UHV Electron Beam Deposition System

Kurze Beschreibung

UHV Dünnschicht-Depositionssystem für die Herstellung supraleitender Quantenschaltkreise mit Hilfe von Elektronenstrahlverdampfung und Sputter-Deposition. Das System muss UHV-Bedingungen zur Verfügung stellen und eine Ladeschleuse mit der Möglichkeit für die Reinigung von Substratoberflächen besitzen. Die Depositionskammer muss einen dreh- und kippbaren Substrathalter für 4-Zoll Substrate besitzen, um eine Schrägbedampfung unter verschiedenen Winkeln zu ermöglichen (Näheres siehe Leistungsbeschreibung).

Beschreibung der Beschaffung

Es wird ein UHV Dünnschicht-Depositionssystem beschafft, mit dem supraleitende Quantenschaltkreise aus Al mit Hilfe von Elektronenstrahlverdampfung auf 4-Zoll Substraten hergestellt werden können. Das System soll aus einer Ladeschleuse, einer Sputterkammer sowie einer Kammer für die Elektronenstrahlverdampfung und Oxidation von Al bestehen. Es muss einen dreh-, kipp- und heizbaren (<750C) Substrathalter für 4-Zoll Substrate besitzen, der eine Schrägbedampfung unter unterschiedlichen Winkeln zulässt. Das System muss eine automatisierten Transfer der Substrate zwischen den Kammern sowie automatisierte Depositions- und Oxidationsprozesse ermöglichen. Die gewünschten technischen Spezifikationen sind in der Leistungsbeschreibung aufgelistet.
Ausschlusskriterien hinsichtlich der technischen Spezifikationen sind hierbei:
— die maximale Stellfläche des Gesamtsystems muss kleiner als 400 cm x 300 cm, die maximale Höhe kleiner als 330 cm sein, das System muss durch eine 200 cm hohe und 120 cm breite Tür eingebracht werden können,
— der erreichbare Basisdruck in der Depositions- und Sputterkammer muss kleiner als 5x10^-9 mbar (gewünscht wird ein Basisdruck kleiner als1x10^-9 mbar) sein,
— das Depositionssystem muss für Substratgrößen von bis zu 4 Zoll geeignet sein und homogene Beschichtungs- und Reinigungsprozesse für diese Substratgröße ermöglichen (Schichtdickenvariation: <5 %),
— das Depositionssystem muss automatisierte Depositionsprozesse und einen automatisierten Oxidationsprozess im Druckbereich zwischen 0,001 und 1000 mbar in der Oxidationskammer ermöglichen,
— die Lieferzeit muss kleiner gleich 10 Monate sein.

Beschreibung der Optionen

(a) LN_2 Kühlung für den Substrathalter in der Depositionskammer (ohne Substratrotation);
(b) Ozonquelle für die Ladeschleuse für die Substratreinigung;
(c) Plasmaquelle für atomaren Sauerstoff;
(d) Ozon-Quelle für die Depositions/Oxidationskammer für eine Ozon-unterstützte Oxidation;
(e) Restgasanalysator;
(f) Heizsystem für das schnelle Aufheizen von Substraten in der Ladeschleuse;
(g) Ermöglichung eines Substrat-Bias in der Sputterkammer.
Eine weitergehende Erläuterung der gewünschten technischen Spezifikationen enthält Abschnitt 3 der Leistungsbeschreibung.

Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen

Folgende Eigenerklärungen und Dokumente sind mit dem Angebot einzureichen:
— Eigenerklärung (gemäß § 123 Abs. 1-3 GWB), dass keine Person, deren Verhalten dem Unternehmen des Bieters zuzurechnen ist, rechtskräftig verurteilt oder gegen das Unternehmen eine Geldbuße nach § 30 des Gesetzes über Ordnungswidrigk. rechtskräftig festgesetzt worden ist, jeweils wegen einer Straftat nach:
— § 129 des Strafgesetzbuchs (Bildung krimineller Vereinigungen), § 129a des Strafgesetz-buchs (Bildung terroristischer Vereinigungen) oder § 129b des Strafgesetzbuchs (Kriminelle und terroristische Vereinigungen im Ausland),
— § 89c des Strafgesetzbuchs (Terrorismusfinanzierung) oder wegen d. Teilnahme an einer solchen Tat oder wegen d. Bereitstellung o. Sammlung fin. Mittel in Kenntnis dessen, dass diese finanziellen Mittel ganz oder teilweise dazu verwendet werden oder verwendet werden sollen, eine Tat nach § 89a Absatz 2 Nummer 2 des Strafgesetzbuchs zu begehen,
— § 261 des Strafgesetzbuchs (Geldwäsche; Verschleierung unrechtmäßig erlangter Vermögenswerte),
— § 263 des Strafgesetzbuchs (Betrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden,
— § 264 des Strafgesetzbuchs (Subventionsbetrug), soweit sich die Straftat gegen den Haushalt der EU oder gegen Haushalte richtet, die von der EU oder in ihrem Auftrag verwaltet werden,
— § 299 des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung im geschäftlichen Verkehr),
— § 108e des Strafgesetzbuchs (Bestechlichkeit und Bestechung von Mandatsträgern),
— den §§ 333 und 334 des Strafgesetzbuchs (Vorteilsgewährung und Bestechung), jeweils a. in Verbindung mit § 335a des Strafgesetzbuchs (Ausländische und internationale Bedienstete),
— Artikel 2 § 2 des Gesetzes zur Bekämpfung internat. Bestechung (Bestechung ausl. Abgeordneter im Zusammenhang mit internat. Geschäftsverkehr) oder
— den §§ 232 und 233 des Strafgesetzbuchs (Menschenhandel) oder § 233a des Strafgesetzbuchs (Förderung des Menschenhandels),
— Eigenerkl., dass der Bieter seiner Verpflichtung zur Zahlung von Steuern, Abgaben sowie der Beiträge zur Sozialversicherung nachgekommen ist (§ 123 Abs. 4 GWB),
— Eigenerkl. (gemäß § 124 Abs. 1 Nrn. 1-4, 7 GWB), dass,
— weder das Unt. des Bieters noch eine Person, deren Verhalten dem Unternehmen zuzurechnen ist, bei der Ausführung öff. Aufträge gegen geltende umwelt-, sozial- oder arbeitsrechtliche Verpfl. verst. hat,
— das Unternehmen des Bieters nicht zahlungsunfähig ist/sind, über das Vermögen des Unternehmen kein Insolvenzverf. oder ein vergleichbares Verf. beantragt oder eröffnet worden ist, die Eröffnung eines solchen Verfahrens mangels Masse nicht abge-lehnt worden ist, und sich das Unternehmen nicht im Verfahren der Liquidation befindet oder seine Tätigkeit eingestellt hat,
— weder das Unternehmen noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, im Rahmen der berufl. Tätigkeit eine schwere Verfehlung begangen hat, durch die die Integrität d. Unternehmens infrage gestellt wird,
— weder das Unt. noch eine Person, deren Verhalten dem Unt. zuzurechnen ist, Vereinb. mit anderen Unternehmen getroffen hat, die eine Verhinderung, Einschränkung oder Verfälschung des Wettbewerbs bezwecken oder bewirken,
— das Unternehmen nicht eine wesentliche Anforderung bei der Ausf. eines früheren öff. Auftrags o. Konzessionsvertrags erheblich oder fortd. mangelh. erfüllt hat und dies zu einer vorzeitigen Beendigung, zu Schadensersatz oder zu einer vergleichb. Rechtsf. geführt hat,
— Eigenerklärung zum Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 21 Abs. 1 Nrn. 1-4 SchwarzArbG,
— Eigenerkl. ü. Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft oder einer Berufsgen. oder einer vergleichbaren Unfallvers. d. Herkunftsl. d. Bieters,
— Eigenerkl. ü. d. Eintr. i. d. Berufs- o. Handelsregister. o. e. vergl. Reg. d. Herkunftsst. d. Bieters.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen:
Eigenerklärung zum Gesamtumsatz des Unternehmens in Euro netto jeweils in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, unter Einschluss des Anteils bei gemeinsam mit anderen Unternehmen ausgeführten Leistungen.

Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien

Folgende Eigenerklärung ist mit dem Angebot einzureichen:
Eigenerklärungen über mindestens 3 vergleichbare [Kryogenfreie Mischkühler] Referenzen des Bieters aus den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, jeweils mit Angabe der Leistung, des Leistungszeitraums, des Auftragswerts und des Auftraggebers (mit Ansprechpartner und Telefonnr.).

Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren

Gemäß § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB ist ein Nachprüfungsantrag unzulässig, soweit:
— der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,
— Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
— Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
— mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht ab-helfen zu wollen, vergangen sind.
§ 160 Abs. 3 Satz 1 GWB gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.
Gemäß § 135 Abs. 2 Satz 1 GWB kann die Unwirksamkeit nach § 135 Abs. 1 GWB nur festgestellt werden, wenn sie im Nachprüfungsverfahren innerhalb von 30 Kalendertagen nach der Information der betroffenen Bieter und Bewerber durch den öffentlichen Auftraggeber über den Abschluss des Vertrags, jedoch nicht später als 6 Monate nach Vertragsschluss geltend gemacht worden ist. Hat der Auftraggeber die Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union bekannt gemacht, endet die Frist zur Geltendmachung der Unwirksamkeit 30 Kalendertage nach Veröffentlichung der Bekanntmachung der Auftragsvergabe im Amtsblatt der Europäischen Union.