IMS Chips - Europaweite Vergabe eines Steppers/Scanners für optische Lithografie

Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern für das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS).

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-03-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-02-24.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

• Canon Europa N. V.

Wer?

• Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts

Wie?

Wo?

• Stuttgart › Stuttgart, Stadtkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2020-02-24	Auftragsbekanntmachung
2021-03-23	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2020-02-24)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Scanner
Referenznummer: 3917/2019
Kurze Beschreibung:

Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Scanner 📦
Zusätzlicher CPV-Code: Elektrische Maschinen, Geräte, Ausstattung und Verbrauchsartikel; Beleuchtung 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Stuttgart, Stadtkreis 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Institut für Mikroelektronik Stuttgart Stiftung des bürgerlichen Rechts
Postanschrift: Allmandring 30a
Postleitzahl: 70569
Postort: Stuttgart
Kontakt
Internetadresse: http://www.ims-chips.de 🌏
E-Mail: ims-chips-stepper@menoldbezler.de 📧
URL der Dokumente: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZDE3M/documents 🌏
URL der Teilnahme: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZDE3M 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2020-02-24 📅
Einreichungsfrist: 2020-03-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2020-02-26 📅
Datum des Beginns: 2020-08-01 📅
Datum des Endes: 2021-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2020/S 040-094151
ABl. S-Ausgabe: 40
Zusätzliche Informationen

Für den Erwerb des verfahrensgegenständlichen Steppers erhält das IMS Fördermittel des Landes Baden-Württemberg.

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (nachfolgend auch „IMS“) ist eine gemeinnützige Stiftung des bürgerlichen Rechts und Teil der Innovationsallianz Baden-Württemberg. Das IMS betreibt wirtschaftsnahe Forschung und Entwicklung auf den Gebieten Silizium-Technologie, Anwenderspezifische Schaltkreise (ASIC), Nanostrukturierung, GaN-Leistungselektronik, Photonik, großflächige MEMS und Bildsensorik und engagiert sich in der beruflichen Weiterbildung. Zu den Aufgaben des IMS gehört unter anderem die Bereitstellung von Infrastruktur, Beratungs-, Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen in diesen Bereichen für die Klein- und Mittelständische Industrie.

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens ist die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern („Stepper“).

Ziel ist es, mit diesem Stepper sowohl neuartige Prozesse und Prozessfolgen innerhalb öffentlich geförderter Forschungsprojekte und Industrie-finanzierter Entwicklungsprojekte zu entwickeln als auch Klein- und Pilotserienfertigungen in den Bereichen MEMS, Photonik, Leistungshalbleiter und Diffraktive Optiken zu realisieren.

Für die Erreichung dieses Zwecks ist es erforderlich, dass der Stepper, insoweit abweichend von Standard-Lithgraphie-Steppern, größtmögliche Flexibilität in Hinblick auf Größe, Dicke und Beschaffenheit der zu prozessierenden Substrate gewährleistet. Zudem müssen auf dem Stepper in Anbetracht der verschiedenen Entwicklungsprojekte des IMS sowohl innovative und neuartige Lithografie-Prozesse entwickelt werden als auch Standard-Prozesse durchgeführt können, unter Einhaltung definierter Qualitätskriterien wie z. B. Homogenität und Wiederholbarkeit der Prozessergebnisse oder Sauberkeit der durchgeführten Prozesse (siehe technische Leistungsbeschreibung).

Optionaler Gegenstand des Verfahrens ist zudem die Wartung des Steppers für einen Zeitraum von 5 Jahren.

Die Anforderungen an den zu beschaffenden Stepper/Scanner ergeben sich aus der Leistungsbeschreibung (Anlage 2).

Weitere Einzelheiten zu der ausgeschriebenen Leistung, insbesondere den Entwurf des mit Auftragserteilung zustande kommenden Vertrags, erhalten die im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten Bewerber mit Aufforderung zur Angebotsabgabe.

Beschreibung der Optionen:

Einseitige Option zugunsten des Auftraggebers zum Abschluss eines Service- und Wartungsvertrags

Zusätzliche Informationen:

Für den Erwerb des verfahrensgegenständlichen Steppers erhält das IMS Fördermittel des Landes Baden-Württemberg.

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

IMS Chips

Allmandring 30a

70569 Stuttgart

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

1) Vorbemerkung

a) Die Eignung ist für jedes Mitglied einer Bewerbergemeinschaft gesondert nachzuweisen. Soweit nachfolgend nichts Abweichendes geregelt wird, sind daher alle Eignungsnachweise von jedem Mitglied einer Bewerbergemeinschaft vorzulegen. Ein Bewerber kann sich zum Nachweis seiner Eignung auf andere Unternehmen stützen, ungeachtet des rechtlichen Charakters der zwischen ihm und diesem Unternehmen bestehenden Verbindungen (Eignungsleihe). Diese Möglichkeit besteht unabhängig von der Rechtsnatur der zwischen dem Bewerber und den anderen Unternehmen bestehenden Verbindungen. In diesem Fall ist der Vergabestelle nachzuweisen, dass dem Bewerber die erforderlichen Mittel tatsächlich zur Verfügung stehen werden, indem beispielsweise eine entsprechende Verpflichtungserklärung dieses Unternehmens vorlegt wird. Die Unternehmen, auf die sich ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung stützt, müssen die Eignung nach Ziffer III.1.1) bis III.1.3) hinsichtlich derjenigen Eignungskriterien erfüllen, zu deren Nachweis sich der Bewerber auf die Eignung des Unternehmens stützt. Zudem sind für dieses Unternehmen die Erklärungen über das Vorliegen von Ausschlussgründen nach § 123, 124 GWB vorzulegen;

b) Der Teilnahmeantrag ist in deutscher Sprache einzureichen. Zertifikate und Urkunden, die zum Nachweis der Eignung einzureichen sind, dürfen hiervon abweichend auch in englischer Sprache eingereicht werden;

c) Vorstehende Ausführungen gelten für die Nachweise nach III.1.2) und III.1.3) entsprechend.

2) Vorzulegende Nachweise, Erklärungen und Dokumente:

Mit dem Teilnahmeantrag sind folgende Unterlagen in Bezug auf Ausschlussgründe einzureichen:

a) Eigenerklärung, dass die Ausschlussgründe des § 123 GWB nicht vorliegen;

b) Eigenerklärung über das Vorliegen von Ausschlussgründen nach § 124 GWB;

c) Eigenerklärung gemäß § 19 Abs. 3 Mindestlohngesetz (MiLoG).

3) Vorzulegende Nachweise der Befähigung und Erlaubnis zur Berufsausübung:

Aktueller Auszug der Eintragung des Unternehmens in das Berufs- oder Handelsregister.

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

1) Eigenerklärung über den Jahresumsatz in den vergangenen 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren einschließlich des Jahresumsatzes mit vergleichbaren Leistungen;

2) Eigenerklärung über das Bestehen einer Produkthaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme in Höhe von mind. 3 Mio. EUR für Personenschäden für jede einzelne Person und mindestens 5 Mio. EUR für Sachschäden oder Erklärung des Bewerbers, im Auftragsfalle einen entsprechenden Versicherungsschutz in der geforderten Höhe zu stellen;

3) Eigenerklärung über das Bestehen einer Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Deckungssumme in Höhe von mind. 3 Mio. EUR für Personenschäden für jede einzelne Person und mindestens 5 Mio. EUR für Sach- und Vermögensschäden oder Erklärung des Bewerbers, im Auftragsfalle einen entsprechenden Versicherungsschutz in der geforderten Höhe zu stellen.

Technische und berufliche Fähigkeiten:

1) Eigenerklärung über die Beschäftigtenanzahl und die Zahl seiner Führungskräfte in den vergangenen 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren;

2) Nachweis von Erfahrungen im Bereich der Lieferung von Steppern/Scannern für optische Lithografie.

Mindeststandards:

Zu (2):

— Nachweis einer Kundenbasis von mehr als 5 Kunden der Mikroelektronik oder MEMS-Fertigung weltweit, bei denen Stepper/Scanner für optische Lithografie in den vergangenen 3 Jahren (seit 1.1.2017) in Betrieb sind oder waren,

— Nachweis der Installation von mehr als 10 Step- an Repeat-Lithografieanlagen in Ländern des Übereinkommens über das öffentliche Beschaffungswesen (GPA) in den vergangenen 10 Jahren (seit 1.1.2010).

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Sofern ein Bewerber im Hinblick auf die Kriterien für die finanzielle Leistungsfähigkeit nach Ziffer III.1.2) der Auftragsbekanntmachung ganz oder teilweise die Kapazitäten anderer Unternehmen einbezieht (Eignungsleihe), haftet/haften diese(s) Unternehmen im Auftragsfalle gemeinsam neben dem Auftragnehmer für die Auftragsausführung.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Mindestzahl der Bewerber: 3
Objektive Kriterien für die Auswahl der begrenzten Anzahl von Bewerbern:

Die Vergabestelle wird alle Bewerber, die ihre Eignung nachgewiesen haben, zur Abgabe eines ersten Angebots auffordern. Die Vergabeunterlagen werden allen zur Abgabe eines ersten Angebots aufgeforderten Teilnehmern zeitgleich zur Verfügung gestellt. Der geforderte Inhalt der Angebote ist in den Vergabeunterlagen dargestellt, die den im Rahmen des Teilnahmewettbewerbs ausgewählten und zur Abgabe eines Angebots aufgeforderten Bewerbern zugehen werden.

Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Datum der Absendung der Aufforderungen: 2020-04-10 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2020-07-31 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Stiftung bürgerlichen Rechts
Kontakt
Internetadresse: www.ims-chips.de 🌏
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YMZDE3M/documents 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen

1) Die Teilnahmeformulare sind unter der in Ziffer I.3) angegebenen Internetadresse abrufbar. Ebenfalls dort abrufbar ist ein Bewerbermemorandum. In diesen Teilnahmeunterlagen sind wesentliche Teile der ausgeschriebenen Leistung sowie der Verfahrensvorgaben bereits dargestellt. Die vorgenannten Unterlagen stehen in deutscher und englischer Sprache zur Verfügung. Bei Widersprüchen hat die deutsche Version Vorrang.

Unter der in Ziffer I.3) angegebenen Internetadresse werden auch Antworten auf Bewerberfragen sowie aktualisierte oder weitere Informationen und Unterlagen zu dem Verfahren zur Verfügung gestellt. Interessenten an dem Verfahren müssen sicherstellen, dass sie regelmäßig und insbesondere unmittelbar vor Abgabe ihres Teilnahmeantrags sowie vor Ablauf der Teilnahmefrist prüfen, ob seitens der Vergabestelle zusätzliche Informationen oder Unterlagen zur Verfügung gestellt wurden, welche für die Abgabe des Teilnahmeantrags zu beachten sind;

2) Es wird darauf hingewiesen, dass das am 1.7.2013 in Kraft getretene Tariftreue- und Mindestlohngesetz für öffentliche Aufträge in Baden-Württemberg (LTMG) sowie das Gesetz zur Regelung eines allgemeinen Mindestlohns (Mindestlohngesetz) für den Service- und Wartungsvertrag Anwendung finden. Die sich hieraus ergebenden Verpflichtungen, insbesondere auch bei dem Einsatz von Nach- und Verleihunternehmen, sind daher zu beachten.

Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZDE3M

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg beim Regierungspräsidium Karlsruhe
Postanschrift: Durlacher Allee 100
Postort: Karlsruhe
Postleitzahl: 76137
Land: Deutschland 🇩🇪
Fax: +49 721926-3985 📠
Internetadresse: www.rp.baden-wuerttemberg.de 🌏
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Es gelten die Bestimmungen des Gesetzes gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB).

Hinsichtlich der Einleitung von Nachprüfungsverfahren wird auf § 160 GWB verwiesen. Dieser lautet:

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein;

(2) Antragsbefugt ist jedes Unternehmen, das ein Interesse an dem öffentlichen Auftrag oder der Konzession hat und eine Verletzung in seinen Rechten nach § 97 Absatz 6 durch Nichtbeachtung von Vergabevorschriften geltend macht. Dabei ist darzulegen dass dem Unternehmen durch die behauptete Verletzung der Vergabevorschriften ein Schaden entstanden ist oder zu entstehen droht;

(3) Der Antrag ist unzulässig, soweit:

1) Der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von 10 Kalendertagen gerügt hat,

2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,

4) Mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Hinsichtlich der Information nicht berücksichtigter Bieter und Bewerber gelten die §§ 134, 135 GWB. Insbesondere gilt: Bieter deren Angebote für den Zuschlag nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gemäß § 134 GWB darüber informiert. Das gilt auch für Bewerber, denen keine Information über die Ablehnung ihrer Bewerbung zur Verfügung gestellt wurde, bevor die Mitteilung über die Zuschlagsentscheidung an die betroffenen Bieter ergangen ist.

Ein Vertrag darf erst 15 Kalendertage nach Absendung dieser Information durch den Auftraggeber geschlossen werden; bei Übermittlung per Fax oder auf elektronischem Wege beträgt diese Frist 10 Kalendertage.

Quelle: OJS 2020/S 040-094151 (2020-02-24)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2021-03-23)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens war die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern für das Institut für Mikroelektronik Stuttgart (IMS).

Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2021-03-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2021-03-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2021/S 060-150081
Verweist auf Bekanntmachung: 2020/S 040-094151
ABl. S-Ausgabe: 60

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

Gegenstand des vorliegenden Vergabeverfahrens war die Beschaffung einer Anlage für optische Lithografie im Step-and-Repeat Verfahren für die Belichtung von 150 mm und 200 mm Wafern („Stepper“).

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Service und Support
Qualitätskriterium (Gewichtung): 160
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Lieferzeit
Qualitätskriterium (Gewichtung): 120
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Automatische Waferhandling 150 mm und 200 mm Wafer
Qualitätskriterium (Gewichtung): 80
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Handling unterschiedlicher Substratmateralien
Qualitätskriterium (Gewichtung): 100
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Handling von Substraten unterschiedlicher Dicke
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Kompatibilität zu bestehenden Reticles/Masken
Belichtungsqualität
Qualitätskriterium (Gewichtung): 60
Preis (Gewichtung): 360

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-12-28 📅
Name: Canon Europa N. V.
Postanschrift: Bovenkerkerweg 59
Postort: Amstelveen
Postleitzahl: 1185 XB
Land: Niederlande 🇳🇱
Telefon: +31 205458-545 📞
Land: Groot-Amsterdam 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 1 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1

Referenz
Zusätzliche Informationen

Bei den Angaben unter den Ziffer II.1.7) und V.2.4) handelt es sich um auszufüllende Pflichtfelder. Aus Gründen der Geheimhaltung sind hier fiktive Werte eingetragen.

Bekanntmachungs-ID: CXP4YMZD8PK

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

(1) Die Vergabekammer leitet ein Nachprüfungsverfahren nur auf Antrag ein.

4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind.

Quelle: OJS 2021/S 060-150081 (2021-03-23)

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