Rahmenvertrag für div. Technologieleistungen | Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe | Öffentliches Auftragswesen in Deutschland

Datum	Dokument
2019-04-18	Auftragsbekanntmachung
2019-06-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Kurze Beschreibung

Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano Systeme (Fraunhofer ENAS) benötigt Prozess-Dienstleistungen eines externen Anbieters zur Durchführung und Ergänzung technologischer Prozessketten für MEMS-Entwicklungen. Die Aufgabenstellung reicht dabei von der Herstellung einzelner Muster bis zur Realisierung von Fertigungsaufträgen mit mehreren Waferbatches auf 150 mm- bzw. 200 mm-Wafergröße. Der Dienstleister muss in der Lage sein, die am Fraunhofer ENAS entwickelten spezifischen Prozesse in den MEMS/NEMS-Technologie abfolgen durchführen und ggf. modifizieren zu können, wobei auch nicht-CMOS-spezifische Sondermaterialien zum Einsatz kommen.

Beschreibung der Beschaffung

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Die nachführend aufgeführten Unterlagen müssen mit dem Angebot vollständig vorgelegt werden. Unvollständige Unterlagen können zum Ausschluss vom Verfahren führen.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

(1) Firmenprofil mit Angabe der Anzahl der Mitarbeiter;
(2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Jahre;
(3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen (siehe Anlage);
(4) Auszug aus dem Gewerbezentralregister gemäß § 150a GewO (wird durch den Auftraggeber angefordert).

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

(1) Komplette Referenzen (Kontaktdaten) von vergleichbaren Systemen, nicht älter als 3 Jahre;
(2) Vorhandene Geräteausstattung für Technologiekomplexe (Liste entsprechend auszuführender Prozesse);
(3) Referenzen (zu Demonstratoren);
(4) Veröffentlichungen zu Technologie komplex 1-8;
(5) Abgeschlossene Geheimhaltungsvereinbarung;
(6) Möglichkeit der Prozessierung von Sondermaterialien (z. B. Au, AlN, Pt, Pd);
(7) Nachweis der Möglichkeit der Durchführung von Lithografieprozessen in Reinraum-Klasse 10 (ISO4);
(8) Abdeckung des gesamten Prozess-Spektrums für alle 8 Technologie komplexe.

Bedingungen für die Vertragserfüllung

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter III.1.) aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen, deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
– Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
– Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf 10 Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Kurze Beschreibung

Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano Systeme (Fraunhofer ENAS) benötigt Prozess-Dienstleistungen eines externen Anbieters zur Durchführung und Ergänzung technologischer Prozessketten für MEMS-Entwicklungen. Die Aufgabenstellung reicht dabei von der Herstellung einzelner Muster bis zur Realisierung von Fertigungsaufträgen mit mehreren Waferbatches auf 150 mm- bzw. 200 mm-Wafergröße. Der Dienstleister muss in der Lage sein, die am Fraunhofer ENAS entwickelten spezifischen Prozesse in den MEMS/NEMS-Technologieabfolgen durchführen und ggf. modifizieren zu können, wobei auch nicht-CMOS-spezifische Sondermaterialien zum Einsatz kommen.

Beschreibung der Beschaffung

Das Fraunhofer-Institut für Elektronische Nano Systeme (Fraunhofer ENAS) benötigt Prozess-Dienstleistungen eines externen Anbieters zur Durchführung und Ergänzung technologischer Prozessketten für MEMS-Entwicklungen. Die Aufgabenstellung reicht dabei von der Herstellung einzelner Muster bis zur Realisierung von Fertigungsaufträgen mit mehreren Waferbatches auf 150 mm- bzw. 200 mm-Wafergröße. Der Dienstleister muss in der Lage sein, die am Fraunhofer ENAS entwickelten spezifischen Prozesse in den MEMS/NEMS-Technologieabfolgen durchführen und ggf. modifizieren zu können, wobei auch nicht-CMOS-spezifische Sondermaterialien zum Einsatz kommen.

— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden,
— Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB),
— Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).