ALD-Anlage

NaMLab gGmbH

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-06-10. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-05-06.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• scia systems

Wer?

• NaMLab gGmbH

Wie?

• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

• Dresden › Dresden, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2020-05-06	Auftragsbekanntmachung
2020-08-19	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2020-05-06)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: NLB2020_05
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: NaMLab gGmbH
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Postleitzahl: 01187
Postort: Dresden
Kontakt
Internetadresse: http://www.namlab.com 🌏
E-Mail: info@namlab.com 📧
Telefon: +49 351212499010 📞
Fax: +49 35121499099 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.de/unterlagen/2250447/zustellweg-auswaehlen 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-05-06 📅
Einreichungsfrist: 2020-06-10 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-05-08 📅
Datum des Endes: 2021-04-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 090-214290
ABl. S-Ausgabe: 90
Zusätzliche Informationen
Nicht öffentlich.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden. Die ALD – Anlage soll eine Prozesskammer und ein Ladekammer (load port) besitzen. Es sollen Proben und Scheiben (Wafer) mit einem Durchmesser von 200 mm prozessiert werden. Die Prozesskammer soll eine Gasdusche (showerhead) besitzen und der Gasfluss in der Prozesskammer von oben aus der Gasdusche nach unten zur Probe/ Scheibe erfolgen (top flow reactor / down stream reactor). Die Anlage wird in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) im ersten Stockwerk in der Nöthnitzer Straße 64 a, 01187 Dresden installiert und betrieben werden.

Beschreibung der Optionen:

Sollten Optionen über die geforderten Spezifikationen aus Sicht des Bieters sinnvoll sein, können diese angeboten werden.

Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch Steuermittel des von den Abgeordneten des Sächsischen Landtages beschlossenen Haushaltes. Europa fördert Sachsen.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden, DEUTSCHLAND

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Eine Kopie der Gewerbean- bzw. ummeldung, wenn keine Eintragung im Handels- bzw. Berufsregister besteht; ansonsten einen Nachweis über die Eintragung in das Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

1. Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6 der Verdingungsunterlagen) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherungs-Deckung;

2. Angaben über den Umsatz des Unternehmens in den letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit es Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (Eigenerklärung zum Unternehmen, Anlage 7 der Verdingungsunterlagen);

3. Aussagen zum Kundendienst;

4. Informationen über die aktuelle Unternehmensstruktur und Mitarbeiterentwicklung in den letzten drei Jahren.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

1. Referenzen des Unternehmens zu vergleichbaren Leistungen in den letzten drei Geschäftsjahren, mit Ansprechpartner und Telefonnummer (Anlage 8 der Verdingungsunterlagen);

2. Qualitätsnachweise (z.B. ISO 9001, EMAS o. ä.).

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 13:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-07-22 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-06-10 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 14:00
Ort des Eröffnungstermins: Dresden
Zusätzliche Informationen: Nicht öffentlich.

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Forschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Alexander Ruf
Internetadresse: www.namlab.com 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/2250447/zustellweg-auswaehlen 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040 📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de 📧
Fax: +49 3419771049 📠
Internetadresse: www.lds.sachsen.de 🌏
Quelle: OJS 2020/S 090-214290 (2020-05-06)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-08-19)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD – Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden.

Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-08-19 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-08-24 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 163-396222
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 090-214290
ABl. S-Ausgabe: 163

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Der Auftrag umfasst die Lieferung, Installation und Inbetriebnahme einer Atomlagen-Abscheideanlage (atomic layer depostion tool / ALD - Anlage) zur Abscheidung von Schichten und Schichtsystemen aus einzelnen unterschiedlichen Atomlagen. Es sollen sowohl dielektrische als auch metallische Schichten abgeschieden werden können, je nachdem welche Prozessgase eingesetzt werden. Die ALD – Anlage soll eine Prozesskammer und ein Ladekammer (load port) besitzen. Es sollen Proben und Scheiben (Wafer) mit einem Durchmesser von 200 mm prozessiert werden. Die Prozesskammer soll eine Gasdusche (showerhead) besitzen und der Gasfluss in der Prozesskammer von oben aus der Gasdusche nach unten zur Probe/ Scheibe erfolgen (top flow reactor / down stream reactor). Die Anlage wird in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) im ersten Stockwerk in der Nöthnitzer Straße 64 a, 01187 Dresden installiert und betrieben werden

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden, DE

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Wirtschaftlichstes Angebot
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100 %
Kostenkriterium (Name): Wirtschaftlichstes Angebot
Kostenkriterium (Gewichtung): 100 %

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-07-20 📅
Name: scia systems
Postanschrift: Annaberger Str. 240
Postort: Chemnitz
Postleitzahl: 09125
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3715347-780 📞
E-Mail: info@scia-systems.com 📧
Land: Chemnitz 🏙️
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3

Ergänzende Informationen
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040 📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de 📧
Fax: +49 3419771049 📠
Internetadresse: www.lds.sachsen.de 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Quelle: OJS 2020/S 163-396222 (2020-08-19)

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