Für die Durchführung von Nasschemieprozessen auf Si Wafern wird eine Nasschemiebank ausgeschrieben. Die Nasschemiebank enthält Prozessbecken und Quick-Dump Einheiten für die nasschemische Prozessierung von Si-Wafern.
Labornassbank B:
Weiter II.2.4.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-06-13.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-05-13.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Labornassbank zum Reinigen, Ätzen und Spülen von Si-Wafern und Labornassbank zur Durchführung von Photolithographieprozessen auf Siliziumwafern
E_835_247092 cl-bla”
Titel
Labornassbank zum Reinigen, Ätzen und Spülen von Si-Wafern und Labornassbank zur Durchführung von Photolithographieprozessen auf Siliziumwafern
E_835_247092 cl-bla
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Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Für die Durchführung von Nasschemieprozessen auf Si Wafern wird eine Nasschemiebank ausgeschrieben. Die Nasschemiebank enthält Prozessbecken und Quick-Dump...”
Kurze Beschreibung
Für die Durchführung von Nasschemieprozessen auf Si Wafern wird eine Nasschemiebank ausgeschrieben. Die Nasschemiebank enthält Prozessbecken und Quick-Dump Einheiten für die nasschemische Prozessierung von Si-Wafern.
Labornassbank B:
Weiter II.2.4.
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Hydraulische Pressen📦
Ort der Leistung: Freiburg im Breisgau, Stadtkreis🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 79110 Freiburg
Beschreibung der Beschaffung:
“Folge von II.1.4 Labornassbank B:
Für die Durchführung von Photolithographieprozessen auf Si Wafern (Belacken, Ausheizen, Entwickeln, Strippen, Spülen) wird...”
Beschreibung der Beschaffung
Folge von II.1.4 Labornassbank B:
Für die Durchführung von Photolithographieprozessen auf Si Wafern (Belacken, Ausheizen, Entwickeln, Strippen, Spülen) wird eine Nasschemiebank ausgeschrieben Die Nasschemiebank enthält Prozessbecken und Quick-Dump Einheiten, vertiefte Bereiche für nasschemische Arbeiten in Bechergläsern sowie Arbeitsflächen für die Verwendung von Lackschleudern, Hotplates bzw. freie Arbeitsflächen.
Um innerhalb der Nassbänke (Labornassbank A, Labornassbank B) die größt-mögliche Reinheit zu gewährleisten, wird über FFU Einheiten partikelfreie Luft in die Nasschemiebank eingeströmt. Die Abluft der Nasschemiebank muss ca. 10-15 % über der durch die FFUs gelieferten Zuluftmenge liegen. Um die benötigte Abluftmenge zu reduzieren, ist die Nasschemiebank neben dem Normalbetrieb bei geöffnetem Frontschieber mit einem Standby Modus zu versehen, der die Zu- und Abluft der Bank oder eines Segments auf ca. 30 % reduziert. Hierzu ist die Nasschemiebank in ein Lüftungskontrollsystem einzu-binden, welches die über die FFUs eingeströmte Zuluft mit der Abluft ab-stimmt. Weiterhin ist die die Tiefe der Nasschemiebank möglichst gering zu halten.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 7
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Maximale Anzahl: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien, Referenzen, Umsatz
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s. Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von mind. 2 vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre. Darin soll die Erfahrung mit Auslegung, Herstellung,...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von mind. 2 vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre. Darin soll die Erfahrung mit Auslegung, Herstellung, Inbetriebnahme und dem Betrieb von Reinchemikalien-Systemen nachgewiesen werden.
Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber).
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-06-13
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2019/S 094-226586 (2019-05-13)