Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-06-10.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-05-06.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: ALD-Anlage
NLB2020_05
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD -...”
Kurze Beschreibung
Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden.
1️⃣
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden, DEUTSCHLAND
Beschreibung der Beschaffung:
“Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD -...”
Beschreibung der Beschaffung
Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden. Die ALD – Anlage soll eine Prozesskammer und ein Ladekammer (load port) besitzen. Es sollen Proben und Scheiben (Wafer) mit einem Durchmesser von 200 mm prozessiert werden. Die Prozesskammer soll eine Gasdusche (showerhead) besitzen und der Gasfluss in der Prozesskammer von oben aus der Gasdusche nach unten zur Probe/ Scheibe erfolgen (top flow reactor / down stream reactor). Die Anlage wird in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) im ersten Stockwerk in der Nöthnitzer Straße 64 a, 01187 Dresden installiert und betrieben werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Endes: 2021-04-30 📅
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen:
“Sollten Optionen über die geforderten Spezifikationen aus Sicht des Bieters sinnvoll sein, können diese angeboten werden.” Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch...”
Informationen über die Fonds der Europäischen Union
Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch Steuermittel des von den Abgeordneten des Sächsischen Landtages beschlossenen Haushaltes. Europa fördert Sachsen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Eine Kopie der Gewerbean- bzw. ummeldung, wenn keine Eintragung im Handels- bzw. Berufsregister besteht; ansonsten einen Nachweis über die Eintragung in das...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Eine Kopie der Gewerbean- bzw. ummeldung, wenn keine Eintragung im Handels- bzw. Berufsregister besteht; ansonsten einen Nachweis über die Eintragung in das Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens.
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6 der Verdingungsunterlagen) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw....”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1. Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6 der Verdingungsunterlagen) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherungs-Deckung;
2. Angaben über den Umsatz des Unternehmens in den letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit es Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (Eigenerklärung zum Unternehmen, Anlage 7 der Verdingungsunterlagen);
3. Aussagen zum Kundendienst;
4. Informationen über die aktuelle Unternehmensstruktur und Mitarbeiterentwicklung in den letzten drei Jahren.
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Referenzen des Unternehmens zu vergleichbaren Leistungen in den letzten drei Geschäftsjahren, mit Ansprechpartner und Telefonnummer (Anlage 8 der...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1. Referenzen des Unternehmens zu vergleichbaren Leistungen in den letzten drei Geschäftsjahren, mit Ansprechpartner und Telefonnummer (Anlage 8 der Verdingungsunterlagen);
2. Qualitätsnachweise (z.B. ISO 9001, EMAS o. ä.).
Mehr anzeigen Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-06-10
13:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-07-22 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-06-10
14:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Dresden
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Nicht öffentlich.
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de📧
Fax: +49 3419771049 📠
URL: www.lds.sachsen.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 090-214290 (2020-05-06)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-08-19) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD – Anlage) zur...”
Kurze Beschreibung
Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD – Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden.
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Währungscode: EUR 💰
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (niedrigstes Angebot): 595650.00
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.) (höchstes Angebot): 599900.00
Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden, DE
Beschreibung der Beschaffung:
“Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur...”
Beschreibung der Beschaffung
Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden. Die ALD – Anlage soll eine Prozesskammer und ein Ladekammer (load port) besitzen. Es sollen Proben und Scheiben (Wafer) mit einem Durchmesser von 200 mm prozessiert werden. Die Prozesskammer soll eine Gasdusche (showerhead) besitzen und der Gasfluss in der Prozesskammer von oben aus der Gasdusche nach unten zur Probe/ Scheibe erfolgen (top flow reactor / down stream reactor). Die Anlage wird in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) im ersten Stockwerk in der Nöthnitzer Straße 64 a, 01187 Dresden installiert und betrieben werden
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 090-214290
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: NLB2020_05
Titel: ALD-Anlage
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-07-20 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 3
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: scia systems
Postanschrift: Annaberger Str. 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3715347-780📞
E-Mail: info@scia-systems.com📧
Fax: +49 3715347-781 📠
Region: Chemnitz🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Währungscode: EUR 💰
Niedrigstes Angebot: 595650.00
Höchstes Angebot: 599900.00
Ergänzende Informationen Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de📧
Fax: +49 3419771049 📠
URL: www.lds.sachsen.de🌏 Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de📧
Fax: +49 3419771049 📠
URL: www.lds.sachsen.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 163-396222 (2020-08-19)