Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Vergabeverfahren zur Lieferung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage
Uni-HD.2019.703_ ICP-RIE-Plasmaätzanlage_KIP”
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung: Vergabeverfahren zur Lieferung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage.
1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Ort der Leistung: Heidelberg, Stadtkreis🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Im Neuenheimer Feld
69120 Heidelberg
Beschreibung der Beschaffung:
“Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und betriebsfertige Übergabe inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage...”
Beschreibung der Beschaffung
Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und betriebsfertige Übergabe inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage zur Realisierung von plasmaunterstützen Ätzungen metallischer und dielektrischer Dünnschichten mit Schichtdicken von wenigen Nanometern bis hin zu einigen Mikrometern sowie zur Realisierung von plasmaunterstützten Tiefätzungen von Silizium-Substraten mit Dicken von einigen 100μm. Als zu ätzende Materialien kommen metallische Supraleiter wie Niob und Aluminium, normalleitende Materialien wie Gold, Silber und Kupfer, metallische Legierungen wie Gold-Palladium, Gold-Erbium und Silber-Erbium, sowie dielektrische Schichten in Form von Siliziumoxiden oder Siliziumnitriden in Frage. Darüber sollen Tiefätzungen mit hoher Rate und Anisotropie durch ein hochreines Silizium-Substrat realisiert werden können. Grundsätzlich müssen sich genannten Ätzungen mit hoher lateraler und vertikaler Homogenität durchführen lassen.
Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 388 000 EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zoll und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zollgebühren sind Bestandteil des Grenzwerts.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferumfang „Umlaufkuehler“
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Energieeffizienz
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Preis (Gewichtung): 70
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 6
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Eintragung in einem Handelsregister:
Der Wirtschaftsteilnehmer ist in den einschlägigen Handelsregistern seines Niederlassungsmitgliedstaats verzeichnet.” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen
Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe, mindestens aber mit...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen
Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe, mindestens aber mit einer Deckungssumme von:
— 2 500 000 EUR für Personenschäden,
— 1 000 000 EUR für Sach- und Vermögensschäden pro Schadensfall abgeschlossen.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Nur bei öffentlichen Lieferaufträgen (Referenzen)
Ausführung von Lieferungen der genannten Art
Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind. 5...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Nur bei öffentlichen Lieferaufträgen (Referenzen)
Ausführung von Lieferungen der genannten Art
Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind. 5 folgenden wesentlichen Lieferungen der genannten Art ausgeführt.
Als Wesentliche Lieferung gilt folgendes:
Da dieser Betriebsmodus eine zuverlässige Substratelektrode erfordert, muss der Anbieter mindestens 5 Referenzen für modell- oder baugleiche Anlagen angeben, bei dem eine solche Elektrode zum Einsatz kommt.
Anzugebender Zeitraum: 2016-2018).
Gestatten von Kontrollen:
Wenn die zu liefernden Waren oder die zu erbringenden Dienstleistungen komplexer Art sind oder – ausnahmsweise – wenn sie einem besonderen Zweck dienen sollen:
Der Wirtschaftsteilnehmer wird Kontrollen gestatten, die seine Produktionskapazität bzw. seine technische Leistungsfähigkeit und erforderlichenfalls seine Untersuchungs- und Forschungsmöglichkeiten sowie die von ihm für die Qualitätskontrolle getroffenen Vorkehrungen betreffen. Die Kontrollen werden vom öffentlichen Auftraggeber oder – mit dessen Einwilligung – in seinem Namen von einer zuständigen amtlichen Stelle des Landes, in dem der Lieferant oder Dienstleister ansässig ist, vorgenommen.
Als Unterauftrag vergebener Anteil:
Der Wirtschaftsteilnehmer beabsichtigt, unter Umständen folgenden Teil (Prozentsatz) des Auftrags als Unterauftrag zu vergeben:
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 388.000,- EUR...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 388.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zoll und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zollgebühren sind Bestandteil des Grenzwerts.
Leistungsumfang
Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen:
— Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle,
— Alle Anschlussarbeiten inkl. entsprechender Materialien,
— Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen,
— Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme nach vorgegebenen Bedingungen
— Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort,
— 1 x 3 Tage Maschinen-Training vor Ort; mind. 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2019-10-08
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2019-11-15 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2019-10-08
10:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort):
“Heidelberg
Es handelt sich hierbei um ein Vergabeverfahren nach VgV/GWB,
Es findet somit keine öffentliche Submission statt.”
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
“Bieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht)
Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch...”
Bieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht)
Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können, müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt „Fristen des Vergabeverfahrens“ angegebenen Frist über den Projektraum der Vergabeplattform DTVP in der Rubrik: Kommunikation eingereicht werden.
Für die komplette Kommunikation zwischen Bietern und der Vergabestelle wird auf den Bereich „Kommunikation“ im Projektraum der Plattform DTVP verwiesen; insbesondere werden an dieser Stelle Bieterfragen und deren Beantwortung durch die Vergabestelle veröffentlicht. Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen und Informationen der Vergabestelle erfolgen über die Plattform „DTVP“; siehe hierzu Abschnitt „Kommunikation“.
Die Bieter sind verpflichtet, sich regelmäßig bis zum Ende der Angebotsfrist selbst über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren (Holschuld des Bieters).
Die für dieses Vergabeverfahren freigeschalteten und somit registrierten Bieter werden automatisch über neue Informationen oder Änderungen durch die Vergabestelle informiert.
Die Verwendung „veralteter“ Vergabeunterlagen kann zum Ausschluss führen.
Bekanntmachungs-ID: CXP4YE2DY7N
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 721 / 926-8730📞
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de📧
Fax: +49 721 / 926-3985 📠
URL: https://rp.baden-wuerttemberg.de/rpk/Abt1/Ref15/Seiten/default.aspx🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfrist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB hingewiesen: „Der Antrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfrist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB hingewiesen: „Der Antrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.“
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2019/S 168-410396 (2019-08-29)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-10-16) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Nationale Registrierungsnummer: DE811225433
Postanschrift:
“Universität Heidelberg Universitätsverwaltung Abt. 4.1 - Zentrale Beschaffung - Seminarstrasse 2”
Telefon: +49 622154-12456📞
Fax: +49 622154-161-2220 📠
URL: http://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html🌏
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Uni-HD.2019.703_ ICP-RIE-Plasmaätzanlage_KIP
2019/S 168-410396
Kurze Beschreibung: Vergabeverfahren zur Lieferung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 💰
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften📦
Beschreibung der Beschaffung:
“Ausgeschrieben wurde die Lieferung, Installation und betriebsfertige Übergabe inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage...”
Beschreibung der Beschaffung
Ausgeschrieben wurde die Lieferung, Installation und betriebsfertige Übergabe inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage zur Realisierung von plasmaunterstützen Ätzungen metallischer und dielektrischer Dünnschichten mit Schichtdicken von wenigen Nanometern bis hin zu einigen Mikrometern sowie zur Realisierung von plasmaunterstützten Tiefätzungen von Silizium-Substraten mit Dicken von einigen 100μm. Als zu ätzende Materialien kommen metallische Supraleiter wie Niob und Aluminium, normalleitende Materialien wie Gold, Silber und Kupfer, metallische Legierungen wie Gold-Palladium, Gold-Erbium und Silber-Erbium, sowie dielektrische Schichten in Form von Siliziumoxiden oder Siliziumnitriden in Frage. Darüber sollen Tiefätzungen mit hoher Rate und Anisotropie durch ein hochreines Silizium-Substrat realisiert werden können. Grundsätzlich müssen sich genannten Ätzungen mit hoher lateraler und vertikaler Homogenität durchführen lassen.
Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 388 000 EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zoll und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zollgebühren sind Bestandteil des Grenzwerts.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferumfang Umlaufkühler (optional)
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2019/S 168-410396
Auftragsvergabe
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Vertragsnummer: 4500192412
Titel: Uni-HD.2019.703_ ICP-RIE-Plasmaätzanlage_KIP
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-10-15 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰
“Der genaue Auftragswert zu dem der Auftrag vergeben wurde, ist als Geschäftsgeheimnis des bezuschlagten Unternehmens einzustufen.
Daher wird der...”
Der genaue Auftragswert zu dem der Auftrag vergeben wurde, ist als Geschäftsgeheimnis des bezuschlagten Unternehmens einzustufen.
Daher wird der Angebotspreis nicht veröffentlicht.