CAK

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Schaffung eines CiS-Analytik-Kompetenzzentrums (CAK) im Rahmen der Beschaffung eines hochauflösenden 3-dimensionalen Sekundärionenmassenspektrometriesystems.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-06-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-05-25.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Cameca SAS
• Kirchhoff Datensysteme Services GmbH & Co.KG

Wer?

• CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Wie?

• Computerspeichereinheiten › Flashspeichergeräte
• Spektrometer › Massenspektrometer

Wo?

• Thüringen › Erfurt, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2020-05-25	Auftragsbekanntmachung
2020-08-07	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2020-05-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Massenspektrometer
Referenznummer: CAK 2020
Kurze Beschreibung:

Schaffung eines CiS-Analytik-Kompetenzzentrums (CAK) im Rahmen der Beschaffung eines hochauflösenden 3-dimensionalen Sekundärionenmassenspektrometriesystems.

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Massenspektrometer 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Massenspektrometer 📦
Flashspeichergeräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Erfurt, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot ausschließlich für ein Los
Vergabekriterien
Niedrigster Preis

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
Postanschrift: Konrad-Zuse-Straße 14
Postleitzahl: 99099
Postort: Erfurt
Kontakt
Internetadresse: http://www.cismst.de 🌏
E-Mail: cpirskowitz@cismst.de 📧
Telefon: +49 3616631-498 📞
Fax: +49 3616631-470 📠
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YENDFZZ/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YENDFZZ 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-05-25 📅
Einreichungsfrist: 2020-06-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-05-27 📅
Datum des Beginns: 2020-07-31 📅
Datum des Endes: 2021-08-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 102-245541
ABl. S-Ausgabe: 102
Zusätzliche Informationen

Mittelherkunft aus europäischen Fonds für Regionale Entwicklung (EFRE-OP 2014 bis 2020) und aus Landesmitteln: Förderprogramm: Richtlinie des Freistaates Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) vom 18.8.2015 (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 7.9.2015, S. 1494-1512), geändert am 17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019 vom 21.1.2019, S. 201-203)

Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 2 000 000 EUR 💰
Bezeichnung des Loses: SIMS-Anlage (Sekundärionenmassenspektrometrie)
Losnummer: 1
Kurze Beschreibung:

Anforderungen an das Basissystem:

— SIMS-Anlage mit Probenschleuse für Probengrößen mindestens 15 x 15 x 10 mm

— Messungen mehrfach, automatisch, computergesteuert und programmierbar;

— Messpunkte (Sputterkrater) über ein Videosystem sichtbar und speicherbar (als Image und mit Koordinaten);

— Nachweisgrenzen, ermittelt am Tiefenprofil ohne Backgroundabzug mit Sputterraten > 3 nm/s:

— Bor in Silizium: < 1E+13 at/cm

— Phosphor in Silizium: < 1E+14 at/cm

— Arsen in Silizium: < 1E+15 at/cm

— Wasserstoff in Silizium: < 1E+17 at/cm

— Kohlenstoff in Silizium: < 1E+17 at/cm

— Sauerstoff in Silizium: < 1E+17 at/cm

— Massenauflösung MRP m/delta-m > 30000 bei FWHM für 28Si an einer Probe Reinstsilizium gemessen;

— Signal-Background-Verhältnis > 1E+08 am Peak von 28Si im Abstand von 1,2 u;

— Messdynamik von > 1E+09 innerhalb eines Tiefenprofils/an einem Messpunkt erreichbar;

— Analyse von nichtleitenden Schichten (Siliziumoxid/-e, Siliziumnitrid bis zu Dicken > 5 μm möglich;

— Laterale Auflösung < 1 μm für Aluminiumstrukturen auf Silizium und Gold auf Silizium möglich;

— Vertikale Auflösung < 2 nm/Dekade am Delta-Peak (Bor in Silizium);

— Reproduzierbarkeit der Dosisbestimmung besser 3 Sigma.

<= 3 % fur Phosphor in Silizium mit einer Dosis von 1E+15 at/cm

— detektierbarer Massenbereich 1 bis > 300 u/e (u/e = Verhältnis von Ionenmasse zu Ionenladung);

— Equipment zur Analyse von Isolatoren (Ladungskompensation);

— Sauerstoffinjektionssystem;

— Sekundärionenraster- und Direktabbildung.

Anforderungen an die Software:

— Graphische Benutzeroberfläche in deutscher/englischer Sprache;

— Datenexport in grafischer und digitaler Form;

— Speicherung von Messdaten und Messbedingungen (Messkonzepte);

— Checkerboardfunktion.

Inkl. Zubehör:

— Steuer-PC:

— LAN-Anschluss;

— Betriebssystem Windows 10 Pro-fessional;

— Monitor;

— Tastatur und Maus;

— Alle für den Betrieb des Geräts notwendigen Komponenten (Probenhalter, Zubehör zu Ionenquellen, Verbrauchsmaterial für 2 Jahre);

— Messtechnik zur Messung der Tiefen der SIMS-Sputterkrater;

— Garantie von 24 Monaten ab Endabnahme.

Geschätzter Wert ohne MwSt: 1 975 000 EUR 💰
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: 2019 WIN 0006
Zusätzliche Informationen:

Mittelherkunft aus europäischen Fonds für Regionale Entwicklung (EFRE-OP 2014 bis 2020) und aus Landesmitteln:

Förderprogramm: Richtlinie des Freistaates Thüringen zur Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) vom 18.8.2015 (ThürStAnz. Nr. 36/2015 vom 7.9.2015, S. 1494-1512), geändert am 17.12.2018, in Kraft getreten am 18.12.2018 (ThürStAnz.-Nr. 3/2019 vom 21.1.2019, S. 201-203)

Bezeichnung des Loses: Datenbanktool für flexibles Management von Technologie- und Prozessdaten-Software zur Datenerfassung
Losnummer: 2
Kurze Beschreibung:

— 1 St. Storage Area Network Speichergerät mit Hybrid Flash Speicher System;

— 2 St. SSD 800GB;

— 16 GB Fiber Channel;

— Formfaktor Schächte (SAS-2) – Rack – einbaufähig 2U;

— Herst.-Garantie: 3 Jahre VOS, 4h Reaktionszeit 7x24.

Bereits im CiS verwendete Festplatten:

24 St.: FLASH-Storage – Solid-State-/Festplattenarray – 1.6 TB

— 3 St. Host Bus-Adapter 16GB Dual Port Fiber Channel, PCI.

Weiteres:

Die Dienstleistung für das Datenbanktool beinhaltet:

— Sicherstellung der verlustfreien Migration der vorhandenen Daten auf die neue Storagelösung unter Beibehaltung der vorhanden Speichermedien und Serverstruktur;

— Dabei soll passend eine Bereitstellung einer Backuplösung zum durchgehenden Betrieb beinhaltet sein;

— Integration in das firmeneigene ERP System, des Buchhaltungssystems und der firmeneigen QS-Datenbank einschließlich Nachweis der Funktionalität;

— Sicherstellung der Kompatibilität bei der Integration der neuen Komponenten insbesondere hinsichtlich Leistungsperformance;

Geschätzter Wert ohne MwSt: 25 000 EUR 💰
Zusätzliche Informationen:

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

Konrad-Zuse-Straße 14

99099 Erfurt

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Die nachstehenden Ausführungen gelten für Los 1 und Los 2:

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter, jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft sowie jedem Nachunternehmer, auf dessen Befähigung zur Berufsausübung sich der Bewerber, ein Mitglied einer Bietergemeinschaft bzw. ein Nachunternehmer berufen will, vorzulegen:

1. Formblatt L 124_EU Eigenerklärung zur Eignung mit Erklärungen zu:

— Angabe über Ausschlussgründe gemäß § 42 VgV in Verbindung mit §§ 123 und § 124 GWB;

— Angabe zu Insolvenzverfahren und Liquidation;

— Angabe zur Zahlung von Steuern und Abgaben und Beiträgen zur Sozialversicherung.

2. Berufs- bzw. Handelsregisterauszug,

3. gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung des Finanzamtes – soweit Finanzamt Bescheinigungen ausstellt,

4. gültige Unbedenklichkeitsbescheinigung der tariflichen Sozialkasse – soweit Betrieb beitragspflichtig,

5. Freistellungsbescheinigung nach § 48b EstG,

6. Eintragung in der Handwerksrolle oder bei der Industrie- oder Handwerkskammer oder sonstiger Nachweis.

Da die Vergabestelle nach § 36 Abs. 5 Satz 1 VgV gehalten ist, vor der Zuschlagserteilung in Bezug auf reine Nachunternehmer die Voraussetzungen des §§ 123, 124 GWB zu prüfen, sind die Unterlagen 1)-6) ggf. vom Nachunternehmer (ohne Eignungsleihe) auf gesondertes Anfordern vorzulegen.

Der Nachweis einer Befähigung zur Berufsausübung kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Mindeststandards:

Die nachstehenden Ausführungen gelten für Los 1 und Los 2:

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft vorzulegen:

Nachweis einer Berufs- oder Betriebshaftpflichtversicherung für Personenschäden in Höhen von mindestens 2 000 000,00 EUR und für Sach- und Vermögensschäden in Höhe von 2 000 000,00 EUR gemäß Ziffer III der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU).

Sämtliche unten genannten Erklärungen/Unterlagen sind von jedem Bieter sowie jedem Mitglied einer Bietergemeinschaft auf gesondertes Verlagen vorzulegen:

7. Zusicherung der Versicherung bzw. entsprechender Versicherungsnachweis.

Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG).

Vorlage geeigneter Referenzen (mindestens eine Referenz) über früher ausgeführte Liefer- und Dienstleistung der in den letzten höchstens 3 Jahren erbrachten wesentlichen Leistungen gemäß Ziffer IV der Eigenerklärung zur Eignung (Formblatt L 124_EU)

Aus der Beschreibung der Referenz muss klar erkennbar sein, welche Leistungen der Bewerber oder das Mitglied der Bewerbergemeinschaft oder ein Dritter, auf dessen Leistungsfähigkeit abgestellt wird, selbst durchgeführt hat. Die bloße untergeordnete Mitwirkung ist nicht ausreichend. Der Auftraggeber behält sich die Überprüfung der Angaben bei den Referenzauftraggebern sowie eigene Ermittlungen vor. Die Ergebnisse der eigenen Ermittlungen werden bei der Bewertung Berücksichtigung finden.

8. Bescheinigung über die ordnungsgemäße Ausführung und das Ergebnis der genannten Leistungen

Hinweis für die Bieter: Hat ein Bieter in den letzten 12 Monaten vor Ablauf der Angebotsfrist bereits die Nachweise vorgelegt, so hat er gemäß § 7 Abs. 2a ThürVgG den Auftraggeber unter Benennung des Vergabeverfahrens darauf hinzuweisen. Der Nachweis der technischen und beruflichen Leistungsfähigkeit kann auch durch die gültige Bescheinigung eines in der Vergabeordnung genannten Präqualifikationsverfahrens geführt werden (vgl. § 7 Abs. 2 ThürVgG). Es muss mindestens eine Referenz vorgelegt werden.

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

„Diese Ausführungen gelten für Los 1 und Los 2:

Ausführungsbedingungen nach dem Thüringer Vergabegesetz:

— Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG – Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG – Kontrollen sowie § 18 ThürVgG – Sanktionen (siehe Anlage ...);

— Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG);

— Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“.

Gemäß § 12a Abs. 2 ThürVgG weisen wir darauf hin, dass der Bestbieter im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen muss und dass, bei nicht fristgerechter Vorlage, das Angebot von der Wertung auszuschließen ist.

Es handelt sich dabei um folgende Erklärungen und Nachweise:

— Formblatt „Verpflichtung gemäß § 12 und 15 ThürVgG – Nachunternehmereinsatz, gemäß § 17 ThürVgG“ – Kontrollen sowie § 18 ThürVgG – Sanktionen;

— Formblatt „Verpflichtung zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“;

— Formblatt „Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“.

Zudem müssen im Falle eines anfänglichen Nachunternehmereinsatzes spätestens vor der Auftragserteilung folgenden Formblätter beim Auftraggeber vorliegen:

— Formblatt „Verpflichtung des Nachunternehmers zur Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12 Abs. 2 ThürVgG)“;

Der Bestbieter muss im Falle der beabsichtigten Zuschlagserteilung die nach dem ThürVgG verpflichtend vorzulegenden Erklärungen und Nachweise nach Aufforderung innerhalb einer nach Tagen bemessenen Frist vorlegen. Bei nicht fristgerechter Vorlage ist das Angebot von der Wertung auszuschließen.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-08-10 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2020-06-26 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00
Ort des Eröffnungstermins: Konrad-Zuse-Straße 14, 99099 Erfurt

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: mit öffentlichen Mitteln geförderte Forschungseinrichtung
Kontakt
Internetadresse: www.cismst.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YENDFZZ/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YENDFZZ

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Freistaats Thüringen beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

„Der Nachprüfungsantrag ist nach § 160 Abs. 3 GWB unzulässig, soweit:

1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,

2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.“

Quelle: OJS 2020/S 102-245541 (2020-05-25)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-08-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 1 999 998 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-08-07 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-08-12 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 155-379108
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 102-245541
ABl. S-Ausgabe: 155
Zusätzliche Informationen

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

— SIMS-Anlage mit Probenschleuse für Probengrößen mindestens 15*15*10 mm

— Nachweisgrenzen, ermittelt am Tiefenprofil ohne Backgroundabzug mit Sputterraten > 3 nm/s;

— Massenauflösung MRP m/delta-m > 30 000 bei FWHM für 28Si an einer Probe Reinstsilizium gemessen;

— Reproduzierbarkeit der Dosisbestimmung besser 3 Sigma <= 3 % fur Phosphor in Silizium mit einer Dosis von 1E+15 at/cm

Gleichzeitiger Nachweisgrenze < 1E+16 at/cm3, bestimmt aus 9 Einzelmessungen an 3 identischen Proben;

— Betriebssystem Windows 10 Professional;

— Formfaktor Schächte (SAS-2) — Rack — einbaufähig 2U;

— Herst.-Garantie: 3 Jahre VOS, 4h Reaktionszeit 7 x 24.

— 24 St.: FLASH-Storage — Solid-State-/Festplattenarray — 1.6 TB;

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-08-04 📅
Name: Kirchhoff Datensysteme Services GmbH & Co.KG
Postort: Erfurt
Land: Deutschland 🇩🇪
Erfurt, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 24 998 EUR 💰
Name: Cameca SAS
Postort: Gennevilliers Cedex
Land: Frankreich 🇫🇷
Hauts-de-Seine 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 975 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 2
1

Referenz
Zusätzliche Informationen
Bekanntmachungs-ID: CXP4YENDS10

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt,

4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind."

Quelle: OJS 2020/S 155-379108 (2020-08-07)

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