Vergabe über Lieferung, Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme und Training einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage

Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf e. V.

Vergabe über Lieferung, Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme und Training einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-12-09. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-11-07.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• scia systems GmbH

Wer?

• Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf e. V.

Wie?

• Steuerungs- und Fernsteuerungsgeräte für Industrieprozesse › Industrieprozesssteuerungsgeräte

Wo?

• Sachsen › Dresden

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-11-07	Auftragsbekanntmachung
2019-12-20	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-11-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Industrieprozesssteuerungsgeräte
Referenznummer: EUOV1910
Kurze Beschreibung:

Vergabe über Lieferung, Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme und Training einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Industrieprozesssteuerungsgeräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf e. V.
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl: 01328
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.hzdr.de 🌏
E-Mail: vergabe@hzdr.de 📧
Fax: +49 3512603166 📠
URL der Dokumente: https://tender24.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-16e454867c5-15eae48293e5fb42 🌏
URL der Teilnahme: http://www.tender24.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-11-07 📅
Einreichungsfrist: 2019-12-09 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-11-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 217-532064
ABl. S-Ausgabe: 217
Zusätzliche Informationen
Entfällt

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Wir vergeben, für die Präparation von GMR-basierten Dünnschichtstapeln mit Einzelschichtdicken von jeweils 1 nm bei Verwendung von runden Substraten mit 300 mm Durchmesser, einen Auftrag über die Lieferung einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage inklusive Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme sowie Training. Die Anlage muß für eine möglichst hohe Einsatzzeit (≥16 Stunden/ Tag) konzipiert werden. Aufgrund des avisierten Einsatzgebietes sind die Schichtdickenhomogenität bis zum Substratrand und die Reproduzierbarkeit (Versuch zu Versuch) die entscheidenden Paramenter.

Zu der im Angebotspreis anzubietenden Leistung gehören:

— Werksabnahme (FAT), im Rahmen der Werkabnahme sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen:

—— Demonstration Basisdruck p= 8 x 10-8 mbar in Sputter- und p< 9 x 10-8 mbar Load-Lock-Kammer,

—— Stabiler Magnetronbetrieb für nichtmagnetische und ferromagnetische Targets bei pAr = 8 x 10-4 mbar und geringstmöglichen Sputterleistungen,

—— Demonstration eines vollautomatischen Prozessablaufes.

— Lieferung frei Verwendungsstelle,

— Installation und Inbetriebnahme,

— Abnahme am Aufstellort (SAT), im Rahmen der Abnahme am Aufstellort sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen:

—— Nachweis der Einhaltung von niedrigen Sputterraten von 3 nm/min bis 4 nm/min für nichtmagnetische und ferromagnetische Targetmaterialien,

—— Nachweis der Einhaltung einer Schichtdickenhomogenität ≤ 1 % über ein Substrat mit 300 mm Durchmesser bei sequentieller Abscheidung eines nichtmagnetischen und eines ferromagnetischen Schichtstapels mit jeweils 100 Einzellagen von 1nm Dicke sowie Nachweis der Einsatzfähigkeit der Anlage von ≥ 16 Std./Tag.

— Training für 3 Personen:

—— 3 Tage Vor-Ort-Training (3 x 8 Std.) von 2-3 Personen mit Schwerpunkt „Einweisung in und Erstellung von Prozesssoftware“,

— 12 Monate Gewährleistung für alle Komponenten ab Abnahme am Aufstellort (SAT),

— Vollständige Bedienungsanleitung in Deutsch.

Dauer: 12 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz-Zentrum Dresden - Rossendorf e.V.

Bautzner Landstraße 400

01328 Dresden

DEUTSCHLAND

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Eigenerklärung über den Eintrag in einem Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriftendes Staats, in dem der Bieter niedergelassen ist.

Eigenerklärung zu den in §§ 123, 124 GWB genannten Ausschlussgründen.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Mindestens 3 Referenzen für hochvakuum- und ultrahochvakuumbasierte Sputteranlagen mit Schwerpunkt „Magnetronsputtern“ für Forschungs- und Industrieeinsatz mit Substratgrößen von mindestens 150 mm Durchmesser anzugeben.

Davon müssen mindestens 2 Referenzen eine „Großflächenmagnetronsputteranlage“ für die Abscheidung von Magnetschicht-basierten (GMR, TMR) oder optischen/ röntgenoptischen Schichtstapeln mit Einzelschichtdicken um 1- 2 nm auf Substratgrößen von mind. 200 mm Durchmesser sowie erreichten Schichtdickenhomogenitäten von ≤ 2 % (bezogen auf 200 mm Durchmesser) der Stapel sein.

Die angegebenen Referenzen dürfen nicht älter als 5 Jahre und die Projekte müssen abgeschlossen sein (Bemessungsgrundlage ist die Angebotsfrist dieses Verfahrens).

Neben den Referenzen kann eine Testbeschichtung zur Überprüfung der Eigenschaften und der Homogenität an den vom Auftraggeber geplanten Materialien (wahlweise Cu, Co oder NiFe) mit Substraten ≥ 150 mm von der Vergabestelle angefordert werden. Dafür wird die Vergabestelle eine Materialprobe an den Bieter senden. Die Testbeschichtung kann beim Bieter selbst oder bei einer seiner Referenzen durchgeführt werden. Der Vergabestelle sollen für die Testbeschichtung keine Kosten entstehen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-01-31 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-12-09 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:05
Zusätzliche Informationen: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Großforschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
Internetadresse: www.hzdr.de 🌏
Dokumente URL: https://tender24.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-16e454867c5-15eae48293e5fb42 🌏
URL der Teilnahme: www.tender24.de 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes
Postanschrift: Villemomblerstr. 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 2289499-0 📞
Fax: +49 2289499-163 📠
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Rechtsbehelfe gemäß § 160 GWB:

1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein;

2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder derKonzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 GWB durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen, dass dem Unternehmen durch die behaupteteVerletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht;

3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:

(1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 GWB bleibt unberührt;

(2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabegegenüber dem Auftraggeber gerügt werden;

(3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden;

(4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zuwollen, vergangen sind.

Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

VI.4.4)

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Quelle: OJS 2019/S 217-532064 (2019-11-07)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-12-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Helmholtz-Zentrum Dresden – Rossendorf e. V.

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-12-20 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-12-23 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 247-609249
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 217-532064
ABl. S-Ausgabe: 247

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Wir vergeben, für die Präparation von GMR-basierten Dünnschichtstapeln mit Einzelschichtdicken von jeweils 1 nm bei Verwendung von runden Substraten mit 300 mm Durchmesser, einen Auftrag über die Lieferung einer vollautomatisierten Großflächen-Magnetronsputteranlage inklusive Werkabnahme, Installation, Inbetriebnahme, vor-Ort-Abnahme sowie Training. Die Anlage muss für eine möglichst hohe Einsatzzeit (≥16 Stunden/Tag) konzipiert werden. Aufgrund des avisierten Einsatzgebietes sind die Schichtdickenhomogenität bis zum Substratrand und die Reproduzierbarkeit (Versuch zu Versuch) die entscheidenden Paramenter. Zu der im Angebotspreis anzubietenden Leistung gehören:

– Werksabnahme (FAT), im Rahmen der Werkabnahme sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen:

–– Demonstration Basisdruck p= 8 x 10-8 mbar in Sputter- und p<9 x 10-8 mbar Load-Lock-Kammer,

–– stabiler Magnetron betrieb für nichtmagnetische und ferromagnetische Targets bei pAr = 8 x 10-4 mbar und geringstmöglichen Sputterleistungen,

–– Demonstration eines vollautomatischen Prozessablaufes.

– Lieferung frei Verwendungsstelle,

– Installation und Inbetriebnahme,

– Abnahme am Aufstellort (SAT), im Rahmen der Abnahme am Aufstellort sind insbesondere folgende Abnahmekriterien vom Auftragnehmer nachzuweisen:

–– Nachweis der Einhaltung von niedrigen Sputterraten von 3 nm/min bis 4 nm/min für nicht magnetische und ferromagnetische Targetmaterialien,

–– Nachweis der Einhaltung einer Schichtdickenhomogenität ≤ 1 % über ein Substrat mit 300 mm Durchmesser bei sequentieller Abscheidung eines nicht magnetischen und eines ferromagnetischen Schichtstapels mit jeweils 100 Einzellagen von 1 nm Dicke sowie Nachweis der Einsatzfähigkeit der Anlage von ≥ 16 Std./Tag.

– Training für 3 Personen – 3 Tage Vor-Ort-Training (3 x 8Std) von 2-3 Personen mit Schwerpunkt "Einweisung in und Erstellung von Prozesssoftware",

– 12 Monate Gewährleistung für alle Komponenten ab Abnahme am Aufstellort (SAT),

– vollständige Bedienungsanleitung in Deutsch.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Helmholtz-Zentrum Dresden – Rossendorf e. V.

Deutschland

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50,00
Preis (Gewichtung): 50,00

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-12-20 📅
Name: Scia Systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Straße 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3715347-780 📞
E-Mail: sales@scia-systems.com 📧
Land: Chemnitz 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 0.01 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2019/S 247-609249 (2019-12-20)

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