Labornassbank zum Reinigen, Ätzen und Spülen von Si-Wafern und Labornassbank zur Durchführung von Photolithographieprozessen auf Siliziumwafern

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Für die Durchführung von Nasschemieprozessen auf Si Wafern wird eine Nasschemiebank ausgeschrieben. Die Nasschemiebank enthält Prozessbecken und Quick-Dump Einheiten für die nasschemische Prozessierung von Si-Wafern.
Labornassbank B:
Weiter II.2.4.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-06-13. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-05-13.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Wie?

Wo?

• Freiburg › Freiburg im Breisgau, Stadtkreis
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-05-13	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2019-05-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_835_247092 cl-bla
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Hydraulische Pressen 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Freiburg im Breisgau, Stadtkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-05-13 📅
Einreichungsfrist: 2019-06-13 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-05-16 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 094-226586
ABl. S-Ausgabe: 94
Zusätzliche Informationen

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe (www.deutsche-evergabe.de) für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung. Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses, — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Labornassbank B:

Weiter II.2.4.

Folge von II.1.4 Labornassbank B:

Für die Durchführung von Photolithographieprozessen auf Si Wafern (Belacken, Ausheizen, Entwickeln, Strippen, Spülen) wird eine Nasschemiebank ausgeschrieben Die Nasschemiebank enthält Prozessbecken und Quick-Dump Einheiten, vertiefte Bereiche für nasschemische Arbeiten in Bechergläsern sowie Arbeitsflächen für die Verwendung von Lackschleudern, Hotplates bzw. freie Arbeitsflächen.

Um innerhalb der Nassbänke (Labornassbank A, Labornassbank B) die größt-mögliche Reinheit zu gewährleisten, wird über FFU Einheiten partikelfreie Luft in die Nasschemiebank eingeströmt. Die Abluft der Nasschemiebank muss ca. 10-15 % über der durch die FFUs gelieferten Zuluftmenge liegen. Um die benötigte Abluftmenge zu reduzieren, ist die Nasschemiebank neben dem Normalbetrieb bei geöffnetem Frontschieber mit einem Standby Modus zu versehen, der die Zu- und Abluft der Bank oder eines Segments auf ca. 30 % reduziert. Hierzu ist die Nasschemiebank in ein Lüftungskontrollsystem einzu-binden, welches die über die FFUs eingeströmte Zuluft mit der Abluft ab-stimmt. Weiterhin ist die die Tiefe der Nasschemiebank möglichst gering zu halten.

Dauer: 7 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 79110 Freiburg

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

(1) Firmenprofil und Angabe von Mitarbeiterzahlen;

(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;

(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (s. Anlage);

(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Technische und berufliche Fähigkeiten:

(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von mind. 2 vergleichbaren Anlagen, nicht älter als 3 Jahre. Darin soll die Erfahrung mit Auslegung, Herstellung, Inbetriebnahme und dem Betrieb von Reinchemikalien-Systemen nachgewiesen werden.

Sollten Sie aus datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber).

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern: Gemäß Eignungskriterien, Referenzen, Umsatz
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 23:59
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungsgesellschaft e. V.
Kontakt
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB).

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 094-226586 (2019-05-13)

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