Beschreibung der Beschaffung
Los 1: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer:
Demonstration eines Transferprozesses bei dem InP-Membranen mit einem manuellen Micro-Transfer-Printer auf einen Wafer mit Siliziumdioxid transferiert werden.
Der Transferstempel soll aus einer 150 mm großen quadratischen Glasplatte mit PDMS-Silikon bestehen. Das Silikon wurde geformt, um eine Reihe von Stiften auszubilden, die einer bestimmten Chipletgröße entsprechen. Das Array ist auf photolithographische Toleranzen ausgelegt.
Dazu werden folgende Materialien vom IHP bereitgestellt:
— 4 x 2 inch. Wafer mit InP (2.6 Müm) auf InAlAs (500 nm). Die InAlAs-Schicht dient als Opferschicht für den Transferprozess,
— 4 x 8 inch. Wafer mit Silziumdioxid (1 Müm) auf Silizium. Die Rauheit der Siliziumdioxidschicht ist kleiner 0,5 nm.
Folgende Randbedingungen sind einzuhalten:
— Größe der zu transferierenden Membranen ist 350 Müm x 50 Müm x 2.6 Müm,
— die Platziergenauigkeit muss +/- 1.5 Müm (3 sigma) betragen,
— es darf keine Vermittlungsschicht wie z.B. BCB zwischen InP und Siliziumdioxid verwendet werden.
Nach Abschluss der Evaluierung wird dem IHP eine Prozessbeschreibung mit mindestens folgenden Punkten an das IHP übergeben:
— Beschreibung des Strukturierungs- und Freilegungsprozesses,
— Beschreibung der Transferparameter (z. B. Geschwindigkeit),
— der Transferstempel,
— der mitgelieferte Transferstempel soll 560 Chips pro Zyklus mit einer ungefähren Lebensdauer von> 5 000 Zyklen übertragen können.
Los 2: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers
Lieferung eines manuellen Micro-Transfer-Printers zum Transfer von Membranen mit Abmessungen unterhalb von 50 Müm x 50 Müm und einer Dicke von kleiner als 2 Müm.
Das Grundgehäuse enthält Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit. Die Rack-Komponenten umfassen Motorantriebe und Verstärker für alle Achsen, eine Systemsteuerung (PC) und einen IO-Controller mit PLC-Integration. Die Bewegungssteuerung wird über den Bewegungs-Controller eingerichtet, der auf einem eigenständigen Echtzeit-Betriebssystem auf dem PC ausgeführt wird. Der PC und die notwendige Software sind im Lieferumfang enthalten.
Der Transferstempel besteht aus einer 150 mm großen quadratischen Glasplatte mit PDMS-Silikon. Das Silikon wurde geformt, um eine Reihe von Stiften auszubilden, die einer bestimmten Chipletgröße entsprechen. Das Array ist auf photolithographische Toleranzen ausgelegt. Ein Stempel ist im System enthalten und wird mitgeliefert. Der mitgelieferte Stempel soll 560 Chips pro Zyklus mit einer ungefähren Lebensdauer von> 5 000 Zyklen übertragen können.
Die X- und Y-Achse sollen aus einer kombinierten Plattform aus senkrechten linearen Servomotoren bestehen. Die Achsen der Z- und X-, Y- und Z-Optik sind manuelle Lineartische.
Theta X und Y sind Bestandteile eines im Transferdruckkopf integrierten Tip-Tilt-Mechanismus. Theta Z ist ein Goniometer-Tisch mit dem Druckkopf als Nutzlast. Das Theta Z und die Nutzlast sind auf der Z-Achse montiert.
Mindestens 2 Kameras sind im Lieferumfang enthalten. Eine Kamera mit geringer Vergrößerung wird für die grobe Waferregistrierung und -navigation verwendet. Eine weitere Kamera mit hoher Vergrößerung wird zur Ausrichtung und Druckbeobachtung verwendet.
Nach der Herstellung des Gerätes und der Installation vor Ort wird das Gerät qualifiziert. Das im Folgenden angegebene Material wird für die Qualifikation verwendet:
— Chiplet (coupon) Material: Siliziumnitrid,
— Chiplet (coupon) Dimensionen: 40 Müm x 40 Müm x 1.2 Müm,
— Gesamtanzahl der transferierten Chiplets in 20 Zyklen: 11 200 Chiplets (coupons),
— das Material auf dem die Chiplets transferiert werden soll aus Silizium bestehen,
— die Ausbeute soll 98 % betragen,
— die Präzision soll +/- 1.5 micron (3 sigma) betragen.
Die Lieferung beinhaltet eine Mustererkennungssoftware für das Alignment. Die Software beinhaltet ein kostenloses Update für 1 Jahr.