Trockenätzkammer

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Die zu erwerbende Trockenätzkammer soll an ein bereits vorhandenes Centura Mainframe der Firma Applied Materials installiert werden. Mit der Erweiterung des vorhandenen Mainframes um eine weitere Kammer soll u. a. die Möglichkeit geschaffen werden, Prozesse im FEOL-Bereich redundant gestalten zu können. Deswegen muss ein bereits vorhandener Oxidätzkammertyp (Super e chamber von AMAT) installiert werden.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-09-05. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-07-31.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Applied Materials – Singapore

Wer?

• IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)

Wo?

• Brandenburg › Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-07-31	Auftragsbekanntmachung
2020-05-12	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-07-31)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: IHP-2019-068
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Frankfurt (Oder), Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postleitzahl: 15236
Postort: Frankfurt (Oder)
Kontakt
Internetadresse: https://www.ihp-microelectronics.com/en/start.html 🌏
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Telefon: +49 335-5625-359 📞
Fax: +49 335-5625-25359 📠
URL der Dokumente: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY30/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY30 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-07-31 📅
Einreichungsfrist: 2019-09-05 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-08-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 149-366451
ABl. S-Ausgabe: 149
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen. Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden. Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben. Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und -sofern im konkreten Verfahren einschlägig – für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist. Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden. Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY30

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1) planar plate reactor vom Typ Super e (AMAT) mit Magnetfeld für 200 mm Wafer mit notch

Arbeitsbereich Druck 30 bis 400 m Torr

Einsatzgebiet: trockenchemisches Ätzen von Nitrid- und Oxischichten im front end Bereich;

2) Elektrostatic chuck: ceramic ESC

Anregung über Katode mit 13.56 MHz;

3) RF Generator Fa. ENI mit max. Leistung von 2800 W;

4) process kit;

5) swap kit;

6)Turbopumpe Fa. Edwards für Druckbereich 30 bis 400 m Torr bei einem Gasfluss von 100 sccm;

7) consumable spare part kit;

8) Endpunktsystem: Einbindung in ein bereits vorhandenes OES-System mit CO und CN Filter;

9) Gaslinien: Ar (200); CHF3 (100); CF4 (100); O2 (50); CO (200); CH3F (20); C4F8 (20); CH2F2 (50); Cl2 (50); SF6 (50) von Firma HORIBA STEC;

10) Prozessspezifikation:

Oxidätzrate = 400-500 nm/min; Uniformität < 6 %

Nitridätzrate = 180-220 nm/min; Uniformität < 6 %

Oxid/Nitrid-Selektivität = > 10

Nitrid/Oxid-Selektivität = > 8

11) Prozessnachweis: Überführung eines vom IHP bestimmten Ätzrezeptes von der vorhandenen auf die neue Kammer;

12) Manuals für Hardware und BKM;

13) Zusätzlich 1 Jahr Garantie;

14) Installation:

a) Installation, Einbindung in bestehendes mainframe und Inbetriebnahme der Kammer;

b) Einweisung vor Ort.

Dauer: 1 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik

Im Technologiepark 25

15236 Frankfurt (Oder)

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

— Bescheinigung in Steuersachen

Der AG behält sich vor Auftragsvergabe vor, eine Anfrage bei dem zuständigen Anti-Korruptionsregister sowie beim Gewerbezentralregisteramt durchzuführen.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Referenzen:

Es werden vergleichbare auftragsbezogene Firmenreferenzen in Bezug zur ausgeschriebenen Leistung erwartet. Vergleichbar heißt Referenzen in Zusammenarbeit mit dem Auftrag.

Die Referenzen sind als Art Referenzbescheinigung durch den Bieter mit den folgenden Angaben mit der Angebotsabgabe einzureichen:

— Referenzgeber,

— Ansprechpartner des Referenzgebers inklusive Telefonnummer,

— Zeitraum Beginn/Ende der Ausführung,

— Kurzbeschreibung des Auftragsumfangs.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-11-04 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-09-05 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00
Ort des Eröffnungstermins: Frankfurt (Oder)

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschung und Entwicklung
Kontakt
Kontaktperson: Beschaffung
Dokumente URL: https://vergabemarktplatz.brandenburg.de/VMPSatellite/notice/CXSTYYDYY30/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Die Vergabeunterlagen finden Sie auf dem Vergabemarktplatz Brandenburg http://vergabemarktplatz.brandenburg.de

Sie können sich gern freiwillig auf der Vergabeplattform Vergabemarktplatz Brandenburg registrieren und die Vergabeunterlagen dort herunterladen.

Dies bietet Ihnen den Vorteil, dass Sie automatisch über Änderungen in den Vergabeunterlagen oder über Antworten auf Fragen zum Vergabeverfahren informiert werden.

Registrieren Sie sich nicht, besteht eine entsprechende Holschuld, das heißt, Sie müssen sich selbstständig informieren, ob die Vergabeunterlagen zwischenzeitlich geändert wurden und ob wir Bieterfragen zum Vergabeverfahren beantwortet haben.

Wir weisen darauf hin, dass für das Stellen einer Frage zum Verfahren und für das Abgeben eines Angebotes und -sofern im konkreten Verfahren einschlägig – für das Einreichen eines Teilnahmeantrages oder für das Abgeben einer Interessenbestätigung ohnehin eine Registrierung unumgänglich ist.

Die Teilnahmeunterlagen und Angebotsunterlagen müssen scannbar eingereicht werden und sollten nicht gebunden oder geklammert werden.

Bekanntmachungs-ID: CXSTYYDYY30

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Landes Brandenburg beim Ministerium für Wirtschaft und Europaangelegenheiten
Postanschrift: Heinrich-Mann-Allee 107
Postort: Potsdam
Postleitzahl: 14473
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 331 / 866-1719 📞
Fax: +49 331 / 866-1652 📠
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik
Postanschrift: Im Technologiepark 25
Postort: Frankfurt (Oder)
Postleitzahl: 15236
Telefon: +49 335-5625-359 📞
E-Mail: rohner@ihp-microelectronics.com 📧
Fax: +49 335-5625-25359 📠
Quelle: OJS 2019/S 149-366451 (2019-07-31)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-05-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 950 000 USD 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: IHP GmbH
Kontakt
Internetadresse: http://www.ihp-microelectronics.com 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-05-12 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-05-15 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 095-226692
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 149-366451
ABl. S-Ausgabe: 95

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

1. planar plate reactor vom Typ Super e (AMAT) mit Magnetfeld für 200 mm Wafer mit notch Arbeitsbereich Druck 30 bis 400 m Torr Einsatzgebiet: trockenchemisches Ätzen von Nitrid- und Oxischichten im front end Bereich,

2) Elektrostatic chuck: ceramic ESC Anregung über Katode mit 13.56 MHz,

3. RF Generator Fa. ENI mit max. Leistung von 2800 W,

4. process kit,

5. swap kit,

6.Turbopumpe Fa. Edwards für Druckbereich 30 bis 400 m Torr bei einem Gasfluss von 100 sccm,

7. consumable spare part kit,

8. Endpunktsystem: Einbindung in ein bereits vorhandenes OES-System mit CO und CN Filter,

9. Gaslinien: Ar (200); CHF3 (100); CF4 (100); O2 (50); CO (200); CH3F (20); C4F8 (20); CH2F2 (50); Cl2 (50); SF6 (50) von Firma HORIBA STEC,

10. Prozessspezifikation:

11. Prozessnachweis: Überführung eines vom IHP bestimmten Ätzrezeptes von der vorhandenen auf die neue Kammer,

12. Manuals für Hardware und BKM,

13. Zusätzlich 1 Jahr Garantie,

14. Installation:

a) Installation, Einbindung in bestehendes mainframe und Inbetriebnahme der Kammer,

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-11-17 📅
Name: Applied Materials – Singapore
Postort: Singapore
Land: Singapur 🇸🇬
00 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 700 000 USD 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: 2019/S 149-366451
Kontakt
Kontaktperson: S. Rohner
Internetadresse: www.ihp-microelectronics.com 🌏
Quelle: OJS 2020/S 095-226692 (2020-05-12)

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