125 mm mit 600 μm Dicke).
Benötigt wird das funktionsfähige Gerät inklusive aller zum Betrieb notwendigen Komponenten wie z. B. Vakuumpumpen, Steuerung inklusive Benutzerinterface, elektrisches Rack, Gasbox, Chiller etc. Die Abgasbehandlung (Trockenbettabsorber) ist nicht Bestandteil der Ausschreibung. Das Gerät muss über eine Einzelwaferschleuse verfügen und wird durch die Reinraum-Wand hindurch installiert. Auf der Graubereichseite steht ein Einbauraum von ca. 2,5 m (Tiefe) x 1,5 m (Breite) zur Verfügung, im Weißbereich (ISO5) sollen sich die Schleuse und der Steuerungsrechner befinden. Der Steuerungsrechner muss nicht in die Reinraumwand integriert werden, sondern darf auf einen bauseits zur Verfügung gestellten Tisch gestellt werden. Eine Begutachtung der Einbaubedingung.
1️⃣
Ort der Leistung: Mainz, Kreisfreie Stadt🏙️
Beschreibung der Beschaffung: 55129 Mainz
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 5
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Maximale Anzahl: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Referenzen, Umsatz, Eignung.
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“— optische Endpunktdetektion,
— Shuttle-Wafer,
— Umrüstsatz 100 mm,
— Umrüstsatz 150 mm,
— weitere empfohlene Optionen.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (siehe Anlage);
4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Referenzliste von mindestens 10 Anlagen des angebotenen Typs in Europa inklusive vollständigen Kontaktdaten von vergleichbaren Systemen (mindestens 3),...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1) Referenzliste von mindestens 10 Anlagen des angebotenen Typs in Europa inklusive vollständigen Kontaktdaten von vergleichbaren Systemen (mindestens 3), nicht älter als 3 Jahre;
2) Erklärung über die Anzahl der Prozess- (mindestens 2) und Serviceingenieure (mindestens 5) für Anlagen des angegebenen Typs in Europa inklusive Nennung der
Einzuhaltenden Reaktionszeit für Service vor Ort (maximal 3 Arbeitstage);
3) Angabe des Ortes eines permanenten eigenen Applikationslabors mit der Anzahl der installierten Anlagen (vom gleichen Typ);
4) Bestätigung zur kostenlosen Prozessunterstützung über die Lebensdauer der Anlage;
5) Service-Hotline: Bitte die jeweilige Anzahl der Prozessingenieure und die Reaktionszeit, sowie Telefonnummer, E-Mailadresse, Anzahl der Personen an Hotline und Anzahl der Jahre der Existenz dieser Hotline angeben.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-09-23
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
“— Anforderung Unterlagen,
— erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen,
— erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1) genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2019/S 164-402121 (2019-08-23)