Beschreibung der Beschaffung
Anforderungen an das Basissystem:
— SIMS-Anlage mit Probenschleuse für Probengrößen mindestens 15 x 15 x 10 mm;
— Messungen mehrfach, automatisch, computergesteuert und programmierbar;
— Messpunkte (Sputterkrater) über ein Videosystem sichtbar und speicherbar (als Image und mit Koordinaten);
— Nachweisgrenzen, ermittelt am Tiefenprofil ohne Backgroundabzug mit Sputterraten > 3 nm/s:
— Bor in Silizium: < 1E+13 at/cm;
— Phosphor in Silizium: < 1E+14 at/cm;
— Arsen in Silizium: < 1E+15 at/cm;
— Wasserstoff in Silizium: < 1E+17 at/cm;
— Kohlenstoff in Silizium: < 1E+17 at/cm;
— Sauerstoff in Silizium: < 1E+17 at/cm;
— Massenauflösung MRP m/delta-m > 30000 bei FWHM für 28Si an einer Probe Reinstsilizium gemessen;
— Signal-Background-Verhältnis > 1E+08 am Peak von 28Si im Abstand von 1,2 u;
— Messdynamik von > 1E+09 innerhalb eines Tiefenprofils/an einem Messpunkt erreichbar;
— Analyse von nichtleitenden Schichten (Siliziumoxid/-e, Siliziumnitrid bis zu Dicken > 5 μm möglich;
— Laterale Auflösung < 1 μm für Aluminiumstrukturen auf Silizium und Gold auf Silizium möglich;
— Vertikale Auflösung < 2 nm/Dekade am Delta-Peak (Bor in Silizium);
— Reproduzierbarkeit der Dosisbestimmung besser 3 Sigma.
<= 3 % fur Phosphor in Silizium mit einer Dosis von 1E+15 at/cm und 150 keV Implantationsenergie und Gleichzeitiger Nachweisgrenze < 1E+16 at/cm3, bestimmt aus 9 Einzelmessungen an 3 identischen Proben.
— detektierbarer Massenbereich 1 bis > 300 u/e (u/e = Verhältnis von Ionenmasse zu Ionenladung);
— Equipment zur Analyse von Isolatoren (Ladungskompensation);
— Sauerstoffinjektionssystem;
— Sekundärionenraster- und Direktabbildung.
Anforderungen an die Software:
— Graphische Benutzeroberfläche in deutscher/englischer Sprache;
— Messungen mehrfach, automatisch, computergesteuert und programmierbar;
— Datenexport in grafischer und digitaler Form;
— Speicherung von Messdaten und Messbedingungen (Messkonzepte);
— Checkerboardfunktion.
Inkl. Zubehör:
— Steuer-PC:
— LAN-Anschluss;
— Betriebssystem Windows 10 Pro-fessional;
— Monitor;
— Tastatur und Maus;
— Alle für den Betrieb des Geräts notwendigen Komponenten (Probenhalter, Zubehör zu Ionenquellen, Verbrauchsmaterial für 2 Jahre);
— Messtechnik zur Messung der Tiefen der SIMS-Sputterkrater;
— Garantie von 24 Monaten ab Endabnahme.