Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Mit dem Angebot sind folgende Nachweise und Erklärungen einzureichen:
— Eigenerklärung über die aktuellste verfügbare Zahl der insgesamt in Ihrem Unternehmen beschäftigten Mitarbeiter,
— Ergänzende Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach den §§ 123f. GWB,
— geeignete Referenzen über früher ausgeführte Aufträge und Nachweis der Reproduzierbarkeit der Ergebnisse:
Der Hersteller muss mindestens 3 Referenzen benennen, bei welchen der Cryo-Ätzprozess für Silizium an seiner Anlage unter Verwendung der in der Einleitung genannten Gase erfolgreich ausgeführt wurde. Als Referenz gelten wissenschaftliche oder technische Publikationen, „White papers“, Prospekte mit elektronenmikroskopischen Abbildungen der geätzten Strukturen;
Außerdem muss der Hersteller je mindestens ein Ätzrezept für die Ätzung von Si, SiO2 und Chrom angeben, das in den geätzten Mikro- und Nanostrukturen zu senkrechten Seitenwänden mit einer maximalen Abweichung von +/-3 von der Vertikalen führt. Die Wirksamkeit dieser Rezepte ist durch jeweils 3 Referenzen nachzuweisen;
Der Hersteller muss mindestens 5 Anlagen des angebotenen Typs in Europa verkauft haben. Dies ist durch Angabe von mindestens 5 Käufern und Standorten der Anlagen in Europa zu belegen. Wir behalten uns das Recht vor, bei Referenzgebern Erfahrungswerte zur Zufriedenheit mit dem Vertragsverhältnis und dem Leistungsgegenstand einzuholen;
Der Hersteller muss ein eigenes Applikationslabor in Europa nachweisen (Angabe der Adresse mit Kontaktmöglichkeit per Telefon und e-mail), in dem er mindestens ein Plas-maätzsystem des angebotenen Typs betreibt. Wir behalten uns das Recht vor, das europäische Applikationslabor des Herstellers im Rahmen der Auswertung der Angebote für eine Demonstration des angebotenen Systems zu besuchen. Dabei behalten wir uns das Recht vor, eigene Proben aus Si, SiO2, und Chrom mitzubringen, damit diese bei der Demonstration benutzt werden.
— Technische Dokumentation des zu liefernden Gerätes mit detailliertem offiziellen Datenblatt mit den Spezifikationen zum Gerät, Daten zu Aufstellbedingungen (Größe, Gewicht...), Daten zu notwendigen technischen Anschlüssen (Strom, Gase, Kühlwasser, Klima etc.), Daten zu Arbeitsschutz-relevanten Bedingungen (Laserschutz, Strahlenschutz, Gentechnik...),
— Detallierte Aufschlüsselung des Angebotes mit Einzelpreisen (aus dieser Anlage soll sich der Preis der jeweiligen Komponenten des je Position angebotenen Produkts ergeben; die Angabe von Einzelpreisen dient der Plausibiltätsprüfung des Angebotspreises).