Single-wafer handling platform to support RTP (Rapid thermal Proccessing) and Low-temperature plasma oxidation

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Single-wafer handling platform to support RTP (Rapid thermal Proccessing) and Low-temperature plasma oxidation.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-01-27. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-12-20.

Wer?

• IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Brandenburg › Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-12-20	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2019-12-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2019-117
Kurze Beschreibung:

Single-wafer handling platform to support RTP (Rapid thermal Proccessing) and Low-temperature plasma oxidation.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYUT/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYUT 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-12-20 📅
Einreichungsfrist: 2020-01-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-12-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 248-612760
ABl. S-Ausgabe: 248
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYUT

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

General requirements:

— 200 mm wafer platform for RTP and plasma oxidation,

— Capable for at least two different process modules,

— Fully automated wafer load and unload with at least two loading ports (from/to 25 slot carrier – placed by an operator; preferred four loading ports),

— Tool installation in a cleanroom ISO 3 (class 3),

— Electrical connection requirements IHP: 230/400VAC 50 Hz TN-S Net (separated N/PE),

— Has to fulfill the actual „machinery, and amending Directive“ (EG-Maschinenrichtlinie),

— SEMI S2/S8 certified,

— Directive 2014/30/EU EMV must be fulfilled,

— Full CE-Confirmation,

— Wafer with notch,

— SECS II/GEM/HSMS interface,

— Wafer carrier type Entegris KA198-80M-47C02,

— Cluster Tool Control unit with appropriate software,

— Guaranteed service for more than 10 years,

— Delivery of the complete set of construction data (f. e. CAD files) and tool software for internal use (f. e. source code, SPS files, user interface),

— No refurbished system (chambers, parts),

— Additional 12 month warranty.

Software:

— Microsoft Windows 10,

— Unexpected software problems related to the standard operation have to be solved free of charge,

— All software changing regarding safety is free of charge,

— RAID-data storage.

Additional requirements:

— All manuals as hard copies on normal paper, cleanroom paper and on CD,

— Preventive maintenance schedule (parts, hours),

— User interface labels translated into german language,

— Safety and Operation manuals must be in German,

— Connection ability of the tool PC and the handling on the IHP uninterrupted power supply unit,

— Remote tool access for monitoring and for searching and viewing process logs and data trending,

— Second tool control unit in the maintenance area,

— Preferable ergonomic Human machine interface,

— Operator and maintenance training at customer's site,

— Pre installation box for all media (vacuum, water, cooling air, exhaust, Ethernet, gases, ect.),

— Delivery of an extended spare part kit free of charge,

— Source inspection,

— Support for process matching to existing RTP tool,

— Tool delivery according to INCOTERM 2010 DDP, DAP or CIP IHP.

Optional requirements:

— Support for development of new processes i.e. plasma oxidation of different materials (300 h on side process support).

Dauer: 1 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Im Technologiepark 25

15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Bescheinigung in Steuersachen

Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Referenzen:

Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.

Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:

— Referenzgeber:

— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer:

— Zeitraum Beginn/ Ende der Ausführung:

— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs:

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-03-27 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-01-27 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder)

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYYUT/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg

http://vergabemarktplatz.brandenburg.de

Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.

Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.

Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.

Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und - sofern im konkreten Verfahren einschlägig - für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.

Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYYUT

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH - Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2019/S 248-612760 (2019-12-20)

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