Fraunhofer IOF – E_066_245216 – reinraumfähige Laborstrecke für lithographische Prozesse

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer Prozesse. Diese besteht aus 2 Nassarbeitsbankmodulen, 2 Schleuderbelackungsanlagen und 3 Heizplatten. Die Nassarbeitsbankmodule werden in getrennten Laborbereichen mit je einem Schleuderbelacker installiert, wobei die Arbeitsbank mit Heizplatten für Belackungsprozesse konzipiert ist, während die Arbeitsbank mit den unterschiedlichen Bädern für Entwicklungs- und nachgeordnete Prozesse ausgestattet ist. So möglich, soll unterhalb der Arbeitsfläche Stauraum bestmöglich genutzt werden zur Lagerung von Gebinden oder Gerätezubehör (Chucks). Idealerweise lassen sich die Substrathalter der Schleuderbelacker untereinander tauschen.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-03-16. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-02-11.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-02-11 Auftragsbekanntmachung
2020-05-04 Ergänzende Angaben
2020-06-18 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
2020-06-23 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-02-11)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Fraunhofer IOF – E_066_245216 – reinraumfähige Laborstrecke für lithographische Prozesse E_066_245216 migl-bla”
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer...”    Mehr anzeigen
Informationen über Lose
Angebote können für alle Lose eingereicht werden

1️⃣
Umfang der Beschaffung
Titel: Nassbank
Titel
Los-Identifikationsnummer: 1
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 8

2️⃣
Umfang der Beschaffung
Titel: Schleuderbelackung
Titel
Los-Identifikationsnummer: 2
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦

3️⃣
Umfang der Beschaffung
Titel: Heizplatten für Fotolacktrocknung
Titel
Los-Identifikationsnummer: 3

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Firmenprofil; 2) Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre; 3) Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“4) Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten, nicht älter als 3 Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung). „Achtung“: Sollten Sie aus...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Unterlagen nachzuweisen. Ferner ist zu...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-03-16 09:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-05-15 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-03-16 09:30 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Anforderung Unterlagen – gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2020/S 030-069489 (2020-02-11)
Ergänzende Angaben (2020-05-04)

Ergänzende Informationen
Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2020/S 030-069489

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.6)
Ort des zu ändernden Textes: Bindefrist des Angebots
Alter Wert
Datum: 2020-05-15 📅
Neuer Wert
Datum: 2020-06-05 📅
Quelle: OJS 2020/S 088-210294 (2020-05-04)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-06-18)
Objekt
Informationen über Lose
Dieser Vertrag ist in Lose unterteilt
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technischer Wert
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20 %
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Preis (Gewichtung): 60 %
Beschreibung
Zusätzliche Informationen: Los 1 wird nach §63 (1) Abs. 1 kein Angebot eingegangen.

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 030-069489

Auftragsvergabe

1️⃣
Los-Identifikationsnummer: 1
Titel: Nassbank
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2020/S 119-288995 (2020-06-18)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-06-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 50
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Preis (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Gewichtung): 55
Preis (Gewichtung): 35

Auftragsvergabe
Los-Identifikationsnummer: 2
Titel: Schleuderbelackung
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-06-03 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 3
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 3
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Obducat Europe GmbH
Postort: Radolfzell am Bodensee
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Konstanz 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰

2️⃣
Vertragsnummer: 2
Los-Identifikationsnummer: 3
Titel: Heizplatten für Fotolacktrocknung
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”    Mehr anzeigen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2020/S 121-295376 (2020-06-23)