Plasma Etch Equipment

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

This specification describes the requirements for a process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the processing of CMOS wafers in a cleanroom class 1000 (approximately class 6 EN ISO 14644-1) production environment.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-02-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-01-08.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2019-01-08 Auftragsbekanntmachung
2019-07-25 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2019-01-08)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Plasma Etch Equipment E_048_254941 ChrPat-KauAnj FMD
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“This specification describes the requirements for a process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 01099 Dresden.
Beschreibung der Beschaffung:
“This specification describes the requirements for a process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 10
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Maximale Anzahl: 5
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“See Point 5 “optionally quoted tool features” from the document “specification”.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“The documents listed below must be presented in full with the offer. Incomplete documents may lead to the exclusion of the proceedings.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Company profile and the actual amount of employees. (2) Designation of the company revenue for the last 3 business years. (3) Self-declaration regarding...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“(1) Complete references (including contact persons with contact data) from comparable projects, which were realized in the last 3 years.”
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-02-08 23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Request of documents — available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2019/S 008-013676 (2019-01-08)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-07-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“This specification describes the requirements for a process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“This specification describes the requirements for a process tool to be used for wafer fabrication at the Fraunhofer IPMS. The systems will be used for the...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Process parameters
Qualitätskriterium (Gewichtung): 25
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical realization and additional options
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Preis (Gewichtung): 35
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“See point 5 ‘optionally quoted tool features’ from the document ‘specification’.”

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 008-013676

Auftragsvergabe

1️⃣
Titel: Plasma Etch Equipment
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-05-22 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Tokyo Electron Europe
Postort: West Sussex
Land: Vereinigtes Königreich 🇬🇧
Region: West Sussex (South West) 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“— request of documents - available at: The award documents can be retrieved exclusively through the award portal of the German e-Vergabe at...”    Mehr anzeigen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2019/S 144-354474 (2019-07-25)