Micro-Transfer-Printer

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

— Los 1: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer,
— Los 2: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-09-12. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-08-07.

Wer?

• IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Brandenburg › Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-08-07	Auftragsbekanntmachung
2021-07-23	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-08-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2019-062
Kurze Beschreibung:

— Los 1: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer, — Los 2: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY35/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY35 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-08-07 📅
Einreichungsfrist: 2019-09-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-08-09 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 153-376462
ABl. S-Ausgabe: 153
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und – sofern im konkreten Verfahren einschlägig – für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY35

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— Los 1: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer,

— Los 2: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers.

Los 1: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer:

Demonstration eines Transferprozesses bei dem InP-Membranen mit einem manuellen Micro-Transfer-Printer auf einen Wafer mit Siliziumdioxid transferiert werden.

Der Transferstempel soll aus einer 150 mm großen quadratischen Glasplatte mit PDMS-Silikon bestehen. Das Silikon wurde geformt, um eine Reihe von Stiften auszubilden, die einer bestimmten Chipletgröße entsprechen. Das Array ist auf photolithographische Toleranzen ausgelegt.

Dazu werden folgende Materialien vom IHP bereitgestellt:

— 4 x 2 inch. Wafer mit InP (2.6 Müm) auf InAlAs (500 nm). Die InAlAs-Schicht dient als Opferschicht für den Transferprozess,

— 4 x 8 inch. Wafer mit Silziumdioxid (1 Müm) auf Silizium. Die Rauheit der Siliziumdioxidschicht ist kleiner 0,5 nm.

Folgende Randbedingungen sind einzuhalten:

— Größe der zu transferierenden Membranen ist 350 Müm x 50 Müm x 2.6 Müm,

— die Platziergenauigkeit muss +/- 1.5 Müm (3 sigma) betragen,

— es darf keine Vermittlungsschicht wie z.B. BCB zwischen InP und Siliziumdioxid verwendet werden.

Nach Abschluss der Evaluierung wird dem IHP eine Prozessbeschreibung mit mindestens folgenden Punkten an das IHP übergeben:

— Beschreibung des Strukturierungs- und Freilegungsprozesses,

— Beschreibung der Transferparameter (z. B. Geschwindigkeit),

— der Transferstempel,

— der mitgelieferte Transferstempel soll 560 Chips pro Zyklus mit einer ungefähren Lebensdauer von> 5 000 Zyklen übertragen können.

Los 2: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers

Lieferung eines manuellen Micro-Transfer-Printers zum Transfer von Membranen mit Abmessungen unterhalb von 50 Müm x 50 Müm und einer Dicke von kleiner als 2 Müm.

Das Grundgehäuse enthält Elektronikkomponenten zur Steuerung und Sicherheit. Die Rack-Komponenten umfassen Motorantriebe und Verstärker für alle Achsen, eine Systemsteuerung (PC) und einen IO-Controller mit PLC-Integration. Die Bewegungssteuerung wird über den Bewegungs-Controller eingerichtet, der auf einem eigenständigen Echtzeit-Betriebssystem auf dem PC ausgeführt wird. Der PC und die notwendige Software sind im Lieferumfang enthalten.

Der Transferstempel besteht aus einer 150 mm großen quadratischen Glasplatte mit PDMS-Silikon. Das Silikon wurde geformt, um eine Reihe von Stiften auszubilden, die einer bestimmten Chipletgröße entsprechen. Das Array ist auf photolithographische Toleranzen ausgelegt. Ein Stempel ist im System enthalten und wird mitgeliefert. Der mitgelieferte Stempel soll 560 Chips pro Zyklus mit einer ungefähren Lebensdauer von> 5 000 Zyklen übertragen können.

Die X- und Y-Achse sollen aus einer kombinierten Plattform aus senkrechten linearen Servomotoren bestehen. Die Achsen der Z- und X-, Y- und Z-Optik sind manuelle Lineartische.

Theta X und Y sind Bestandteile eines im Transferdruckkopf integrierten Tip-Tilt-Mechanismus. Theta Z ist ein Goniometer-Tisch mit dem Druckkopf als Nutzlast. Das Theta Z und die Nutzlast sind auf der Z-Achse montiert.

Mindestens 2 Kameras sind im Lieferumfang enthalten. Eine Kamera mit geringer Vergrößerung wird für die grobe Waferregistrierung und -navigation verwendet. Eine weitere Kamera mit hoher Vergrößerung wird zur Ausrichtung und Druckbeobachtung verwendet.

Nach der Herstellung des Gerätes und der Installation vor Ort wird das Gerät qualifiziert. Das im Folgenden angegebene Material wird für die Qualifikation verwendet:

— Chiplet (coupon) Material: Siliziumnitrid,

— Chiplet (coupon) Dimensionen: 40 Müm x 40 Müm x 1.2 Müm,

— Gesamtanzahl der transferierten Chiplets in 20 Zyklen: 11 200 Chiplets (coupons),

— das Material auf dem die Chiplets transferiert werden soll aus Silizium bestehen,

— die Ausbeute soll 98 % betragen,

— die Präzision soll +/- 1.5 micron (3 sigma) betragen.

Die Lieferung beinhaltet eine Mustererkennungssoftware für das Alignment. Die Software beinhaltet ein kostenloses Update für 1 Jahr.

Dauer: 1 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Im Technologiepark 25

15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Bescheinigung in Steuersachen.

Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Referenzen:

Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.

Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:

— Referenzgeber,

— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer,

— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung,

— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-11-11 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-09-12 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder)

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY35/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de

Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.

Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.

Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.

Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und – sofern im konkreten Verfahren einschlägig – für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.

Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY35

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2019/S 153-376462 (2019-08-07)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-07-23)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Zusätzlicher CPV-Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-07-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-07-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 144-382616
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 153-376462
ABl. S-Ausgabe: 144

Objekt
Umfang der Beschaffung
Bezeichnung des Loses: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung: Evaluierung eines Transferprozesses mit einem Micro-Transfer-Printer.
Bezeichnung des Loses: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers
Losnummer: 2
Kurze Beschreibung: Lieferung eines Micro-Transfer-Printers.

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 2019/S 153-376462
Kontakt
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Quelle: OJS 2021/S 144-382616 (2021-07-23)

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