Das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant die Beschaffung zweier identischer 3-Achs-Positioniersysteme (im weiteren Kontext wird von der Einzahl gesprochen), die auf die anspruchsvollen Anforderungen für Lithographie auf vergleichsweise großen Flächen ausgelegt sind. Die Systeme sollen mit Fotolack beschichtete Substrate sehr präzise zu einem vom IOF spezifizierten Schreibkopf positionieren.
In den Schreibkopf sollen zwei weitere Aktuatoren verbaut werden, die zwingend mit derselben Schnittstelle aber durchaus unterschiedlichen Instanzen angesteuert werden können. Im Speziellen handelt es sich hierbei um einen Piezoantrieb für eine Autofokusanwendung als auch eine miniaturisierte Drehachse für Mikrojustage im kleinen Winkelbereich.
Das System soll in minimaler Zeit immer wieder Positionen anfahren und die Position sehr präzise halten (step and repeat) bis der einzelne Belichtungsschritt abgeschlossen ist. Bei Mehrfachüberfahren der kompletten Fläche (multipa
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-06-29.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-05-29.
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel:
“Fraunhofer IOF — E_066_249241— 3-Achsen-Positioniersystem für Lithographieanlage
E_066_249241 ksp-bla”
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦
Kurze Beschreibung:
“Das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant die Beschaffung zweier identischer 3-Achs-Positioniersysteme (im weiteren Kontext wird...”
Kurze Beschreibung
Das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant die Beschaffung zweier identischer 3-Achs-Positioniersysteme (im weiteren Kontext wird von der Einzahl gesprochen), die auf die anspruchsvollen Anforderungen für Lithographie auf vergleichsweise großen Flächen ausgelegt sind. Die Systeme sollen mit Fotolack beschichtete Substrate sehr präzise zu einem vom IOF spezifizierten Schreibkopf positionieren.
In den Schreibkopf sollen zwei weitere Aktuatoren verbaut werden, die zwingend mit derselben Schnittstelle aber durchaus unterschiedlichen Instanzen angesteuert werden können. Im Speziellen handelt es sich hierbei um einen Piezoantrieb für eine Autofokusanwendung als auch eine miniaturisierte Drehachse für Mikrojustage im kleinen Winkelbereich.
Das System soll in minimaler Zeit immer wieder Positionen anfahren und die Position sehr präzise halten (step and repeat) bis der einzelne Belichtungsschritt abgeschlossen ist. Bei Mehrfachüberfahren der kompletten Fläche (multipa
1️⃣
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Fraunhofer IOF
Albert-Einstein-Str. 7
07745 Jena
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant die Beschaffung zweier identischer 3-Achs-Positioniersysteme (im weiteren Kontext wird...”
Beschreibung der Beschaffung
Das Fraunhofer Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik plant die Beschaffung zweier identischer 3-Achs-Positioniersysteme (im weiteren Kontext wird von der Einzahl gesprochen), die auf die anspruchsvollen Anforderungen für Lithographie auf vergleichsweise großen Flächen ausgelegt sind. Die Systeme sollen mit Fotolack beschichtete Substrate sehr präzise zu einem vom IOF spezifizierten Schreibkopf positionieren.
In den Schreibkopf sollen zwei weitere Aktuatoren verbaut werden, die zwingend mit derselben Schnittstelle aber durchaus unterschiedlichen Instanzen angesteuert werden können. Im Speziellen handelt es sich hierbei um einen Piezoantrieb für eine Autofokusanwendung als auch eine miniaturisierte Drehachse für Mikrojustage im kleinen Winkelbereich.
Das System soll in minimaler Zeit immer wieder Positionen anfahren und die Position sehr präzise halten (step and repeat) bis der einzelne Belichtungsschritt abgeschlossen ist. Bei Mehrfachüberfahren der kompletten Fläche (multipass) sollen die identischen Positionen direkt oder mit deterministischen Versatz wieder angefahren werden können. In direkter Abhängigkeit zu der erreichten 2D Absolutgenauigkeit und Reproduzierbarkeit steht die Qualität des erzielbaren Belichtungsergebnisses. Ungeachtet dessen soll das System in der Lage sein, auch kontinuierliche Bewegungen mit hoher Präzision sowohl bezüglich Position als auch Geschwindigkeit zu realisieren. Dafür dürfen durchaus unterschiedliche Parametersetups zum Tragen kommen.
Der Lithographieprozess erfordert Reinraumbedingungen (Klasse ISO 4). Sämtliche Komponenten müssen dieser Anforderung Rechnung tragen.
Der Bieter hat bei der Angebotsabgabe sein Angebot so exakt zu beschreiben und zu bebildern, dass ein lückenloser Vergleich zu Konkurrenzangeboten möglich ist.
Es ist ausreichend zu beschreiben und darzustellen, wie und mit welchen Mitteln die geforderten Mindestanforderungen, Kriterien und Systembedingungen erfüllt werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Preis
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 8
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Firmenprofil
2. Angaben zum Umsatz der letzten drei Geschäftsjahre
3. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1. Firmenprofil
2. Angaben zum Umsatz der letzten drei Geschäftsjahre
3. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)
4. Eine Bereitschaftserklärung Ihrer Bank (in Schriftform oder Textform), dass erst nach einer eventuellen Zuschlagserteilung, eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster, ausgestellt wird.
„Achtung“
Dieser Punkt gilt nicht bei einem Einsatz von Subunternehmern. Der Subunternehmer muss keine Erklärung der Bank abgeben.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“4. Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten, nicht älter als drei Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung)
„ACHTUNG“:
Sollten Sie aus...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
4. Referenz von mindestens 3 vergleichbaren Projekten, nicht älter als drei Jahre (Kurzbeschreibung Gerät, Kundennennung)
„ACHTUNG“:
Sollten Sie aus Datenschutzrechtlichen Gründen Ihre Ansprechpartner nicht benennen dürfen, so kategorisieren Sie bitte Ihren Auftraggeber (Forschung, Industrie, andere öffentliche Auftraggeber) und bestätigen die Vergleichbarkeit der Referenzen mit der ausgeschriebenen Leistung.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Unterlagen nachzuweisen. Ferner ist zu...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Unterlagen nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Verfahren Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-06-29
10:30 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-08-27 📅
“Anforderung Unterlagen — Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabe-unterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”
Anforderung Unterlagen — Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabe-unterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung.
Bitte beachten Sie, dass für Teilnahmeanträge, Angebotsabgaben und Bieterfragen eine Registrierung notwendig ist. Wir empfehlen daher eine frühzeitige Registrierung auch um evtl. Bieterinformationen zu erhalten; ansonsten tragen Sie das Risiko eines evtl. Angebotsausschlusses. — Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) — Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalender tage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 106-256265 (2020-05-29)