ALD Beschichtungsanlage zur Herstellung dielektrischer Schichten für die Optik
Atomic Layer Deposition (ALD) Anlage für die Abscheidung optischer Wechselschichtsysteme aus Materialien, wie z. B. SiO2, TiO2, Al2O3, HfO2, Ta2O5, etc. Eine hohe Abscheiderate (> 2-6 nm/ min) ist erwünscht. Die Wöchentliche zu erwartenden Abscheidedicke beträgt mehrere Mikrometer.
Substrat Größe:
— Länge/ Breite/ Höhe = 700/ 500/ 300 mm;
— Länge/ Breite/ Höhe = 900/ 250/ 200 mm.
Eine sehr gute Schichtdickenverteilung (Schichtdickenabweichung ≤ 2 %) über die gesamte Substrat Oberfläche wird gefordert. Die Anlage soll so aufgebaut sein, dass sowohl thermische Prozesse als auch plasmaunterstützte ALD-Prozesse durchgeführt werden können. Es können sowohl sequenzielle als auch räumlich separierte (spatial) ALD-Anlagen angeboten werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-10-22.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-09-22.
Auftragsbekanntmachung (2020-09-22) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke
Referenznummer: E_066_249431 migl-bla
Kurze Beschreibung:
“ALD Beschichtungsanlage zur Herstellung dielektrischer Schichten für die Optik” Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke📦 Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. über Vergabeportal deutsche eVergabe
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de📧
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
URL der Teilnahme: http://www.deutsche-evergabe.de/🌏
“Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne...”
Anforderung Unterlagen – Gem. § 9 Abs. 3 S. 2 VgV stehen die Auftragsbekanntmachung und die Vergabeunterlagen bei der deutschen eVergabe für Sie auch ohne Registrierung zur Verfügung.
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Quelle: OJS 2020/S 187-448994 (2020-09-22)