Fraunhofer IOF – E_066_249431 – ALD Beschichtungsanlage

Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe

ALD Beschichtungsanlage zur Herstellung dielektrischer Schichten für die Optik
Atomic Layer Deposition (ALD) Anlage für die Abscheidung optischer Wechselschichtsysteme aus Materialien, wie z. B. SiO2, TiO2, Al2O3, HfO2, Ta2O5, etc. Eine hohe Abscheiderate (> 2-6 nm/ min) ist erwünscht. Die Wöchentliche zu erwartenden Abscheidedicke beträgt mehrere Mikrometer.
Substrat Größe:
— Länge/ Breite/ Höhe = 700/ 500/ 300 mm;
— Länge/ Breite/ Höhe = 900/ 250/ 200 mm.
Eine sehr gute Schichtdickenverteilung (Schichtdickenabweichung ≤ 2 %) über die gesamte Substrat Oberfläche wird gefordert. Die Anlage soll so aufgebaut sein, dass sowohl thermische Prozesse als auch plasmaunterstützte ALD-Prozesse durchgeführt werden können. Es können sowohl sequenzielle als auch räumlich separierte (spatial) ALD-Anlagen angeboten werden.

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-10-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-09-22.

Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-09-22 Auftragsbekanntmachung
Auftragsbekanntmachung (2020-09-22)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Teilnahme-URL: http://www.deutsche-evergabe.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Fraunhofer IOF – E_066_249431 – ALD Beschichtungsanlage E_066_249431 migl-bla
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Kurze Beschreibung:
“ALD Beschichtungsanlage zur Herstellung dielektrischer Schichten für die Optik Atomic Layer Deposition (ALD) Anlage für die Abscheidung optischer...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 07745 Jena
Beschreibung der Beschaffung:
“ALD Beschichtungsanlage zur Herstellung dielektrischer Schichten für die Optik Atomic Layer Deposition (ALD) Anlage für die Abscheidung optischer...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 9
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“3.16 Der Auftraggeber ist im Sinne eines einseitigen Optionsrechts berechtigt, folgende Zusätzliche Leistungen/Leistungsänderungen zu verlangen: 2.1 2. oder...”    Mehr anzeigen

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“5. Schriftliche Erklärung Ihrer Bank, das nach Zuschlagserteilung, eine Bankbürgschaft gemäß Ausschreibungsmuster, ausgestellt wird. „Achtung“ Dieser Punkt...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1. Firmenprofil 2. Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre 3. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach § 123 und § 124 des...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Subunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der aufgeführten Unterlagen nachzuweisen. Ferner ist zu...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-10-22 09:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2020-11-03 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2021-02-01 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”    Mehr anzeigen
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL: http://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2020/S 187-448994 (2020-09-22)