IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern für das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS).

Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-03-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-02-24.

Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?

Wie?

Wo?

Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2020-02-24 Auftragsbekanntmachung
2021-03-23 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2020-02-24)
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Postanschrift: Allmandring 30a
Postort: Stuttgart
Postleitzahl: 70569
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ims-chips-stepper@menoldbezler.de 📧
Region: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️
URL: www.ims-chips.de 🌏
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZDE3M/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZDE3M 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Stiftung bürgerlichen Rechts

Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie 3917/2019”
Produkte/Dienstleistungen: Scanner 📦
Kurze Beschreibung:
“Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von...”    Mehr anzeigen

1️⃣
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung 📦
Ort der Leistung: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: IMS Chips Allmandring 30a 70569 Stuttgart
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch „IMS“) ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2020-08-01 📅
Datum des Endes: 2021-12-31 📅
Informationen über die Begrenzung der Zahl der einzuladenden Bewerber
Vorgesehene Mindestanzahl: 3
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:
“Die Vergabestelle wird alle Bewerber, die ihre Eignung nachgewiesen haben, zur Abgabe eines ersten Angebots auffordern. Die Vergabeunterlagen werden allen...”    Mehr anzeigen
Informationen über Optionen
Optionen
Beschreibung der Optionen:
“Einseitige Option zugunsten des Auftraggebers zum Abschluss eines Service- und Wartungsvertrags”
Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Für den Erwerb des verfahrensgegenständlichen Steppers erhält das IMS Fördermittel des Landes Baden-Württemberg.”

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“1) Vorbemerkung a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt...”    Mehr anzeigen
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren...”    Mehr anzeigen
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren; 2) Nachweis von...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten):
“Zu (2): — Nachweis einer Kundenbasis von mehr als 5 Kunden der Mikroelektronik oder MEMS-Fertigung weltweit, bei denen Stepper/Scanner für optische...”    Mehr anzeigen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Sofern ein Bewerber im Hinblick auf die Kriterien für die finanzielle Leistungsfähigkeit nach Ziffer III.1.2) der Auftragsbekanntmachung ganz oder teilweise...”    Mehr anzeigen

Verfahren
Art des Verfahrens
Wettbewerbliches Verfahren mit Verhandlung
Informationen über die Reduzierung der Anzahl von Lösungen oder Angeboten während der Verhandlungen oder des Dialogs
Rückgriff auf ein gestaffeltes Verfahren, um die Zahl der zu erörternden Lösungen oder zu verhandelnden Angebote schrittweise zu verringern
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-03-26 12:00 📅
Voraussichtliches Datum der Versendung der Aufforderungen zur Angebotsabgabe oder zur Teilnahme an die ausgewählten Bewerber: 2020-04-10 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-07-31 📅

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“1) Die Teilnahmeformulare sind unter der in Ziffer I.3) angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen...”    Mehr anzeigen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 721926-3985 📠
URL: www.rp.baden-wuerttemberg.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2020/S 040-094151 (2020-02-24)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-03-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel:
“Bekanntmachung über vergebene Aufträge – IMS Chips – Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie – Abgabe indikativer Angebote 3917/2019”    Mehr anzeigen
Kurze Beschreibung:
“Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens war die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von...”    Mehr anzeigen
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 1 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch „IMS“) ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz...”    Mehr anzeigen
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service und Support
Qualitätskriterium (Gewichtung): 160
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 120
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Automatische Waferhandling 150 mm und 200 mm Wafer
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Handling unterschiedlicher Substratmateralien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Handling von Substraten unterschiedlicher Dicke
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Kompatibilität zu bestehenden Reticles/Masken
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Belichtungsqualität
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Preis (Gewichtung): 360

Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 040-094151

Auftragsvergabe

1️⃣
Vertragsnummer: Vergabe Stepper
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-12-28 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Canon Europa N. V.
Postanschrift: Bovenkerkerweg 59
Postort: Amstelveen
Postleitzahl: 1185 XB
Land: Niederlande 🇳🇱
Telefon: +31 205458-545 📞
Fax: +31 205458-222 📠
Region: Groot-Amsterdam 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 1 💰

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen

“Bei den Angaben unter den Ziffer II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte...”    Mehr anzeigen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB). Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB...”    Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2021/S 060-150081 (2021-03-23)