Vergabeverfahren zur Lieferung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage

Universität Heidelberg

Vergabeverfahren zur Lieferung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2019-10-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2019-08-29.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Oxford Instruments GmbH

Wer?

• Universität Heidelberg

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Karlsruhe › Heidelberg, Stadtkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2019-08-29	Auftragsbekanntmachung
2019-10-16	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2019-08-29)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke
Referenznummer: Uni-HD.2019.703_ ICP-RIE-Plasmaätzanlage_KIP
Kurze Beschreibung: Vergabeverfahren zur Lieferung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Heidelberg, Stadtkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Universität Heidelberg
Postanschrift: Seminarstraße 2
Postleitzahl: 69117
Postort: Heidelberg
Kontakt
Internetadresse: https://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html 🌏
E-Mail: vergabe@zuv.uni-heidelberg.de 📧
Telefon: +49 6221-5412456 📞
Fax: +49 6221-541612220 📠
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YE2DY7N/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YE2DY7N 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-08-29 📅
Einreichungsfrist: 2019-10-08 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-09-02 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 168-410396
ABl. S-Ausgabe: 168
Zusätzliche Informationen

Bieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht) Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können, müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt „Fristen des Vergabeverfahrens“ angegebenen Frist über den Projektraum der Vergabeplattform DTVP in der Rubrik: Kommunikation eingereicht werden. Für die komplette Kommunikation zwischen Bietern und der Vergabestelle wird auf den Bereich „Kommunikation“ im Projektraum der Plattform DTVP verwiesen; insbesondere werden an dieser Stelle Bieterfragen und deren Beantwortung durch die Vergabestelle veröffentlicht. Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen und Informationen der Vergabestelle erfolgen über die Plattform „DTVP“; siehe hierzu Abschnitt „Kommunikation“. Die Bieter sind verpflichtet, sich regelmäßig bis zum Ende der Angebotsfrist selbst über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren (Holschuld des Bieters). Die für dieses Vergabeverfahren freigeschalteten und somit registrierten Bieter werden automatisch über neue Informationen oder Änderungen durch die Vergabestelle informiert. Die Verwendung „veralteter“ Vergabeunterlagen kann zum Ausschluss führen. Bekanntmachungs-ID: CXP4YE2DY7N

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Ausgeschrieben wird die Lieferung, Installation und betriebsfertige Übergabe inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage zur Realisierung von plasmaunterstützen Ätzungen metallischer und dielektrischer Dünnschichten mit Schichtdicken von wenigen Nanometern bis hin zu einigen Mikrometern sowie zur Realisierung von plasmaunterstützten Tiefätzungen von Silizium-Substraten mit Dicken von einigen 100μm. Als zu ätzende Materialien kommen metallische Supraleiter wie Niob und Aluminium, normalleitende Materialien wie Gold, Silber und Kupfer, metallische Legierungen wie Gold-Palladium, Gold-Erbium und Silber-Erbium, sowie dielektrische Schichten in Form von Siliziumoxiden oder Siliziumnitriden in Frage. Darüber sollen Tiefätzungen mit hoher Rate und Anisotropie durch ein hochreines Silizium-Substrat realisiert werden können. Grundsätzlich müssen sich genannten Ätzungen mit hoher lateraler und vertikaler Homogenität durchführen lassen.

Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 388 000 EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zoll und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zollgebühren sind Bestandteil des Grenzwerts.

Dauer: 6 Monate
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Im Neuenheimer Feld

69120 Heidelberg

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Eintragung in einem Handelsregister:

Der Wirtschaftsteilnehmer ist in den einschlägigen Handelsregistern seines Niederlassungsmitgliedstaats verzeichnet.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Andere wirtschaftliche und finanzielle Anforderungen

Der Wirtschaftsteilnehmer hat eine Haftpflichtversicherung in angemessener Höhe, mindestens aber mit einer Deckungssumme von:

— 2 500 000 EUR für Personenschäden,

— 1 000 000 EUR für Sach- und Vermögensschäden pro Schadensfall abgeschlossen.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Nur bei öffentlichen Lieferaufträgen (Referenzen)

Ausführung von Lieferungen der genannten Art

Im Bezugszeitraum hat der Wirtschaftsteilnehmer die mind. 5 folgenden wesentlichen Lieferungen der genannten Art ausgeführt.

Als Wesentliche Lieferung gilt folgendes:

Da dieser Betriebsmodus eine zuverlässige Substratelektrode erfordert, muss der Anbieter mindestens 5 Referenzen für modell- oder baugleiche Anlagen angeben, bei dem eine solche Elektrode zum Einsatz kommt.

Anzugebender Zeitraum: 2016-2018).

Gestatten von Kontrollen:

Wenn die zu liefernden Waren oder die zu erbringenden Dienstleistungen komplexer Art sind oder – ausnahmsweise – wenn sie einem besonderen Zweck dienen sollen:

Der Wirtschaftsteilnehmer wird Kontrollen gestatten, die seine Produktionskapazität bzw. seine technische Leistungsfähigkeit und erforderlichenfalls seine Untersuchungs- und Forschungsmöglichkeiten sowie die von ihm für die Qualitätskontrolle getroffenen Vorkehrungen betreffen. Die Kontrollen werden vom öffentlichen Auftraggeber oder – mit dessen Einwilligung – in seinem Namen von einer zuständigen amtlichen Stelle des Landes, in dem der Lieferant oder Dienstleister ansässig ist, vorgenommen.

Als Unterauftrag vergebener Anteil:

Der Wirtschaftsteilnehmer beabsichtigt, unter Umständen folgenden Teil (Prozentsatz) des Auftrags als Unterauftrag zu vergeben:

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Aufgrund der Vorgaben des Bewilligungsverfahrens für Großgeräte sind die maximal zur Verfügung stehenden Finanzmittel begrenzt und enden bei 388.000,- EUR (einschließlich Mehrwertsteuer oder vergleichbar, Zoll und etwaigen Skonti). Angebote, die diesen Grenzwert überschreiten, können nicht berücksichtigt werden. Kalkulatorisch anzugebende Mehrwertsteuer und Zollgebühren sind Bestandteil des Grenzwerts.

Leistungsumfang

Die angebotene Leistung umfasst folgende Positionen:

— Fristgerechte Lieferung und vollständige Aufstellung an der Verwendungsstelle,

— Alle Anschlussarbeiten inkl. entsprechender Materialien,

— Entsorgung von Verpackungen und überzähligen Bestandteilen,

— Funktionstest bzw. Demonstration sowie Einweisung und Inbetriebnahme nach vorgegebenen Bedingungen

— Abnahme des Gerätes beim Kunden vor Ort,

— 1 x 3 Tage Maschinen-Training vor Ort; mind. 2 Mitarbeiter der Universität Heidelberg.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2019-11-15 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2019-10-08 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Ort des Eröffnungstermins: Heidelberg
Es handelt sich hierbei um ein Vergabeverfahren nach VgV/GWB,
Es findet somit keine öffentliche Submission statt.
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferumfang „Umlaufkuehler“
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Energieeffizienz
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Preis (Gewichtung): 70

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Vergabestelle
Adresse des Käuferprofils: https://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YE2DY7N/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

Bieterfragen innerhalb der Angebotsfrist (Informationspflicht)

Damit sichergestellt ist, dass erbetene zusätzliche Informationen allen Interessenten noch rechtzeitig zur Verfügung gestellt werden können, müssen Bieterfragen spätestens innerhalb der oben unter Abschnitt „Fristen des Vergabeverfahrens“ angegebenen Frist über den Projektraum der Vergabeplattform DTVP in der Rubrik: Kommunikation eingereicht werden.

Für die komplette Kommunikation zwischen Bietern und der Vergabestelle wird auf den Bereich „Kommunikation“ im Projektraum der Plattform DTVP verwiesen; insbesondere werden an dieser Stelle Bieterfragen und deren Beantwortung durch die Vergabestelle veröffentlicht. Die Beantwortung der eingegangenen Bieterfragen und Informationen der Vergabestelle erfolgen über die Plattform „DTVP“; siehe hierzu Abschnitt „Kommunikation“.

Die Bieter sind verpflichtet, sich regelmäßig bis zum Ende der Angebotsfrist selbst über etwaige zusätzliche Informationen oder Änderungen zu informieren (Holschuld des Bieters).

Die für dieses Vergabeverfahren freigeschalteten und somit registrierten Bieter werden automatisch über neue Informationen oder Änderungen durch die Vergabestelle informiert.

Die Verwendung „veralteter“ Vergabeunterlagen kann zum Ausschluss führen.

Bekanntmachungs-ID: CXP4YE2DY7N

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 721 / 926-8730 📞
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de 📧
Fax: +49 721 / 926-3985 📠
Internetadresse: https://rp.baden-wuerttemberg.de/rpk/Abt1/Ref15/Seiten/default.aspx 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Es wird ausdrücklich auf die Ausschlussfrist nach § 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB hingewiesen: „Der Antrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.“

Quelle: OJS 2019/S 168-410396 (2019-08-29)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2019-10-16)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Referenznummer: 2019/S 168-410396
Kurze Beschreibung: Vergabeverfahren zur Lieferung einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Zusätzlicher CPV-Code: Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften 📦

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Postanschrift: Universität Heidelberg Universitätsverwaltung Abt. 4.1 - Zentrale Beschaffung - Seminarstrasse 2
Kontakt
Internetadresse: http://www.zuv.uni-heidelberg.de/finanzen/beschaffung/ausschreibung1.html 🌏
Telefon: +49 622154-12456 📞
Fax: +49 622154-161-2220 📠

Referenz
Daten
Absendedatum: 2019-10-16 📅
Veröffentlichungsdatum: 2019-10-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2019/S 202-491105
Verweist auf Bekanntmachung: 2019/S 168-410396
ABl. S-Ausgabe: 202
Zusätzliche Informationen

Der genaue Auftragswert zu dem der Auftrag vergeben wurde, ist als Geschäftsgeheimnis des bezuschlagten Unternehmens einzustufen. Daher wird der Angebotspreis nicht veröffentlicht.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Ausgeschrieben wurde die Lieferung, Installation und betriebsfertige Übergabe inklusive Funktionstest, Einweisung und Abnahme einer ICP-RIE-Plasmaätzanlage zur Realisierung von plasmaunterstützen Ätzungen metallischer und dielektrischer Dünnschichten mit Schichtdicken von wenigen Nanometern bis hin zu einigen Mikrometern sowie zur Realisierung von plasmaunterstützten Tiefätzungen von Silizium-Substraten mit Dicken von einigen 100μm. Als zu ätzende Materialien kommen metallische Supraleiter wie Niob und Aluminium, normalleitende Materialien wie Gold, Silber und Kupfer, metallische Legierungen wie Gold-Palladium, Gold-Erbium und Silber-Erbium, sowie dielektrische Schichten in Form von Siliziumoxiden oder Siliziumnitriden in Frage. Darüber sollen Tiefätzungen mit hoher Rate und Anisotropie durch ein hochreines Silizium-Substrat realisiert werden können. Grundsätzlich müssen sich genannten Ätzungen mit hoher lateraler und vertikaler Homogenität durchführen lassen.

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferumfang Umlaufkühler (optional)

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2019-10-15 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstraße 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Nationale Registrierungsnummer: DE811225433

Referenz
Zusätzliche Informationen

Der genaue Auftragswert zu dem der Auftrag vergeben wurde, ist als Geschäftsgeheimnis des bezuschlagten Unternehmens einzustufen.

Daher wird der Angebotspreis nicht veröffentlicht.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg
Postanschrift: Kapellenstraße 17
Postleitzahl: 76131
Telefon: +49 7219264049 📞
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de 📧
Fax: +49 7219263985 📠
Quelle: OJS 2019/S 202-491105 (2019-10-16)

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