Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2020-04-02.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2020-02-24.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Auftragsbekanntmachung (2020-02-24) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name: NaMLab gGmbH
Postanschrift: Nöthnitzer Straße 64 a
Postort: Dresden
Postleitzahl: 01187
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Alexander Ruf
Telefon: +49 351212499010📞
E-Mail: info@namlab.com📧
Fax: +49 35121499099 📠
Region: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️
URL: www.namlab.com🌏 Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/2215094/zustellweg-auswaehlen🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de🌏 Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungseinrichtung
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: LPCVD — Prozessanlage
NLB2020_04
Produkte/Dienstleistungen: Vakuumöfen📦
Kurze Beschreibung:
“Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen)....”
Kurze Beschreibung
Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können.
1️⃣
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden
Deutschland
Beschreibung der Beschaffung:
“Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen)....”
Beschreibung der Beschaffung
Der beabsichtigte Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können. Der Ofen wird für die thermische Abscheidung und das Tempern/die thermische Behandlung von dünnen Schichten mikro-/nanoelektronischer Bauelemente verwendet. Er muss mit den CMOS-Normen kompatibel und in der Lage sein, Wafer mit einem Mindestdurchmesser von 150 mm unter Atmosphären- und Vakuumbedingungen zu prozessieren. Die Anlage wird sich in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) befinden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Dauer
Datum des Beginns: 2020-04-16 📅
Datum des Endes: 2020-12-31 📅
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch...”
Informationen über die Fonds der Europäischen Union
Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch Steuermittel des von den Abgeordneten des Sächsichen Landtages beschlossenen Haushaltes. Europa fördert Sachsen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Eine Kopie der Gewerbean- bzw. ummeldung, wenn keine Eintragung im Handels- bzw. Berufsregister besteht; ansonsten einen Nachweis über die Eintragung in das...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Eine Kopie der Gewerbean- bzw. ummeldung, wenn keine Eintragung im Handels- bzw. Berufsregister besteht; ansonsten einen Nachweis über die Eintragung in das Berufs- oder Handelsregister nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Ursprungs- oder Herkunftslandes des Unternehmens:
2) Die unterschriebene Leistungsbeschreibung (Anlage 5);
3) Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherungs-Deckung;
4) Angaben über den Umsatz des Unternehmens in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit es Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (Eigenerklärung zum Unternehmen, Anlage 7).
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6 der Verdingungsunterlagen) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw....”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1) Die unterschriebene Eigenerklärung zur Zuverlässigkeit (Anlage 6 der Verdingungsunterlagen) mit einem Nachweis einer ausreichenden Betriebs- bzw. Berufshaftpflichtversicherungs-Deckung;
2) Angaben über den Umsatz des Unternehmens in den letzten 3 abgeschlossenen Geschäftsjahren, soweit es Leistungen betrifft, die mit der zu vergebenden Leistung vergleichbar sind (Eigenerklärung zum Unternehmen, Anlage 7 der Verdingungsunterlagen);
3) Unternehmensstruktur und Mitarbeiterentwicklung;
4) Aussagen zum Kundendienst.
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“1) Referenzen des Unternehmens zu vergleichbaren Leistungen in den letzten 3 Geschäftsjahren, mit Ansprechpartner und Telefonnummer (Anlage 8);
2)...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
1) Referenzen des Unternehmens zu vergleichbaren Leistungen in den letzten 3 Geschäftsjahren, mit Ansprechpartner und Telefonnummer (Anlage 8);
2) Qualitätsnachweise (z. B. ISO 9001, EMAS o. ä.);
Mehr anzeigen Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten)
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2020-04-02
13:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2020-05-02 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2020-04-02
14:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Dresden
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): Nicht öffentlich.
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Elektronische Zahlung wird verwendet
Körper überprüfen
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de📧
Fax: +49 3419771049 📠
URL: www.lds.sachsen.de🌏 Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: 1. Vergabekammer des Freistaates Sachsen bei der Landesdirektion Sachsen
Postanschrift: Braustraße 2
Postort: Leipzig
Postleitzahl: 04107
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 3419771040📞
E-Mail: post@lds.sachsen.de📧
Fax: +49 3419771049 📠
URL: www.lds.sachsen.de🌏
Quelle: OJS 2020/S 039-091959 (2020-02-24)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2020-06-12) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: LPCVD – Prozessanlage
NLB2020_04
Kurze Beschreibung:
“Der Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen...”
Kurze Beschreibung
Der Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können. Der Ofen wird für die thermische Abscheidung und das Tempern/die thermische Behandlung von dünnen Schichten mikro-/nanoelektronischer Bauelemente verwendet. Er muss mit den CMOS-Normen kompatibel und in der Lage sein, Wafer mit einem Mindestdurchmesser von 150 mm unter Atmosphären- und Vakuumbedingungen zu prozessieren. Die Anlage wird sich in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) befinden.
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Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 303 300 💰
Beschreibung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Dresden
DEUTSCHLAND
Beschreibung der Beschaffung:
“Der Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen...”
Beschreibung der Beschaffung
Der Auftrag umfasst die Lieferung und Installation eines Niederdruck-Hochtemperatur-Ofens zur chemischen Gasphasenabscheidung (LPCVD-Ofen). Der LPCVD-Ofen soll Abscheidung- und Temperprozesse unter verschiedenen Atmosphären durchführen können. Der Ofen wird für die thermische Abscheidung und das Tempern/die thermische Behandlung von dünnen Schichten mikro-/nanoelektronischer Bauelemente verwendet. Er muss mit den CMOS-Normen kompatibel und in der Lage sein, Wafer mit einem Mindestdurchmesser von 150 mm unter Atmosphären- und Vakuumbedingungen zu prozessieren. Die Anlage wird sich in einem Reinraum der ISO-Klasse 6 (DIN EN ISO 14644-1) befinden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Kostenkriterium (Name): Wirtschaftlichstes Angebot
Kostenkriterium (Gewichtung): 100 %
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen: Gasleitungen/Komponenten
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union:
“Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch...”
Informationen über die Fonds der Europäischen Union
Das Projekt zur Anschaffung der ausgeschriebenen Forschungsanlage wird gefördert durch den Europäischen Fond für regionale Entwicklung EFRE und durch Steuermittel des von den Abgeordneten des Sächsischen Landtages beschlossenen Haushaltes. Europa fördert Sachsen.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2020/S 039-091959
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 604263
Titel: LPCVD – Prozessanlage
Datum des Vertragsabschlusses: 2020-05-08 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: ATV Technologies GmbH
Postanschrift: Johann-Sebastian-Bach-Str. 38
Postort: Vaterstetten
Postleitzahl: 85591
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 81063050-0📞
E-Mail: info@atv-tech.de📧
Fax: +49 81063050-99 📠
Region: Ebersberg🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU ✅ Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 303 300 💰
Quelle: OJS 2020/S 115-278963 (2020-06-12)