115 — IBE-IBD-SIMS-System

RWTH Aachen University

System, das geeignet ist für:
— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;
— reaktives Ionenstrahl ätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen;
— Ionenstrahl deponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einen Targethalter;
— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-09-01. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-07-27.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-07-27 Auftragsbekanntmachung
2020-10-26 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-07-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: 10018289
Kurze Beschreibung:
“System, das geeignet ist für: — Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas; — reaktives...”    Mehr anzeigen
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Städteregion Aachen 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: RWTH Aachen University
Postanschrift: Wüllnerstr. 5
Postleitzahl: 52062
Postort: Aachen
Kontakt
Internetadresse: http://www.rwth-aachen.de 🌏
E-Mail: beschaffung@zhv.rwth-aachen.de 📧
Telefon: +49 2418094200 📞
Fax: +49 2418092251 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YD6L/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YD6L 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-07-27 📅
Einreichungsfrist: 2020-09-01 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-07-29 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 145-356449
ABl. S-Ausgabe: 145
Zusätzliche Informationen

“Mehrere Bieter können sich zu einer Bietergemeinschaft zusammenschließen. In diesem Fall hat die Bietergemeinschaft mit Einreichung des Angebots: (i)...”    Mehr anzeigen

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“System, das geeignet ist für:”

“— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;”
Mehr anzeigen (5)
“— reaktives Ionenstrahl ätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen;”

“— Ionenstrahl deponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einen Targethalter;”

“— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).”

“Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.”

“— Ionenstrahl deponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einenTargethalter;”
Dauer: 280 Tage
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Zentrallabor für Mikro- und Nanotechnologie”

“Otto-Blumenthal-Str. 4, Geb. 4230, EG, Raum 013”
Mehr anzeigen (1)
“52074 Aachen”

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-12-10 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-09-01 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 12:00

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Abt. 7.3 Einkauf & Zollangelegenheiten
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YD6L/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

“Mehrere Bieter können sich zu einer Bietergemeinschaft zusammenschließen. In diesem Fall hat die Bietergemeinschaft mit Einreichung des Angebots:”

“(i) sämtliche Mitglieder der an der Bietergemeinschaft beteiligten Bieter namentlich mit Anschrift, Telefon-/Telefaxnummer sowie E-Mail-Adresse zu benennen,”
Mehr anzeigen (4)
“(ii) einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrages zu bezeichnen und”

“(iii) eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen, in der die gesamtschuldnerische Haftung...”    Mehr anzeigen

“(iv) eine detaillierte Übersicht einreichen, die darstellt, welches Mitglied für die Erbringung welcher Leistungen/Dienstleistungen verantwortlich ist.”

“Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YD6L”

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Rheinland
Postanschrift: Zeughaustr. 2-10
Postort: Köln
Postleitzahl: 50606
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 221-1473045 📞
E-Mail: vkrheinland@bez.reg-koeln.nrw.de 📧
Fax: +49 221-1472889 📠
Internetadresse: http://www.bezreg-koeln.nrw.de/brk_internet/vergabekammer 🌏
Quelle: OJS 2020/S 145-356449 (2020-07-27)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-10-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“System, das geeignet ist für — Ionenstrahlätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas, — reaktives...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert des Auftrags: 790 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-10-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-10-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 212-516345
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 145-356449
ABl. S-Ausgabe: 212
Zusätzliche Informationen

“Bekanntmachungs-ID: CXS0YD8YDCY”

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“System, das geeignet ist für”

“— Ionenstrahlätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas,”
Mehr anzeigen (2)
“— reaktives Ionenstrahlätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen,”

“— Ionenstrahldeponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einenTargethalter,”
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Otto-Blumenthal-Str. 4,”

“Geb. 4230, EG,”
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“Raum 013”

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technischerwert
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Preis (Gewichtung): 40.00

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-10-26 📅
Name: scia Systems GmbH
Postanschrift: Annaberger Str. 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: k.guendel@scia-systems.com 📧
Land: Chemnitz, Kreisfreie Stadt 🏙️
Internetadresse: http://www.scia-systems.com/de.html 🌏
Gesamtwert des Auftrags: 790 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
Quelle: OJS 2020/S 212-516345 (2020-10-26)