Messplatz um Siliziumwafer optisch 2D und 3D zu charakterisieren

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

– Digitalmikroskop,
– Laserscanningmikroskop.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-06-20. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-05-15.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-05-15 Auftragsbekanntmachung
2021-08-16 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2019-05-15)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2019-048
Kurze Beschreibung:
– Digitalmikroskop, – Laserscanningmikroskop.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYXF/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYXF 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-05-15 📅
Einreichungsfrist: 2019-06-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-05-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 096-231471
ABl. S-Ausgabe: 96
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYXF
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
– Digitalmikroskop,
– Laserscanningmikroskop.
Laserscanningmikroskop:
– präzises Kombinationsmessgerät bestehend aus Konfokalmessmodus mit einer definierten Wellenlänge zur nm genauen Oberflächenmessung und einer Fokusvariationsmessmodus nach Norm zur Analyse großer Bereiche,
– Axiale Auflösung: Mindestens 1 nm oder besser,
– Laterale Auflösung: Besser als 130 nm,
– Fokusvariation nach ISO 25178-6,
– Flankenmessung: Mindestens 86,5Grad,
– Konfokalmodus: Mittels Laser,
– Wellenlänge Laser: Kleiner als 420 nm,
– Beleuchtungsmöglichkeiten:
Hellfeld- und Dunkelfeldmikroskopie stufenfrei mischbar für Objektive für kleine Vergrößerungen von min. 5 bis 10 x. Hellfeldbeleuchtung stufenfrei dimmbar.
– Dynamikbereich Aufnahmesystem: Mindestens 14-BIT Aufnahmemodul für den Konfokalmodus (kein CCD/CMOS) und 16-BIT HDR Aufnahme für nicht konfokale Messungen,
– Axialer Scanbereich: Mindestens 7 mm,
– Stitching: Nahtloses Stitching von mehr als 500 Bildern automatisch dank motorisiertem Verfahrtisch,
– Wiederholgenauigkeit: Mit 5x Objektiv mindestens 500 nm (min. 20 mm Arbeitsabstand), mit 10x Objektiv mindestens 400 nm (min. 15 mm Arbeitsabstand), mit 20 x Objektiv 120 nm oder besser (min. 3 mm Arbeitsabstand), mit 50 x Objektiv 50 nm oder besser,
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– Objektivrevolver: Motorisiert mit min. 6 Plätzen,
– Objektivwechsel: Die Objektive sollen durch den Benutzer vor Ort wechselbar sein,
– Objektive mit der Vergrößerung:
–– 2.5 x (inklusive Koaxial- und Ringbeleuchtung),
–– 5 x (inklusive Koaxial- und Ringbeleuchtung),
–– 10 x (inklusive Koaxial- und Ringbeleuchtung),
–– 20 x,
–– 20 x weitdistanz (min. 10 mm Arbeitsabstand),
–– 50 x,
–– 50 x weitdistanz (mit mindestens 8 mm Arbeitsabstand),
–– 100 x,
–– 100 x weitdistanz (mit mindestens 2 mm Arbeitsabstand),
–– 150 x.
Digitalmikroskop:
– 2D und 3D Messungen und dokumentation mit einem Mikroskop.,
–100 mm x 100 mm grosse Objekttisch mit Motorbetrieb in X,Y,Z Achsen,
– hochempfindliche und schnelle Kamera mit 50 Bilder pro Sekunde,
– multisichtsystem- Hochauflösende Betrachtung aus jedem beliebigen Winkel bis 90 Grad Neigungswinkel,
– Artefaktfreie 3D aus jedem Winkel bis 90Grad- Aufnahmen auch bei schwierigen Lichtverhältnissen,
– Beleuchtung aus unterschiedlichen Winkeln. Beliebigen Beleuchtungswinkel einstellen, auch am bereits gespeicherten Bild,
– Mobil und ohne Stativ einsetzbar. Das lange Kamerakabel ermöglicht auch Aufnahmen abseits des Stativs,
– Tiefenscharfe Aufnahmen bei schwierigen Lichtverhältnissen ohne Pixelverzerrung auch bei hohen Vergrößerungen und aus einem Winkel heraus,
– Nahtstellenfreies vollautomatisches Zusammensetzen von mehreren Bildern in 2D und 3D (Stitching) 20.000 x 20.000 Pixel,
– automatische Ein-Klick-Messung: Messungen sind vom Anwender nicht zu beeinflussen, zusätzlich eine Zeitersparnis da mit einem Klick mehrere Messungen (Vorlagenspeicherung),
– umfassende Messmöglichkeiten – Flächenmessungen, Automatische Flächenmessung/Zählung (Partikelanalyse), Kalibrierung per Knopfdruck,
– Seitenlichtadapter zur variablen Einstellung des Lichteinfallwinkels im Dunkelfeld,
– Steuerung für Digitalmikroskop (Sprache: Englisch):
– Konsole: X,Y,Z verstellung,
– lebenslanger Support vor Ort (Inbetriebnahme; Kalibrierung; Schulungen; Service),
– Objektive:
–– 0.1 x bis 50 x (min. 80 mm Arbeitsabstand),
–– 20 x bis 2 000 x (min. 10 mm Arbeitsabstand),
–– 500 x bis 5 000 x (min. 4 mm Arbeitsabstand).
Dauer: 1 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Im Technologiepark 25
15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Bescheinigung in Steuersachen
Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
Referenzen:
Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.
Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:
— Referenzgeber,
— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer,
— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung,
— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-08-19 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-06-20 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder)

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYXF/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg
Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.
Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.
Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.
Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.
Mehr anzeigen
Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.
Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYXF

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2019/S 096-231471 (2019-05-15)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-08-16)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 265 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-08-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-08-20 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 161-422966
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 096-231471
ABl. S-Ausgabe: 161

Verfahren
Vergabekriterien
Kostenkriterium (Name): Preis
Kostenkriterium (Gewichtung): 40%
Kostenkriterium (Name): Funktionalität
Kostenkriterium (Gewichtung): 60%

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-06-28 📅
Name: Keyence Deutschland GmbH
Postanschrift: Siemensstraße 1
Postort: Neu-Isenburg
Postleitzahl: 63263
Land: Deutschland 🇩🇪
Offenbach, Landkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 219 727 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 2019/S 096-231471
Kontakt
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Quelle: OJS 2021/S 161-422966 (2021-08-16)
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