System, das geeignet ist für:
— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;
— reaktives Ionenstrahl ätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen;
— Ionenstrahl deponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einen Targethalter;
— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-09-01.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-07-27.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: 115 — IBE-IBD-SIMS-System
10018289
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“System, das geeignet ist für:
— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;
— reaktives Ionenstrahl...”
Kurze Beschreibung
System, das geeignet ist für:
— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;
— reaktives Ionenstrahl ätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen;
— Ionenstrahl deponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einen Targethalter;
— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.
1️⃣
Ort der Leistung: Städteregion Aachen🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie
Otto-Blumenthal-Str. 4, Geb. 4230, EG, Raum 013
52074 Aachen”
Beschreibung der Beschaffung:
“System, das geeignet ist für:
— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;
— reaktives Ionenstrahl...”
Beschreibung der Beschaffung
System, das geeignet ist für:
— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;
— reaktives Ionenstrahl ätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen;
— Ionenstrahl deponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einenTargethalter;
— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems Beschreibung
Dauer: 280
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-09-01
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-12-10 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-09-01
12:00 📅
“Mehrere Bieter können sich zu einer Bietergemeinschaft zusammenschließen. In diesem Fall hat die Bietergemeinschaft mit Einreichung des Angebots:
(i)...”
Mehrere Bieter können sich zu einer Bietergemeinschaft zusammenschließen. In diesem Fall hat die Bietergemeinschaft mit Einreichung des Angebots:
(i) sämtliche Mitglieder der an der Bietergemeinschaft beteiligten Bieter namentlich mit Anschrift, Telefon-/Telefaxnummer sowie E-Mail-Adresse zu benennen,
(ii) einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrages zu bezeichnen und
(iii) eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen, in der die gesamtschuldnerische Haftung aller Mitglieder erklärt wird,
(iv) eine detaillierte Übersicht einreichen, die darstellt, welches Mitglied für die Erbringung welcher Leistungen/Dienstleistungen verantwortlich ist.
Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YD6L
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-10-26) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: 115 - IBE-IBD-SIMS-System
10018289
Kurze Beschreibung:
“System, das geeignet ist für
— Ionenstrahlätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas,
— reaktives...”
Kurze Beschreibung
System, das geeignet ist für
— Ionenstrahlätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas,
— reaktives Ionenstrahlätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen,
— Ionenstrahldeponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einenTargethalter,
— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 790 000 💰
Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie
Otto-Blumenthal-Str. 4,
Geb. 4230, EG,
Raum 013
52074 Aachen”
Beschreibung der Beschaffung:
“System, das geeignet ist für
— Ionenstrahlätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas,
— reaktives...”
Beschreibung der Beschaffung
System, das geeignet ist für
— Ionenstrahlätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas,
— reaktives Ionenstrahlätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen,
— Ionenstrahldeponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einenTargethalter,
— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 145-356449
Auftragsvergabe
1️⃣
Titel: Auftragsvergabe scia Systems GmbH
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-10-26 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: scia Systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Str. 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: k.guendel@scia-systems.com📧
Region: Chemnitz, Kreisfreie Stadt🏙️
URL: http://www.scia-systems.com/de.html🌏
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 790 000 💰