Benötigt wird ein leistungsfähiges Lithographie-System, mit dem Strukturen auf Längenskalen von 30 nm bis oberhalb 1 mm in geeignetem Resist definiert werden können, um durch Folge-Prozesse wie Metallabscheidung und nasschemisches Ätzen funktionale Nanostrukturen herzustellen. Zusätzlich soll das System eine hochauflösende Bildgebung der Topographie von Nanostrukturen ermöglichen.
Um diese Anforderungen zu erfüllen, werden 2 Geräte benötigt, die mit unterschiedlichen Lithographie-Technologien arbeiten.
Die Leistung wird in 2 Lose geteilt.
— Los 1: System zur maskenlosen, parallelen Photolithographie;
— Los 2: System zur AFM-basierten Thermolithographie.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-09-23.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-08-24.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung eines Lithographie-Systems
20-00831
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Benötigt wird ein leistungsfähiges Lithographie-System, mit dem Strukturen auf Längenskalen von 30 nm bis oberhalb 1 mm in geeignetem Resist definiert...”
Kurze Beschreibung
Benötigt wird ein leistungsfähiges Lithographie-System, mit dem Strukturen auf Längenskalen von 30 nm bis oberhalb 1 mm in geeignetem Resist definiert werden können, um durch Folge-Prozesse wie Metallabscheidung und nasschemisches Ätzen funktionale Nanostrukturen herzustellen. Zusätzlich soll das System eine hochauflösende Bildgebung der Topographie von Nanostrukturen ermöglichen.
Um diese Anforderungen zu erfüllen, werden 2 Geräte benötigt, die mit unterschiedlichen Lithographie-Technologien arbeiten.
Die Leistung wird in 2 Lose geteilt.
— Los 1: System zur maskenlosen, parallelen Photolithographie;
— Los 2: System zur AFM-basierten Thermolithographie.
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Angebote können für eine maximale Anzahl von Losen eingereicht werden: 2
1️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: Maskenlose, parallele Photolithographie
Titel
Los-Identifikationsnummer: 1
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Ort der Leistung: Rostock, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Universität Rostock
Institut für Physik
AG Neuartige, zweidimensionale Materialien und Heterostrukturen
Albert-Einstein-Str. 23
EG Raum 034
18059 Rostock”
Beschreibung der Beschaffung:
“Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Belichtungsgerät, Probenpositionier (XYZ und Rotation), geeigneten Objektiven, Steuer-Computer mit...”
Beschreibung der Beschaffung
Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Belichtungsgerät, Probenpositionier (XYZ und Rotation), geeigneten Objektiven, Steuer-Computer mit Monitor und Software, inklusive Lieferung und Einweisung der Benutzer vor Ort.
Funktionsprinzip: eine mit lichtempfindlichem Resist beschichtete Probe wird durch das System mit einem Licht-Intensitätsmuster belichtet, das über einen Micro-LCD-Projektor erzeugt wird. Durch geeignete Wahl von abbildenden Objektiven kann die Größe des Intensitätsmusters auf der Probe angepasst werden. Die Belichtung erfolgt hierbei parallel, d. h. das gesamte Intensitätsmuster wird gleichzeitig auf der Probe belichtet.
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Preis
Dauer
Datum des Beginns: 2020-10-21 📅
Datum des Endes: 2020-10-22 📅
2️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: AFM-basierten Thermolithographie
Titel
Los-Identifikationsnummer: 2
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Rasterkraft-Mikroskop mit Thermolithographie-Funktionalität, Antivibrations-Plattform, Steuer-Computer...”
Beschreibung der Beschaffung
Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Rasterkraft-Mikroskop mit Thermolithographie-Funktionalität, Antivibrations-Plattform, Steuer-Computer mit Monitor und Software sowie Erstausstattung AFM-Spitzen, inklusive Lieferung und Einweisung der Benutzer vor Ort.
Funktionsprinzip: in einer mit hitzeempfindlichem Resist beschichteten Probe wird durch das System mithilfe einer heizbaren AFM-Spitze hochlokal der Resist subliminiert und somit eine beliebig wählbare Struktur in den Resist übertragen. Die Topographie der Probe und der Resist-Schicht kann unabhängig vom Schreibvorgang über das AFM aufgezeichnet werden und als Feedback für den Schreibprozess genutzt werden (Closed-Loop-Lithographie).
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Zusätzliche Informationen:
“— Vorauszahlung: 30 % des Auftragswertes nach Auftragsbestätigung gegen Stellung einer Bankbürgschaft (Vgl. Formblatt 423_Vorauszahlungsbürgschaft);
—...”
Zusätzliche Informationen
— Vorauszahlung: 30 % des Auftragswertes nach Auftragsbestätigung gegen Stellung einer Bankbürgschaft (Vgl. Formblatt 423_Vorauszahlungsbürgschaft);
— Teilzahlung: 80 % des Auftragswertes unter Abzug der geleisteten Vorauszahlung;
— Schlusszahlung:100 % des Auftragswertes nach Inbetriebnahme und Nutzereinweisung unter Abzug der geleisteten Vorauszahlung und Teilzahlung.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen: Eintragung in einem einschlägigen Berufs- oder Handelsregister.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“— Umsatz des Unternehmens in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
— Umsatz des Unternehmens in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit er Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind;
— Erklärung zu Insolvenzverfahren und zur Liquidation;
— Angabe, dass nachweislich keine schwere Verfehlung begangen wurde;
— Erklärung zur Zahlung von Steuern, Abgaben und Beiträgen zur gesetzlichen Sozialversicherung;
— Erklärung zur Mitgliedschaft bei der Berufsgenossenschaft.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Für die Anwendung wird ein technisch ausgereiftes System benötigt. Es wird ein Nachweis durch den Anbieter erwartet, dass vergleichbare Systeme an...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Für die Anwendung wird ein technisch ausgereiftes System benötigt. Es wird ein Nachweis durch den Anbieter erwartet, dass vergleichbare Systeme an mindestens 3 Referenz-Kunden (Universitäten oder Forschungsinstitute) geliefert wurden und dort erfolgreich (durch Publikationen in referierten Journalen oder Forschungsberichte nachweisbar) eingesetzt werden. Der Nachweis ist mit dem Angebot zu erbringen.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Das Unternehmen verpflichtet sich gegenüber dem Auftragnehmer, seinen Arbeitnehmerinnen und Arbeitnehmern bei der Ausführung der Leistung ein...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Das Unternehmen verpflichtet sich gegenüber dem Auftragnehmer, seinen Arbeitnehmerinnen und Arbeitnehmern bei der Ausführung der Leistung ein Mindest-Stundenentgelt gem. Mindest-Stundenentgelt-Verordnung — MStEVO M-V, in der jeweils gültigen Fassung, zu zahlen. Dieses liegt derzeit bei 10,07 EUR (brutto).
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-09-23
23:59 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-10-20 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-09-24
14:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Entfällt
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Elektronische Zahlung wird verwendet
Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammern bei dem Ministerium für Wirtschaft, Bau und Tourismus Mecklenburg-Vorpommern”
Postanschrift: Johannes-Stelling-Straße 14
Postort: Schwerin
Postleitzahl: 19053
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3855885163📞
E-Mail: vergabekammer@wm.mv-regierung.de📧
Fax: +49 3855884855817 📠
URL: www.mv-regierung.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“— Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb von 10 Kalender tagender, nachdem er den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften erkannt hat,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
— Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb von 10 Kalender tagender, nachdem er den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften erkannt hat, gegenüber dem Auftraggeber zu rügen (§ 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB),
— Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aus der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung angegebenen Frist zur Bewerbung oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen (§ 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB),
— Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen (§ 160 Abs. 3 Nr.3 GWB).
Bei Nichteinhaltung der genannten Fristen kann ein Nachprüfungsantrag vor der Vergabekammer gem. § 160 Abs. 3 GWB unzulässig sein.
Lehnt die Vergabestelle es ab, der Rüge abzuhelfen, so muss der Bewerber innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, dieser Rüge nicht abzuhelfen, den Antrag auf die Einleitung eines Vergabenachprüfungsverfahrens bei der Vergabekammer bei dem Ministerium für Bau, Wirtschaft und Tourismus Mecklenburg-Vorpommern stellen (§160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Vergabekammern bei dem Ministerium für Wirtschaft, Bau und Tourismus Mecklenburg-Vorpommern”
Postanschrift: Johannes-Stelling-Straße 14
Postort: Schwerin
Postleitzahl: 19053
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3855885163📞
E-Mail: vergabekammer@wm.mv-regierung.de📧
Fax: +49 3855884855817 📠
URL: www.mv-regierung.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 167-402666 (2020-08-24)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-10-28) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Kontaktperson: Referat 2.3 - Beschaffung
Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Benötigt wird ein leistungsfähiges Lithographie-System, mit dem Strukturen auf Längenskalen von 30 nm bis oberhalb 1 mm in geeignetem Resist definiert...”
Kurze Beschreibung
Benötigt wird ein leistungsfähiges Lithographie-System, mit dem Strukturen auf Längenskalen von 30 nm bis oberhalb 1 mm in geeignetem Resist definiert werden können, um durch Folgeprozesse wie Metallabscheidung und nasschemisches Ätzen funktionale Nanostrukturen herzustellen. Zusätzlich soll das System eine hochauflösende Bildgebung der Topographie von Nanostrukturen ermöglichen.
Um diese Anforderungen zu erfüllen, werden zwei Geräte benötigt, die mit unterschiedlichen Lithographie-Technologien arbeiten.
Die Leistung wird in 2 Lose geteilt.
— Los 1: System zur maskenlosen, parallelen Photolithographie,
— Los 2: System zur AFM-basierten Thermolithographie.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Informationen über Lose
Dieser Vertrag ist in Lose unterteilt ✅ Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Universität Rostock,
Institut für Physik,
AG Neuartige, zweidimensionale Materialien und Heterostrukturen
Albert-Einstein-Str. 23, EG Raum 034
18059 Rostock”
Beschreibung der Beschaffung:
“Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Belichtungsgerät, Probenpositionier (XYZ und Rotation), geeigneten Objektiven, Steuer-Computer mit...”
Beschreibung der Beschaffung
Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Belichtungsgerät, Probenpositionier (XYZ und Rotation), geeigneten Objektiven, Steuer-Computer mit Monitor und Software, inklusive Lieferung und Einweisung der Benutzer vor Ort Funktionsprinzip: eine mit lichtempfindlichem Resist beschichtete Probe wird durch das System mit einem Lichtintensitätsmuster belichtet, das über einen Micro-LCD-Projektor erzeugt wird. Durch geeignete Wahl von abbildenden Objektiven kann die Größe des Intensitätsmusters auf der Probe angepasst werden. Die Belichtung erfolgt hierbei parallel, d. h. das gesamte Intensitätsmuster wird gleichzeitig auf der Probe belichtet.
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Beschreibung der Beschaffung:
“Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Rasterkraft-Mikroskop mit Thermolithographie-Funktionalität, Antivibrations-Plattform, Steuer-Computer...”
Beschreibung der Beschaffung
Betriebsbereites, konfiguriertes System bestehend aus Rasterkraft-Mikroskop mit Thermolithographie-Funktionalität, Antivibrations-Plattform, Steuer-Computer mit Monitor und Software sowie Erstausstattung AFM-Spitzen, inklusive Lieferung und Einweisung der Benutzer vor Ort. Funktionsprinzip: in einer mit hitzeempfindlichem Resist beschichteten Probe wird durch das System mithilfe einer heizbaren AFM-Spitze hochlokal der Resist subliminiert und somit eine beliebig wählbare Struktur in den Resist übertragen. Die Topographie der Probe und der Resist-Schicht kann unabhängig vom Schreibvorgang über das AFM aufgezeichnet werden und als Feedback für den Schreibprozess genutzt werden (Closed-Loop-Lithographie).
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Zusätzliche Informationen:
“— Vorauszahlung: 30 % des Auftragswertes nach Auftragsbestätigung gegen Stellung einer Bankbürgschaft (Vgl. Formblatt 423_Vorauszahlungsbürgschaft),
—...”
Zusätzliche Informationen
— Vorauszahlung: 30 % des Auftragswertes nach Auftragsbestätigung gegen Stellung einer Bankbürgschaft (Vgl. Formblatt 423_Vorauszahlungsbürgschaft),
— Teilzahlung: 80 % des Auftragswertes unter Abzug der geleisteten Vorauszahlung,
— Schlusszahlung:100 % des Auftragswertes nach Inbetriebnahme und Nutzereinweisung unter Abzug der geleisteten Vorauszahlung und Teilzahlung.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 167-402666
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 1.1
Los-Identifikationsnummer: 1
Titel: Maskenlose, parallele Photolithographie
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-10-15 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Microlight3D
Postanschrift: 5 Avenue du Grand Sablon
Postort: La Tronche
Postleitzahl: 38700
Land: Frankreich 🇫🇷
Telefon: +33 476549516📞
E-Mail: julien.cordeiro@microlight3d.com📧
Region: Isère 🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
2️⃣
Vertragsnummer: 2.1
Los-Identifikationsnummer: 2
Titel: AFM-basierten Thermolithographie
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Heidelberg Instruments Nano
Postanschrift: Technoparkstraße 1
Postort: Zurich
Postleitzahl: 8005
Land: Schweiz 🇨🇭
Telefon: +41 445003809📞
E-Mail: zhengming.wu@himt.ch📧
Region: Zürich 🏙️ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
Ergänzende Informationen Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Der Bewerber hat:
— Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb von 10 Kalendertagen der, nachdem er den geltend gemachten Verstoß gegen...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Der Bewerber hat:
— Verstöße gegen Vergabevorschriften innerhalb von 10 Kalendertagen der, nachdem er den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften erkannt hat, gegenüber dem Auftraggeber zu rügen (§ 160 Abs. 3 Nr. 1 GWB),
— Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aus der Bekanntmachung erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung angegebenen Frist zur Bewerbung oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen (§ 160 Abs. 3 Nr. 2 GWB),
— Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber zu rügen (§ 160 Abs. 3 Nr.3 GWB).
Bei Nichteinhaltung der genannten Fristen kann ein Nachprüfungsantrag vor der Vergabekammer gem. § 160 Abs. 3 GWB unzulässig sein.
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2020/S 213-521389 (2020-10-28)