Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer Prozesse. Diese besteht aus 2 Nassarbeitsbankmodulen, 2 Schleuderbelackungsanlagen und 3 Heizplatten. Die Nassarbeitsbankmodule werden in getrennten Laborbereichen mit je einem Schleuderbelacker installiert, wobei die Arbeitsbank mit Heizplatten für Belackungsprozesse konzipiert ist, während die Arbeitsbank mit den unterschiedlichen Bädern für Entwicklungs- und nachgeordnete Prozesse ausgestattet ist. So möglich, soll unterhalb der Arbeitsfläche Stauraum bestmöglich genutzt werden zur Lagerung von Gebinden oder Gerätezubehör (Chucks). Idealerweise lassen sich die Substrathalter der Schleuderbelacker untereinander tauschen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-03-16.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-02-11.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Auftragsbekanntmachung (2020-02-11) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_066_245216 migl-bla
Kurze Beschreibung:
“Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer...”
Kurze Beschreibung
Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer Prozesse. Diese besteht aus 2 Nassarbeitsbankmodulen, 2 Schleuderbelackungsanlagen und 3 Heizplatten. Die Nassarbeitsbankmodule werden in getrennten Laborbereichen mit je einem Schleuderbelacker installiert, wobei die Arbeitsbank mit Heizplatten für Belackungsprozesse konzipiert ist, während die Arbeitsbank mit den unterschiedlichen Bädern für Entwicklungs- und nachgeordnete Prozesse ausgestattet ist. So möglich, soll unterhalb der Arbeitsfläche Stauraum bestmöglich genutzt werden zur Lagerung von Gebinden oder Gerätezubehör (Chucks). Idealerweise lassen sich die Substrathalter der Schleuderbelacker untereinander tauschen.
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
“Anforderung Unterlagen – gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”
Anforderung Unterlagen – gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung.
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Quelle: OJS 2020/S 030-069489 (2020-02-11)
Ergänzende Angaben (2020-05-04) Objekt Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben
“Los 1 wird nach §63 (1) Abs. 1 kein Angebot eingegangen.”
Quelle: OJS 2020/S 119-288995 (2020-06-18)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-06-23) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer...”
Kurze Beschreibung
Das Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant den Aufbau einer reinraumfähigen Laborstrecke zur Durchführung fotolithographischer Prozesse. Diese besteht aus zwei Nassarbeitsbankmodulen, 2 Schleuderbelackungsanlagen und 3 Heizplatten. Die Nassarbeitsbankmodule werden in getrennten Laborbereichen mit je einem Schleuderbelacker installiert, wobei die Arbeitsbank mit Heizplatten für Belackungsprozesse konzipiert ist, während die Arbeitsbank mit den unterschiedlichen Bädern für Entwicklungs- und nachgeordnete Prozesse ausgestattet ist. So möglich, soll unterhalb der Arbeitsfläche Stauraum bestmöglich genutzt werden zur Lagerung von Gebinden oder Gerätezubehör (Chucks). Idealerweise lassen sich die Substrathalter der Schleuderbelacker untereinander tauschen.
“Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”
Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung.
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Quelle: OJS 2020/S 121-295376 (2020-06-23)