Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj - IAF

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of electro beam lithography processes on 3“ and 100 mm wafers. The configuration of the cluster includes modules for spin coating and resist developing, 3 hotplates, 1 coolplates, syringe dispense system, video alignment, roboter handler and 4 I/O stations.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-07-16. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-06-15.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-06-15 Auftragsbekanntmachung
2020-09-03 Ergänzende Angaben
2020-12-11 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-06-15)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Research company e.V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj - IAF E_005_236618 ChrPat-KauAnj”
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“The tender offer applies to an automatic spin coating/developing cluster for semiconductor processing. The system will be used in the framework of electro...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Freiburg im Breisgau, Stadtkreis 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 79108 Freiburg.
Beschreibung der Beschaffung: .
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2021-04-01 📅
Datum des Endes: 2021-04-30 📅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“The documents listed in the following must be presented in full with the tender. Incomplete documents will lead to exclusion from the procedure.”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) company profile and the actual amount of employees; 2) designation of the company revenue for the last 3 business years; 3) self-declaration regarding...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“5) complete references (including contact persons with contact data) from comparable projects, which were realized in the last 3 years; 7) European service...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-07-16 11:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-09-14 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-07-16 11:30 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“A request for review is inadmissible if more than 15 calendar days have passed since the receipt of the notification from the ordering party indicating a...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2020/S 116-281177 (2020-06-15)
Ergänzende Angaben (2020-09-03)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj — IAF E_005_236618 ChrPat-KauAnj”

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2020/S 116-281177

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.6)
Ort des zu ändernden Textes: Minimum time frame during which the tenderer must maintain the tender
Alter Wert
Datum: 2020-09-14 📅
Neuer Wert
Datum: 2020-10-14 📅
Quelle: OJS 2020/S 174-420317 (2020-09-03)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-12-11)
Öffentlicher Auftraggeber
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: research company e.V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technical performance
Qualitätskriterium (Gewichtung): 45
Preis (Gewichtung): 55

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 116-281177

Auftragsvergabe

1️⃣
Titel:
“Automatic E_Beam Spin Coating and Developing Cluster — E_005_236618 ChrPat-KauAnj — IAF”
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-10-19 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 5
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 5
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SUSS MicroTec Lithography GmbH
Postort: Garching b. München
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: München, Landkreis 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Pursuant to Section 9 Par. 3 S. 2 VgV (German public procurement regulation), the contract notice and the award documents are available to you at the German...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2020/S 245-606976 (2020-12-11)