Lieferung und Inbetriebnahme eines flexibel einsetzbaren Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE)

Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Die Technische Universität Ilmenau beabsichtigt, die technologische Ausstattung im Bereich der Forschung zur Mikro- und Nanotechnologie zu erweitern. Hierzu ist vorgesehen, flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden, -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung zu beschaffen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-07-23. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-06-21.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• SENTCH GmbH

Wer?

• Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung

Wie?

• Industrielle Maschinen › Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
• Straßenbelagsmaterial › Oberflächenbehandlung

Wo?

• Thüringen › Ilm-Kreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-06-21	Auftragsbekanntmachung
2020-09-29	Ergänzende Angaben
2020-11-06	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-06-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Referenznummer: TU-072/19-201-ZMN
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Oberflächenbehandlung 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Ilm-Kreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Wettbewerblicher Dialog
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postleitzahl: 98693
Postort: Ilmenau
Kontakt
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Telefon: +49 3677-691744 📞
Fax: +49 3677-691931 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=265443 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=265443 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-06-21 📅
Einreichungsfrist: 2019-07-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-06-25 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 120-293457
ABl. S-Ausgabe: 120
Zusätzliche Informationen

Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens): Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor. Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen. Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens): In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen. Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird. Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 544 000 EUR 💰
Kurze Beschreibung:

Benötigt wird ein flexibel einsetzbares Atomlagen-Ätzsystems mit Plasmaunterstützung (ALE) für die atomlagengenaue Abtragung dünner Filme aus Metallen, Metall-Oxiden und -Nitriden sowie optional -Sulfiden für Anwendungen als Tunnelbarrieren oder Elektroden in memristiven und kryoelektronischen Bauelementen, als Ferroelektrika und als 2D-Materialien sowie zur wissenschaftlichen Untersuchung der Abtragsmechanismen und zur Prozessentwicklung.

Geschätzter Wert ohne MwSt: 544 000 EUR 💰
Dauer: 12 Monate
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Zusätzlicher CPV-Code: FG11
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: TU Ilmenau

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Angaben und Formalitäten, die erforderlich sind, um die Einhaltung der Auflagen zu überprüfen:

— (M1) Erklärung, dass sich das Unternehmen weder in Liquidation befindet, noch dass über das Vermögen des Unternehmens das Insolvenz- bzw. Vergleichsverfahren eröffnet oder die Eröffnung beantragt worden ist,

— (M2) Auszug aus dem Handelsregister/Gewerbezentralregister (nicht älter als 3 Monate),

— (M3) Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes, der Krankenkassen, der Sozialversicherungsträger, der Berufsgenossenschaften und der Haftpflichtversicherung.

Die Nichterfüllung mindestens eines dieser Mindestanforderungen gilt als Ausschlusskriterium.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Unterlagen, welche

— (W1) über die wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters,

— (W2) den Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen in den letzten 3 Jahren sowie

— (W3) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D für Atomlagenätzsysteme aussagekräftige Auskunft geben.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Mindestanforderung (Ausschlusskriterium):

— (M4) Der Bewerber muss mindestens eine Referenzinstallation eines Systems zum Atomlagenätzen mit Plasmaunterstützung in einer Forschungseinrichtung vorweisen können.

— (M5) Vorhandensein eines eigenen Applikationslabors zum Atomlagenätzen,

Bewertungskriterien:

— (T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Europa, nicht älter als 3 Jahre,

— (T2) die aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Applikationslabor sowie

— (T3) nächstgelegener Servicestandort zum Erfüllungsort.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Mindestzahl der Bewerber: 3
Höchstzahl der Bewerber: 5
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:

Zur Teilnahme berechtigt sind die maximal 5 Bewerber, die alle 5 Mindestanforderungen erfüllen haben und die 5 höchsten gewichteten und Summierten Wertungen erhalten haben:

— (W1) wirtschaftliche Gesamtsituation des Bieters - Absteigende Bewertung der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 10 %,

— (W2) Umsatz von Systemen zum Atomlagenätzen in Forschungseinrichtungen in Den letzten 3 Jahren - Absteigende Bewertung der 5 umsatzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,

— (W3) Mitarbeiter und deren Qualifikationsstruktur im Bereich R&D - Absteigende Bewertung der 5 R&D-stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %,

— (T1) Komplette Referenzen von vergleichbaren Leistungen und Geräten in Europa, nicht älter als 3 Jahre - Absteigende Bewertung der 5 referenzstärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 25 %,

— (T2) aktuelle Mitarbeiterzahl und deren Qualifikationsstruktur im Applikationslabor - Absteigende Bewertung der 5 stärksten Bewerber (5-1 Pkt.) 15 %,

— (T3) nächstgelegener Servicestandort — Absteigende Bewertung der Entfernung Zum Erfüllungsort (5-1 Pkt.) 10 %.

Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2019-08-09 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=265443 🌏
Internetadresse: https://www.evergabe-online.de/start.html;jsessionid=FB76ECD39D66D2B0A28D216875697796.app103?0 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens):

Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen.

Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens):

In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen.

Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird.

Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 361-37700 📞
Fax: +49 361-573321059 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren: Entsprechend der Regelungen gemäß § 160 GWB
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung
Postanschrift: Max-Planck-Ring 14
Postort: Ilmenau
Postleitzahl: 98693
Telefon: +49 3677-691744 📞
E-Mail: beschaffung@tu-ilmenau.de 📧
Fax: +49 3677-691931 📠
Internetadresse: http://www.tu-ilmenau.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 120-293457 (2019-06-21)

Ergänzende Angaben (2020-09-29)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-09-29 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-10-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 192-462441
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 120-293457
ABl. S-Ausgabe: 192
Quelle: OJS 2020/S 192-462441 (2020-09-29)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-11-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 544 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-11-06 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-11-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 220-539863
ABl. S-Ausgabe: 220
Zusätzliche Informationen

Zum Teilnahmewettbewerb (Erster Teil des Vergabeverfahrens): Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor. Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen. Zum Angebotsverfahren (Zweiter Teil des Vergabeverfahrens): In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit Maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen. Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird. Die Ausschluss- und Bewertungskriterien werden mit den jeweiligen Aufforderungen zur Angebotserstellung bzw. Prozesstest mitgeteilt.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Spezifikation
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Software/Steuerung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Garantie und weitere Bedingungen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 5
Preis (Gewichtung): 100

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-11-05 📅
Name: SENTCH GmbH
Postort: Kraillng
Land: Deutschland 🇩🇪
Starnberg 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 480 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Referenz
Zusätzliche Informationen

Der Teilnahmewettbewerb dient zur Ermittlung der Eignung der Bewerber. Es werden im zweiten Teil des Vergabeverfahrens (Angebotsverfahren) nur Bewerber mit festgestellter Eignung zugelassen. Wird mindestens eine der Mindestanforderungen nicht erfüllt, liegt keine Eignung vor. Entsprechend Abschnitt II 2.9 wird aus den geeigneten Bewerbern unter Berücksichtigung der Bewertungsgewichtung eine Auswahl von maximal 5 Bewerbern herbeiführen.

In einer ersten Phase werden die ausgewählten maximal 5 Bewerber zur Erstellung Lösungskonzeptes und eines ersten verbindlichen Angebots aufgefordert. Diese

Angebote sind Grundlage der nächsten Phasen mit Verhandlungsrunden mit Maximal 3 Bietern. Im Bedarfsfall können Prozesstests zur Bewertung von Lösungskonzepten vorgesehen werden. In diesen Phasen kann nach Bewertung der vorgelegten Lösungskonzepte und Testergebnisse eine weitere Reduzierung der Teilnehmerzahl erfolgen. Letztlich werden die im Verfahren verbleibenden Bieter final um ein Angebot gebeten, bevor die Vergabe mit der Auftragserteilung an den Bestbieter abgeschlossen wird.

Quelle: OJS 2020/S 220-539863 (2020-11-06)

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